Метастабільні стани і фізичні властивості збагачених бором W-B плівок
| Автори | В.Ф. Башев, С.І. Рябцев, Т.В. Крузіна, С.О. Попов, Є.С. Скорбященський, Ю.М. Потапович, С.М. Антропов |
| Афіліація |
Кафедра експериментальної фізики, Дніпровський національний університет імені Олеся Гончара,72 пр. Гагаріна, 49010 Дніпро, Україна |
| Е-mail | bashev_vf@ukr.net |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 6 |
| Дати | Одержано 29 липня 2020; у відредагованій формі 18 грудня 2020; опубліковано online 25 грудня 2020 |
| Цитування | В.Ф. Башев, С.І. Рябцев, Т.В. Крузіна, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 6, 06016 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(6).06016 |
| PACS Number(s) | 81.15.Cd, 81.40.Cd, 64.60.My |
| Ключові слова | Іонно-плазмове магнетронне розпилення, Аморфний стан, Метастабільні стани, W-B плівки, Температурна стабільність, Мікротвердість (29) . |
| Анотація |
Представлені експериментальні дані по іонно-плазмовому (13.56 МГц) магнетронному напиленню складових мішеней системи W-B. Застосування зазначеного методу дозволяє отримувати напилені сплави в усьому концентраційному інтервалі їх складів. Напилені плівки ілюструють виникнення аморфного твердого стану. Розкладання аморфного стану супроводжується виділенням проміжної метастабільної, нанокристалічної W-фази з гранецентрованою кубічною структурою. За допомогою магнетронного напилення ми отримали аморфний стан в чистих W-плівках при кімнатній температурі. Досліджено метастабільні стани в W-B плівках, їх термічна стабільність, електричні і механічні властивості. В роботі показано, що аморфний стан в сплаві WB5 характеризується аномально високою температурною стійкістю і мікротвердістю. Метод іонно-плазмового розпилення продемонстрував свою ефективність в разі плівок вольфраму, показавши можливість отримання в них метастабільних фаз. Разом з тим, отримані значення мікротвердості в аморфному сплаві виявилися нижчими передбачених максимальних теоретичних значень внаслідок особливостей розташування атомів в сплаві. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Аналіз самонагрівання SiGe HBT, призначеного для ВЧ-застосувань, за процентним вмістом германію [06001-1-06001-5]2) Вплив обмеження електрона в подвійній квантовій ямі на екситонні властивості квантового кільця GaSb [06002-1-06002-5]
3) Можливості керування динамічними властивостями циліндричного п'єзокерамічного акустоелектронного пристрою з двочастотним резонансним збудженням [06003-1-06003-6]
4) Порівняння продуктивності недорогих сонячних елементів TiO2 та ZnO, сенсибілізованих за допомогою кумарину C343 [06004-1-06004-6]
5) Вплив температури вакуумного відпалу на бінарну систему Ni/Si(100) [06005-1-06005-5]
6) Моделювання та аналіз продуктивності транзисторів GAA SNSTFT із затвором з потрійним матеріалом [06006-1-06006-4]
7) Покращена продуктивність інтегрованого піроелектричного інфрачервоного детектора на гнучкій підкладці: моделювання та симуляція [06007-1-06007-4]
8) Теоретичне прогнозування деяких фізичних властивостей трикомпонентних сплавів BxAl1 – xSb [06008-1-06008-5]
9) Вплив заміщення Mn2+ на оптичні властивості нових наночастинок CaLi2O2, синтезованих методом золь-гелю [06009-1-06009-5]
10) Нова широкосмугова частково відбиваюча поверхня для покращення коефіцієнта посилення антени [06010-1-06010-4]
11) Обробка воднем плазмонного резонансного датчика [06011-1-06011-6]
12) Числове моделювання параметрів польових транзисторів GAA SiNWFET на основі нанодротів [06012-1-06012-4]
13) Теоретичне вивчення електронних властивостей нікелевих кластерів [06013-1-06013-5]
14) A New Approach for One-step Synthesis of Perovskite:fullerene Bulk Heterojunction Using Surfactant Free Microemulsion in Slot Die Method [06014-1-06014-7]
15) Вдосконалення фізичної моделі сонячних елементів на основі GaAs [06015-1-06015-6]
16) Три-стадійна кінетична модель для самозагасаючих дефектів в крихких твердих тілах [06017-1-06017-6]
17) Конвергентний підхід до ідентифікації перехідних станів динамічної системи [06018-1-06018-4]
18) Врахування поправок при дослідженні властивостей речовин рентгенівським методом [06019-1-06019-5]
19) Електротермомеханічне тертя мокрих деталей автомобільних дисково-колодкових гальм [06020-1-06020-8]
20) Оперативний розрахунок напруги проколу бази дрейфових n-p-n транзисторів в інверсному режимі роботи [06021-1-06021-4]
21) Визначення рефрактивних параметрів в кристалі Tl3TaS4 [06022-1-06022-4]
22) Структура та транспортні властивості одностінних вуглецевих нанотрубок, модифікованих кобальт-вмісними комплексами [06023-1-06023-7]
23) Структура, морфологія та електропровідні властивості Sn-легованого ТіО2 [06024-1-06024-7]
24) Вплив гомогенізації на проявлення надпластичності і мікронадпластичності алюмінієвого сплаву системи Al-Zn-Mg-Cu [06025-1-06025-8]
25) Метод хвильових матриць для моделювання хвилеводних поляризаторів із діафрагмами. Теорія [06026-1-06026-5]
26) Еволюція нанокристалічної структури кобальту при відпалі [06027-1-06027-6]
27) Динаміка зважених наночастинок у змінному в часіградієнтному магнітному полі: Аналітичні результати [06028-1-06028-5]
28) Аналітичне та чисельне вивчення енергетичного спектру надрешітки, що складається із смуг одношарового та двошарового графена [06029-1-06029-5]
29) Взаємодія електронів з акустичними фононами у AlAs/GaAlAs резонансно-тунельних наноструктурах [06030-1-06030-8]
30) Моделювання поведінки тріснутої головки плечового протеза [06031-1-06031-4]
31) Оптичні властивості Hg1 – xMnxS, Hg1 – x – уMnxFеуS, Hg1 – x – уMnxFеуSe1 – zSz [06032-1-06032-5]
32) Характеристики та електричні параметри сонячних наноелементів з кремнієвих нанодротів [06033-1-06033-4]
33) Оптимізація складу та процесу отримання гарячепресованої кераміки з підвищеними характеристиками на основі карбіду бору [06034-1-06034-5]
34) Оптимізація регульованого фільтра на фотонних кристалах для грубого мультиплексування з поділом по довжині хвилі [06035-1-06035-4]
35) Теоретичне дослідження вдосконалення продуктивності сонячних елементів на основі CIGS [06036-1-06036-4]
36) Генерація терагерцових коливань діодами з резонансно-тунельними границями [06037-1-06037-4]
37) Новий розчин для електрохімічної модифікації поверхні титану [06038-1-06038-8]
38) Дослідження морфології нанопористої структури і елементного складу гранул органо-мінеральних добрив [06039-1-06039-5]
