Формування та фізичні властивості багатокомпонентних покриттів, отриманих шляхом розпилення складеної мішені з Co-Cr-Ni-Ti-Zr-Hf-Ta-W-C
| Автори | В.І. Перекрестов1, Ю.О. Космінська1, Г.С. Корнющенко1, Ю.В. Ганніч1, О. Гедеон2 |
| Приналежність |
1Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна 2Інститут хімічних технологій, вул. Технічна 5, CZ-16628 Прага 6, Чехія |
| Е-mail | y.kosminska@phe.sumdu.edu.ua |
| Випуск | Том 12, Рік 2020, Номер 1 |
| Дати | Одержано 11 листопада 2019; у відредагованій формі 15 лютого 2020; опубліковано online 25 лютого 2020 |
| Посилання | В.І. Перекрестов, Ю.О. Космінська, Г.С. Корнющенко та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 12 № 1, 01005 (2020) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.12(1).01005 |
| PACS Number(s) | 68.55. – a, 81.15.Cd |
| Ключові слова | Багатокомпонентні покриття, Металокарбідні покриття, Структуроутворення, Осадження розпиленням, Складена мішень. |
| Анотація |
Шляхом розпилення мішені-стрижня, що складається з шайб різних металів та вуглецю, отримані багатокомпонентні покриття. Розпилювальний пристрій, що використовувався для отримання покриттів, був розроблений авторами та є модифікацією магнетронного розпилення на постійному струмі з катодним вузлом у вигляді пустотілого катода. Коаксіально розпилювальній мішені-стрижню розташовують трубу, на внутрішню поверхню якої відбувається конденсація. З метою досліджень структурно-фазового стану та фізичних властивостей конденсатів використовують підкладки, які розташовують вздовж внутрішньої поверхні труби паралельно осі мішені-стрижня. На основі вивчення методом EDXA розподілу елементного складу конденсатів на таких підкладках за використання набору шайб з металів Co, Cr, Ni, Ti, Zr, Hf, Ta, W та вуглецю встановлено формування покриттів (TiTaW)C0.34, (TaTiWCrHf)C0.22, (WTaTiCrHfCo)C0.12, (CrWHfTaCoNiTiZr)C0.1, (CrHfWNiCoTaTi)C0.09 та (CrHfNiCoWTa)C0.08. При дослідженні покриттів за допомогою ПЕМ та РЕМ, а також рентгенофазового аналізу зроблено висновок про те, що їх структура при збільшенні вмісту вуглецю змінюється від дрібнодисперсних полікристалів до аморфного стану. З підвищенням концентрації вуглецю приблизно до 22 ат. % відбувається зменшення шорсткості поверхні покриттів, карбідизація твердого розчину Ті, Та, Hf, Cr, W та відповідне підвищення мікротвердості покриттів до 17 ГПа. Насамкінець, елементним складом покриттів можна керувати, варіюючи склад та геометричні параметри складеної мішені-стрижня. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Механічна електроосадженого покриття із сплаву Ni-P [01001-1-01001-5]2) New Biosensor Design Based on Photonic Crystal Core-shell Rods Defects for Detecting Glucose Concentration [01002-1-01002-4]
3) Процес Лібмана для розподілу інформаційних потоків систем автоматичного керування двигуном [01003-1-01003-5]
4) Монітор профілю низькоенергетичного електронного пучка [01004-1-01004-5]
5) Застосування додаткового процесу згладжування дрейфу для поліпшення електрофізичних параметрів p-i-n структур Si (Li) великих розмірів [01006-1-01006-5]
6) Вплив матеріалів верхнього електрода на комутаційні характеристики та властивості витривалості пристрою RRAM на основі оксиду цинку [01007-1-01007-6]
7) Вертикальна еліптична полоскова недіагональна антена з кільцевим отвором для мікрохвильового зображення молочної залози [01008-1-01008-4]
8) Оптична характеристика хімічно відновлених наночастинок срібла для сонячних елементів, чутливих до барвника [01009-1-01009-4]
9) Вплив інтенсивної пластичної деформації на фазові співвідношення нанокристалів кобальту [01010-1-01010-6]
10) Вплив корелюючих кольорових шумів на довгий Джозефсонівський контакт [01011-1-01011-5]
11) Нановуглецеві матеріали рослинного походження для суперконденсаторів [01012-1-01012-6]
12) Структурно-морфологічні та електропровідні властивості композиційних матеріалів С-Al2O3 [01013-1-01013-6]
13) Діодний лазер як електронна система хірургічного впливу на м’які біологічні тканини [01014-1-01014-4]
14) Діоди Ганна на основі варизонного GaInPAs [01015-1-01015-9]
15) Підвищення теплової продуктивності SSP, заповненого нанорідиною [01016-1-01016-5]
16) Вплив на інфрачервоні спектральні, структурні та морфологічні властивості наночастинок , осаджених за кімнатної температури [01017-1-01017-4]
17) Магнітокалоричний ефект у метамагнітному сплаві з ефектом пам'яті форми [01018-1-01018-4]
18) Вирощування і властивості кристалів PbI2, легованих Cd [01019-1-01019-5]
19) Аналіз різних біопотенційних електродів, що використовуються для електроміографії [01020-1-01020-7]
20) Електронні властивості тетратеніту L10 FeNi в умовах земного ядра [01021-1-01021-6]
21) Отримання, структура і властивості покриттів на основі Al2O3, отримані магнетронним методом [01022-1-01022-4]
22) Фото-ЕРС на поверхнях Si та SiGe при сонохімічній обробці у дихлорметані [01023-1-01023-4]
23) Вплив конфігурації переходу на продуктивність сонячних елементів In2S3/CZTS [01024-1-01024-3]
24) Синтез та характеристика наночастинок композиту Ce-Fe методом золь-гелю [01025-1-01025-3]
25) Передумови створення комірки пам’яті нового типу «біт + кубіт» на основі нанорозмірних структурних неоднорідностей доменних стінок, утворених в одновісних феромагнітних плівках [01026-1-01026-2]
26) Оптичні властивості плівки: експериментальні та теоретичні аспекти [01027-1-01027-4]
