Отримання, структура і властивості покриттів на основі Al2O3, отримані магнетронним методом
| Автори | Д.А. Колесніков1, І.В. Суджанская1, В.Ю. Новіков1 , C.В. Литовченко3, Е.А. Кудрявцев1, І.Ю. Гончаров1,2 , Б.О. Мазілін3, Е.В. Крицина1. В.М. Береснєв3, О.В. Глухов4 |
| Афіліація |
1Бєлгородський Державний Національний Дослідницький університет, вул. Перемоги, 85, 308015 Бєлгород, Російська Федерація 2Бєлгородський Державний Технологічний Університет імені В.Г. Шухова, вул. Костюкова, 46, 308012 Бєлгород, Російська Федерація 3Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, пл. Свободи, 4, 61000 Харків, Україна 4Національний університет радіоелектроніки, бульвар Науки, 14, 61166 Харків, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 1 |
| Дати | Одержано 22 січня 2020; у відредагованій формі 15 лютого 2020; опубліковано online 25 лютого 2020 |
| Цитування | Д.А. Колесніков, І.В. Суджанская, В.Ю. Новіков, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 1, 01022 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(1).01022 |
| PACS Number(s) | 61.46. – w, 62.20.Qp, 62-65. – g |
| Ключові слова | Магнетроне осадження, Багатошарові оксидні покриття, Структура (228) . |
| Анотація |
Нанесення покриттів Al2O3 та багатошарових покриттів Al2O3/ZrO2 здійснювали магнетронним методом шляхом розпилення відповідних металевих мішеней в середовищі суміші газів кисню та аргону. Мікроструктура поперечних зрізів, визначення товщини і елементний склад отриманих покриттів досліджували методом трансмісійної та растрової електронної мікроскопії. Морфологія поверхні зразків покриттів Al2O3 вивчалася методом скануючої зондової мікроскопії. Показано, що сформовані покриття як Al2O3, так і багатошарове покриття Al2O3/ZrO2 мають стовпчасту структуру з орієнтацією стовпців перпендикулярно поверхні. Стовпчаста структура багатошарових покриттів не порушується при переході від шару до шару. Поверхня покриттів складається з глобул діаметром близько 20 нм. Методом імпедансної спектрометрії встановлено, що покриття Al2O3 має діелектричні властивості. Таким чином, було показано, що магнетронним методом можна наносити якісні багатошарові діелектричні покриття, які можуть бути використані в якості термобар’єрних покриттів для захисту лопаток високотемпературних щабель турбін авіаційних двигунів. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Механічна електроосадженого покриття із сплаву Ni-P [01001-1-01001-5]2) New Biosensor Design Based on Photonic Crystal Core-shell Rods Defects for Detecting Glucose Concentration [01002-1-01002-4]
3) Процес Лібмана для розподілу інформаційних потоків систем автоматичного керування двигуном [01003-1-01003-5]
4) Монітор профілю низькоенергетичного електронного пучка [01004-1-01004-5]
5) Формування та фізичні властивості багатокомпонентних покриттів, отриманих шляхом розпилення складеної мішені з Co-Cr-Ni-Ti-Zr-Hf-Ta-W-C [01005-1-01005-6]
6) Застосування додаткового процесу згладжування дрейфу для поліпшення електрофізичних параметрів p-i-n структур Si (Li) великих розмірів [01006-1-01006-5]
7) Вплив матеріалів верхнього електрода на комутаційні характеристики та властивості витривалості пристрою RRAM на основі оксиду цинку [01007-1-01007-6]
8) Вертикальна еліптична полоскова недіагональна антена з кільцевим отвором для мікрохвильового зображення молочної залози [01008-1-01008-4]
9) Оптична характеристика хімічно відновлених наночастинок срібла для сонячних елементів, чутливих до барвника [01009-1-01009-4]
10) Вплив інтенсивної пластичної деформації на фазові співвідношення нанокристалів кобальту [01010-1-01010-6]
11) Вплив корелюючих кольорових шумів на довгий Джозефсонівський контакт [01011-1-01011-5]
12) Нановуглецеві матеріали рослинного походження для суперконденсаторів [01012-1-01012-6]
13) Структурно-морфологічні та електропровідні властивості композиційних матеріалів С-Al2O3 [01013-1-01013-6]
14) Діодний лазер як електронна система хірургічного впливу на м’які біологічні тканини [01014-1-01014-4]
15) Діоди Ганна на основі варизонного GaInPAs [01015-1-01015-9]
16) Підвищення теплової продуктивності SSP, заповненого нанорідиною [01016-1-01016-5]
17) Вплив на інфрачервоні спектральні, структурні та морфологічні властивості наночастинок , осаджених за кімнатної температури [01017-1-01017-4]
18) Магнітокалоричний ефект у метамагнітному сплаві з ефектом пам'яті форми [01018-1-01018-4]
19) Вирощування і властивості кристалів PbI2, легованих Cd [01019-1-01019-5]
20) Аналіз різних біопотенційних електродів, що використовуються для електроміографії [01020-1-01020-7]
21) Електронні властивості тетратеніту L10 FeNi в умовах земного ядра [01021-1-01021-6]
22) Фото-ЕРС на поверхнях Si та SiGe при сонохімічній обробці у дихлорметані [01023-1-01023-4]
23) Вплив конфігурації переходу на продуктивність сонячних елементів In2S3/CZTS [01024-1-01024-3]
24) Синтез та характеристика наночастинок композиту Ce-Fe методом золь-гелю [01025-1-01025-3]
25) Передумови створення комірки пам’яті нового типу «біт + кубіт» на основі нанорозмірних структурних неоднорідностей доменних стінок, утворених в одновісних феромагнітних плівках [01026-1-01026-2]
26) Оптичні властивості плівки: експериментальні та теоретичні аспекти [01027-1-01027-4]
