Перемішування на границях шарів багатошарових наноперіодних покриттів системи TiNх/ZrNх: моделювання та експеримент
| Автори | О.В. Соболь1 , А.О. Мейлехов1 , Р.П. Мигущенко1 , Г.О. Постельник1 , Ю.Є. Сагаїдашніков1, В.А. Столбовий2 |
| Афіліація | 1 Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Kирпичова, 2, 61002 Харків, Україна 2 Національний науковий центр Харківський фізико-технічний інститут, вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна |
| Е-mail | sool@kpi.kharkov.ua |
| Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 6 |
| Дати | Одержано 25.07.2017, опубліковано online - 24.11.2017 |
| Цитування | О.В. Соболь, А.О. Мейлехов, Р.П. Мигущенко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 6, 06021 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(6).06021 |
| PACS Number(s) | 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx |
| Ключові слова | Вакуумна дуга (6) , TiNх/ZrNх, Період (14) , Потенціал зміщення (8) , Фазовий склад (34) , Структура (228) , Напружено-деформований стан (3) , Твердий розчин (27) , Комп'ютерне моделювання (3) , Твердість (67) . |
| Анотація | Встановлено, що критична товщина радіаційно-стимульованого дефектоутворення істотно впливає на напружено-деформований стан і твердість покриттів з малим Λ ≈ 10 нм. При цьому відбувається релаксація напружено-деформованого стану стиснення і зменшується твердість. Однак утворення твердого розчину при збереженні частини шару нітриду титану при Λ 10 нм, який не прореагував, дозволяє отримати надвисоку (44,8 ГПа) твердість покриття. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Вплив неоднорідності товщини шарів TiO2 на транспорт носіїв заряду в дисперсних сонячних елементах на барвниках [06001-1-06001-5]2) Electrical Performance of Zinc Oxide Thin Films Transistors [06002-1-06002-5]
3) A Comparative Study of Increasing Sensitivity Based on MoS2 Gas Sensor [06003-1-06003-4]
4) Очистка кристалів Cd(Mn)Te для детекторів рентгенівського випромінювання спеціальним відпалом [06004-1-06004-5]
5) New Optimized Intermediate Band (IB) Design to Improve ZnTeO Solar Cell Performances [06005-1-06005-4]
6) New Nonrelativistic Quarkonium Masses in the Two-Dimensional Space-Phase using Bopp’s shift Method and Standard Perturbation Theory [06006-1-06006-8]
7) Розсіяння електронів на близькодіючому потенціалі точкових дефектів в GaN зі структурою сфалерит: розрахунок з перших принципів [06007-1-06007-6]
8) Effects of Stone-Wales Defect Position in Graphene Nanoribbon Field-Effect Transistor [06008-1-06008-5]
9) Analytical Modeling & Simulation of OFF-State Leakage Current for Lightly Doped MOSFETs [06009-1-06009-4]
10) Моделювання процесу створення мікрокомпонентів для вакуумної електроніки та рентгенівської оптики із застосуванням протонно-променевої літографії [06010-1-06010-5]
11) Analytical Identification Method for the Single Diode Model Parameters of a Photovoltaic Panel using Datasheet Values [06011-1-06011-4]
12) Формування багатошарових упорядкованих масивів магнітних наночастинок CoFe2O4 [06012-1-06012-5]
13) Effect of Electron Irradiation on Conductivity Anisotropy in n-InSe [06013-1-06013-5]
14) Визначення температури плавлення біметалевої Au@Ag наночастинки методами комп’ютерного моделювання [06014-1-06014-4]
15) Енергетичний спектр електрона та сили осциляторів внутрішньозонних квантових переходів у подвійних напівпровідникових нанокільцях у магнітному полі [06015-1-06015-6]
16) Формування ниткоподібних оксидних структур на поверхні монокристалічного арсеніду галію [06016-1-06016-4]
17) Ionizing Radiation Induced Modification of the Copper Nanotubes Structure [06017-1-06017-6]
18) Phase Composition and Crystal Structure of N4HNO3 Granules with Nanostructured Surface Porous Layer [06018-1-06018-4]
19) Computer Simulation of Electrical Characteristics of the Carbon Nanochains [06019-1-06019-6]
20) Структура і властивості плівок сульфіду кадмію, отриманих методом магнетронного розпилення [06020-1-06020-5]
21) Influence of Ethanol and Water on Physical and Chemical Processes of Splitting of Paracetamol and Glycine [06022-1-06022-6]
22) Створення дифузійного бар’єру на міжфазній поверхні композиційних покриттів, зміцнених вуглецевими нанотрубками [06023-1-06023-5]
23) Структура і властивості вакуумно-дугових покриттів хрому і його нітридів, отриманих в умовах дії постійного і імпульсного високовольтного потенціалів зсуву [06024-1-06024-6]
24) Effect of Annealing Time on the Power Conversion Efficiency of Silicon Nanowire Based Solar Cell Prepared by Wet Diffusion Technique [06025-1-06025-4]
25) Creation of a Tunable Diode Based on Nanotubes with an Ion Gate [06026-1-06026-4]
26) Influence of the Angle of Inclination of the Plasma Flow of Carbon to the Substrate on the Electrical Capacitance and Morphology of the Surface of Carbon Coatings [06027-1-06027-3]
27) Synthesis and Optical Absorption Properties of Copper Oxide Nanoparticles for Applications in Transparent Surface Coatings and Solar Cells [06028-1-06028-2]
