Механічна спектроскопія і внутрішнє тертя в SiO2/Si
| Автори | А.П. Онанко1 , В.В. Курилюк1 , Ю.А. Онанко2 , А.М. Курилюк1 , Д.В. Чарний2 , О.П. Дмитренко1 , М.П. Куліш1 , T.M. Пінчук-Ругаль1 , А.А. Кузьмич3 |
| Афіліація |
1Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська 64/13, 01601 Київ, Україна 2Інститут водних проблем і меліорації, вул. Васильківська 37, 03022 Київ, Україна 3Національний університет водного господарства та природокористування, вул. Соборна 11, 33000 Рівне, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 14, Рік 2022, Номер 6 |
| Дати | Одержано 22 серпня 2022; у відредагованій формі 23 грудня 2022; опубліковано online 27 грудня 2022 |
| Цитування | А.П. Онанко, В.В. Курилюк, Ю.А. Онанко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 14 № 6, 06029 (2022) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.14(6).06029 |
| PACS Number(s) | 82.33.Ln, 82.70.Gg, 83.80.Kn |
| Ключові слова | Механічна спектроскопія, Релаксаційний механізм, Підкладка (6) , Міграція атомів, Внутрішнє тертя (4) . |
| Анотація |
Розроблена методика, сконструйована та виготовлена установка для збудження та реєстрації затухаючих згинних резонансних коливань в SiO2/Si дископодібних підкладках товщиною hS = 300÷500∙103 нм та діаметром D = 60 ÷ 100∙106 нм з метою вимірювання структурно-чутливого внутрішнього тертя (ВТ) Q – 1. Розроблена методика неруйнуючого контролю інтегральної густини структурних дефектів nд та глибини порушеного шару hпш у дископодібних напівпровідникових підкладках. Вимірювання фону ВТ Q – 10 на гармонійних частотах f0, f2 дозволило експериментально визначити вузлові лінії дисків, що коливаються. Це дозволило вносити поправки до теоретичних розрахунків знаходження цих вузлових ліній з урахуванням лінійних розмірів дисків та способу їх кріплення. Досліджено температурний спектр ВТ Q – 1(Т) в SiO2/Si дископодібних підкладках після їх рентгенівського та електронного опромінення. В процесі вимірювань було встановлено, що відпал структурних дефектів Si змінює форму температурного спектру ВТ Q – 1(Т). Піки ВТ Q – 1М, що утворюються точковими дефектами, можна було спостерігати при умові, коли підкладка Si нагрівалася зі швидкістю V = ΔT/Δt ≤ 0.1 K/с. Це дозволило визначити енергію активації H переорієнтації анізотропних комплексів радіаційних дефектів. Встановлення стабільності параметрів фону ВТ Q – 10 дає можливість визначити радіаційну стійкість напівпровідникових підкладок та виробів на їх основі. Запропонована методика може використовуватись як неруйнуючий метод контролю дефектності кристалічної структури напівпровідникових підкладок, що застосовуються для потреб мікроелектроніки. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Механізми генерації струму в діодах Шотткі графен/p-CdTe [06001-1-06001-5]2) Тонкі плівки на основі MWCNT, отримані методом CVD, та деякі їх застосування [06002-1-06002-4]
3) Реологічний аналіз нанобурового розчину на основі TiO2 [06003-1-06003-5]
4) Дизайн і концепція платформи, яка дозволяє з’єднувати різні сонячні панелі та навантаження через понижуючий перетворювач DC-DC [06004-1-06004-6]
5) Швидкість осадження та електрохімічна корозійна поведінка композитних покриттів на основі нікелю [06005-1-06005-5]
6) Послідовна реологічна поведінка рідини на основі форміату при бурінні та капітальному ремонті свердловин [06006-1-06006-4]
7) Безсвинцеві п’єзоелектричні матеріали для медичної роботи [06007-1-06007-4]
8) Вплив тепловідводу на механічні, металургійні та мікроструктурні характеристики різнорідних з’єднань Al6061 та Al5052, виготовлених точковим зварюванням тертям із перемішуванням [06008-1-06008-5]
9) Вплив наночастинок у технології підвищення вилучення нафти на основі полімерів [06009-1-06009-4]
10) Стиснення MHD потоку разом із теплопередачею між паралельними пластинами за допомогою методу диференціального перетворення [06010-1-06010-5]
11) Калібрування мікроскопічної вимірювальної системи методом проекцій закодованих періодичних шаблонів [06011-1-06011-5]
12) Особливості сегрегації включень та мікроструктура зливків кремнію, отриманих електронно-променевим рафінуванням металургійного кремнію [06012-1-06012-5]
13) Компактна та мініатюрна дводіапазонна антена-мітка на основі метаматеріалу для IoT, технології RFID та додатків лікарняних послуг [06013-1-06013-6]
14) Реалізація VTFET із лінійно градуйованою роботою виходу бінарного металевого затвору з повітряною кишенею [06014-1-06014-6]
15) Параметричний аналіз шляхом моделювання брегівських ґраток та їх застосування як датчика [06015-1-06015-5]
16) Чисельне моделювання росту тонких плівок шляхом випадкового осадження з випаровуванням частинок [06016-1-06016-6]
17) Структурні та оптичні властивості нанокристалічних порошків оксиду міді індію, отриманих методом твердофазної реакції [06017-1-06017-5]
18) Новий підхід до проектування дводіапазонного смугового мікрохвильового фільтра (DBBPF) на основі квадратних симетричних резонаторів з метаматеріалу (SSRR) для додатків X- та Ku- діапазонів [06018-1-06018-5]
19) Дослідження фотолюмінесценції та термолюмінесценції нанолюмінофору алюмінату цинку, легованого диспрозієм (Dy3+) (Zn0.97Al2O4:0.03Dy) [06019-1-06019-6]
20) Релаксація електронного збудження молекули на шляху спіропіран ↔ мероціанін [06020-1-06020-7]
21) Покращена 4-портова MIMO антена на основі зменшення електромагнітного взаємного зв'язку з використанням CSRRs з метаматеріалу для додатків Sub-6 ГГц 5G [06021-1-06021-5]
22) Дослідження впливу оптимального складу електроліту на зародження та ріст тонких плівок сплаву Ni-Fe [06022-1-06022-5]
23) Вплив товщини плівки на властивості тонких плівок Co-ZnO, отриманих золь-гель методом [06023-1-06023-6]
24) Аналіз тертя, зношування та в’язкості мастила понгамієвої олії на основі наночастинок Fe3O4 [06024-1-06024-4]
25) Точково-контактна спектроскопія Mo/Si надґраток [06025-1-06025-4]
26) Сенсорні методи виявлення поліциклічних ароматичних вуглеводнів (PAHs) у промислових стічних водах [06026-1-06026-5]
27) Останні досягнення в електрохімічному перетворенні вуглекислого газу [06027-1-06027-5]
28) Поведінка міді CAD 110 (матеріал радіатора) як фрактальної структурованої антени RFID під час експлуатації при високій температурі [06028-1-06028-5]
29) Вплив нанорозмірних активних частинок розплаву та поверхні електрода на процеси перенесення заряду на межі розділу електрод/розплав [06030-1-06030-3]
30) Концентраційна залежність термодинамічних і динамічних параметрів високоентропійних сплавів [06031-1-06031-4]
31) Моделювання анормальної поведінки діода Шотткі на основі 6H-SiC за допомогою функції Ламберта [06032-1-06032-4]
32) Моделювання тандемного сонячного елементу CZTS/CZTSe за допомогою програмного забезпечення SCAPS-1D [06033-1-06033-10]
33) Про одне вдосконалення методу апроксимуючих функцій для задач з нелінійними середовищами [06034-1-06034-6]
