Етапи нуклеації квазірівноважних конденсатів іонно розпилених атомів Сr, Zn, Cu, Si, Ag та Al
| Автори | Г.С. Корнющенко , Ю.О. Космінська , С.Т. Шевченко, В.В. Наталіч , В.І. Перекрестов |
| Приналежність |
Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна |
| Е-mail | ganna.korniushchenko@fulbrightmail.org |
| Випуск | Том 13, Рік 2021, Номер 2 |
| Дати | Одержано 25 жовтня 2020; у відредагованій формі 15 квітня 2021; опубліковано online 20 квітня 2021 |
| Посилання | Г.С. Корнющенко, Ю.О. Космінська, С.Т. Шевченко, В.В. Наталіч, В.І. Перекрестов, Ж. нано- електрон. фіз. 13 № 2, 02034 (2021) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.13(2).02034 |
| PACS Number(s) | 05.65. + b, 52.20.Hv, 52.77.Dq, 68.55.A |
| Ключові слова | Магнетронне розпилення (15) , Квазірівноважна конденсація (2) , Пересичення (6) , Процеси нуклеації, Плазма-конденсат (2) , Самоорганізація (7) . |
| Анотація |
У статті представлені результати досліджень етапів нуклеації конденсатів Cr, Zn, Cu, Si, Ag та Al при осадженні надслабких потоків розпиленої магнетроном речовини в квазірівноважних умовах в глибоко очищеному Ar. Досліджений в роботі розширений спектр металів та Si обумовлений необхідністю встановлення найбільш загальних особливостей процесу нуклеації квазірівноважних конденсатів. Як матеріал підкладки використовували свіжі сколи (001) KCl та скло. Структурно-морфологічні характеристики отриманих конденсатів вивчені за допомогою скануючої та просвічуючої електронної мікроскопії. Фазовий склад конденсатів вивчався за допомогою мікродифракції електронів. Для формування надслабких парових потоків іоннорозпилених металів та Si використана вакуумна установка з робочою камерою, що укомплектована трьома магнетронними розпилювачами на постійному струмі. Наднизькі парові потоки, що приймали участь в нуклеації, формувалися за рахунок підвищених тисків робочого газу (6-8 Па) та відстані від мішені до підкладки (80-100 мм). На основі просвічуючої та растрової електронної мікроскопії встановлено, що дія на поверхню (001) KCl часток плазми на першому етапі нуклеації визначає формування суцільної аморфної плівки, з ростом товщини якої відбувається зародження кристалічної фази. Важливою особливістю процесів нуклеації є виявлене в роботі формування базового аморфного прошарку. При збільшенні товщини аморфної базової плівки знижується вплив модифікованої плазмою поверхні (001)KCl на процес аморфізації, і, як наслідок, відбуваються локальні переходи до кристалічної фази. Показано, що залежно від структурно-морфологічних характеристик базового шару нанокристалів при подальшій конденсації може формуватися система окремих огранених кристалів або пористі наносистеми. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Збільшення ширини забороненої зони і температурно-залежна ФЛ в золь-гель синтезованих наночастинках ZnO, легованих Ce [02001-1-02001-4]2) Поліпшення властивостей наночастинок фериту Mn-Zn методом легування рідкоземельними елементами [02002-1-02002-4]
3) Морфологічні та електричні характеристики SiNWs, синтезованих методом безелектричного хімічного травлення за допомогою металів [02003-1-02003-4]
4) Оптимізація параметрів друку для поліпшення якості поверхні деталей, виготовлених з нейлонових композиційних матеріалів на основі вуглецю (PA-CF) з використанням еволюційного алгоритму [02004-1-02004-5]
5) Інтеграція кінцево-елементного аналізу, 3D друку і біополімерів для розширення досліджень в області ортопедії [02005-1-02005-4]
6) Застосування нанорозмірних матеріалів для зменшення корозії в бетоні: огляд [02006-1-02006-6]
7) Позаклітинний синтез наночастинок оксиду цинку з використанням термогалотолерантного штаму Aeribacillus pallidus SJP 27: Характеристика та антибактеріальний потенціал [02007-1-02007-5]
8) Зменшення забороненої зони та утворення пелюсткової наноструктури в нанопорошках ZnO, сильно легованих Ce [02008-1-02008-5]
9) Python – інструмент для аналізу перколяції в трикутній ґратці [02009-1-02009-4]
10) Вплив параметрів процесу лиття з перемішуванням на механічні властивості алюмінієвих матричних композитів: експериментальне дослідження та прогностичне моделювання [02010-1-02010-4]
11) Посилення видимого випромінювання легуванням Ce в тонких плівках ZnO [02011-1-02011-3]
12) Аналіз зв'язків в багатошаровій тонкій плівці [Au (3,16 нм)/Co (1,5 нм)]x35/Si (100) [02012-1-02012-4]
13) Електричні властивості та залежні від магнітного поля вольт-амперні характеристики нанокристалічного фериту нікелю, легованого кобальтом [02013-1-02013-4]
14) Синтез та характеристика екологічно чистої та схильної до біологічного розкладання плівки ізоляту соєвого білка [02014-1-02014-3]
15) Колориметричне визначення форатного пестициду з використанням нанотехнологій [02015-1-02015-4]
16) Самоорганізація наночастинок на межі поділу рідина-рідина [02016-1-02016-4]
17) Індукований відпалом червоний зсув краю поглинання плівок TiO2, підготовлених технікою золь-гелю [02017-1-02017-3]
18) Проектування та порівняльний аналіз компактної біотехнологічної листоподібної антени з використанням різних матеріалів підкладки для застосувань та X-діапазонів [02018-1-02018-5]
19) Проектування трисмугової восьмикутної кільцевої антени для гнучких та портативних застосувань [02019-1-02019-6]
20) Полімерні композити та нанокомпозити для FDM 3D друку: сучасний стан [02020-1-02020-4]
21) Вплив додаткових дрібних цементуючих матеріалів на міцність бетону на стиск – огляд сучасного стану [02021-1-02021-4]
22) Моделювання локалізованого поверхневого плазмонного резонансу наночастинок срібла із графеновим покриттям з використанням теорії Максвелла-Гарнета [02022-1-02022-4]
23) Раманівська діагностика вуглецевих плівок, отриманих електронно-променевим осадженням на підкладках з Cu, Al та Ni [02023-1-02023-5]
24) Спектральні параметри екситона в подвійних напівпровідникових квантових кільцях в електричному полі [02024-1-02024-6]
25) Комп'ютерне моделювання адсорбції фулерену на графені [02025-1-02025-5]
26) Дослідження впливу high-k діелектриків затвору та хіральності на характеристики нанорозмірного CNTFET [02026-1-02026-8]
27) Вивчення впливу легування селеном на геометрію та електронні характеристики кластерів германію (SeGen, n = 1-20) за допомогою розрахунків DFT [02027-1-02027-5]
28) Про один підхід до управління динамічними властивостями циліндричного п'єзокерамічного акустоелектронного пристрою з одночастотним резонансним збудженням [02028-1-02028-5]
29) Оцінка ефективності нового безперехідного з профілем легуванням за кривою Гауса: чисельне дослідження [02029-1-02029-5]
30) Модифікація поверхні сірого чавуну імпульсно-плазмовим осадженням та подальшим лазерним оплавленням [02030-1-02030-7]
31) Вплив обмежених фононів на температурне перенормування спектральних характеристик квантового каскадного детектора далекого інфрачервоного діапазону [02031-1-02031-5]
32) Невелика надширокосмугова кругла патч-антена з режекторною смугою [02032-1-02032-6]
33) Матеріал нового покоління для зубних протезів та базовий матеріал протезів: зуби молюсків (LT) як альтернативне армування в поліметилметакрилаті (PMMA) [02033-1-02033-6]
34) Збільшення підсилення прикладної мікро-патч-антени у додатках телемедицини шляхом зміни розрахунку геометрії [02035-1-02035-5]
35) Змочуваність бавовняних і поліестерових тканин, покритих наноструктурованими шарами оксиду цинку, легованого індієм [02036-1-02036-11]
36) Калібрування рентген-дифрактометричних вимірювань для контрольованого за глибиною структурного аналізу двошарових зразків [02037-1-02037-6]
37) Кристалічна структура, спектри комбінаційного розсіювання та електрична провідність нанопоршків LiNb1 – xTaxO3, отриманих за методом високоенергетичного розмелювання на кульовому млині [02038-1-02038-6]
38) [05024-1-05024-1]
