Калібрування мікроскопічної вимірювальної системи методом проекцій закодованих періодичних шаблонів

Автори H. Bouali1,2, Y. Belkacemi1, M. Bouaziz1, K. Mansouri2
Приналежність

1Mechanical Engineering and Development Research Laboratory, National Polytechnic School, Algiers, Algeria

2Abbes Laghrour University, Khenchela, 40000, Algeria

Е-mail hichem.bouali@g.enp.edu.dz
Випуск Том 14, Рік 2022, Номер 6
Дати Одержано 13 вересня 2022; у відредагованій формі 20 грудня 2022; опубліковано online 27 грудня 2022
Посилання H. Bouali, Y. Belkacemi, M. Bouaziz, K. Mansouri, Ж. нано- електрон. фіз. 14 № 6, 06011 (2022)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.14(6).06011
PACS Number(s) 06.20.Fb, 07.60. – j
Ключові слова Періодичний шаблон, Проекція, Код LFSR, Відносне положення, Абсолютне положення, Калібрування.
Анотація

Вимірювання, засноване на баченні періодичних шаблонів дистанційною камерою, є більш придатним рішенням для контролю та визначення характеристик мікророботизованих систем. Таким чином ми можемо проводити точні вимірювання, не порушуючи вимірювані об’єкти та не потребуючи додаткових пристроїв і датчиків, які створюють велику плутанину та безлад у робочому просторі. Метод проекцій закодованих періодичних шаблонів є ефективним та має хорошу продуктивність, особливо у випадку добре відкаліброваної системи. Дійсно, виникає питання про вплив калібрування на результати вимірювання цим методом з точки зору точності та невизначеності. Таким чином, основною метою статті є дослідження впливу калібрування на процес вимірювання шляхом виведення та розрахунку допущеної похибки та рівня невизначеності. На основі алгоритму в MATLAB ми спочатку створюємо закодований періодичний тестовий шаблон, до якого застосовуємо певне накладене зміщення. Потім ми проектуємо цей шаблон за допомогою системи проекцій та зменшення на цифрову камеру, яка фіксує фотографію та передає її алгоритму обробки, який, у свою чергу, обчислює та виводить значення для виміряного зміщення. Повторення цього процесу відбувається кілька разів для того ж самого накладеного зміщення (того ж самого стандарту). Така надлишковість даних дозволяє нам намалювати криву калібрування та вивести декілька метрологічних параметрів із нашої системи вимірювань.

Перелік посилань