Автори | І.М. Щербань, О.В. Грицунов |
Афіліація | 1Харківський національний університет радіоелектроніки, 61166 Харків, Україна |
Е-mail | ihor.shcherban@nure.ua |
Випуск | Том 17, Рік 2025, Номер 4 |
Дати | Одержано 07 червня 2025; у відредагованій формі 18 серпня 2025; опубліковано online 29 серпня 2025 |
Цитування | І.М. Щербань, О.В. Грицунов, Ж. нано- електрон. фіз. 17 № 4, 04007 (2025) |
DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.17(4).04007 |
PACS Number(s) | 41.20.Jb, 72.20 – c |
Ключові слова | Резонаторний вимірювальний перетворювач, Мікрохвильовий датчик, Відстань між вістрям та зразком, Коефіцієнт включення, Діелектрична проникність (26) , Резонансна частота (2) , Коефіцієнт якості, Характеристики перетворення, Висувний зонд. |
Анотація | У статті розглядаються перспективи розширення діапазону чутливості локальних мікрохвильових сенсорів (резонаторних зондів, РЗ) з осьовою симетрією в діагностиці малорозмірних об'єктів, включаючи об'єкти мікро- та наноелектроніки. Усі розглянуті методи підвищення чутливості РЗ з коаксіальною вимірювальною апертурою (РЗКВА) базуються на зміні коефіцієнта включення аналізованого об'єкта в електромагнітне поле резонатора. Особлива увага приділяється підвищенню чутливості зондів з субмікронним розміром кінчика для дослідження об'єктів з роздільною здатністю порядку нанометрів. Представлено моделі РЗ з різними конструкціями області апертури. Представлено результати дослідження впливу як запам'ятовуючої, так і апертурної частин РЗ на сигнали вимірювальної інформації в різних конструкціях зондів. Показано, що досяжна чутливість у зондах безпосередньо пов'язана з об'ємом запам'ятовуючої частини, що зумовлено зміною ненавантаженої добротності резонатора. Представлено результати дослідження малорозмірного РЗКВА. Обговорюються перспективи їх використання для діагностики об'єктів з низькими діелектричними втратами.Наведено кількісні дані, що характеризують роботу датчика на основі резонатора з настроюваною чутливістю, яка забезпечується зміщенням кінчика зонда відносно апертури. Детально досліджено різні режими роботи такого датчика. Отримані результати вказують на наявність високих втрат у цій конструкції при діагностиці твердих об'єктів з низькими значеннями діелектричних параметрів ɛ та tgδ. Також представлені дуже цікаві результати дослідження використання датчика з настроюваною чутливістю для діагностики рідких або сипучих об'єктів з низькими діелектричними параметрами ɛ та tgδ. |
Перелік посилань English version of article |