Моделювання процесу створення мікрокомпонентів для вакуумної електроніки та рентгенівської оптики із застосуванням протонно-променевої літографії
| Автори | О.Г. Пономарьов1,2, О.С. Лапін1, С.В. Колінько1 , В.А. Ребров1, В.О. Журба2, М.В. Петровський2, В.М. Коломієць1 , С.М. Кравченко1 |
| Афіліація | 1 Інститут прикладної фізики Національної академії наук України, вул. Петропавлівська, 58, 40000 Суми, Україна 2 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна |
| Е-mail | ponom56@gmail.com |
| Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 6 |
| Дати | Одержано 27.09.2017, у відредагованій формі - 29.10.2017, опубліковано online - 15.11.2017 |
| Цитування | О.Г. Пономарьов, О.С. Лапін, С.В. Колінько, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 6, 06010 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(6).06010 |
| PACS Number(s) | 42.82.Cr; 85.40.Hp; 81.16.Nd |
| Ключові слова | Мікрокомпоненти, Протонно-променева літографія, Скануюча система, Дифракційна ґратка (2) . |
| Анотація | Проведено чисельне моделювання процесу сканування сфокусованим пучком протонів з енергією 1 МеВ в каналі протонно-променевої літографії на базі електростатичного прискорювача з метою вибору розмірів відхиляючих пластин електростатичної скануючої системи. Умовою вибору були максимальна величина розмірів растра сканування на поверхні зразка і мінімізація відхилення пучка вздовж оптичної осі. Розроблено програму побудови профілю сканування пучком, який адекватно відображає шаблон створюваних мікрокомпонентів. Відпрацьовано процес підготовки зразків з нанесенням тонкого шару резистивного матеріалу. Визначено дози опромінення зразків протонним пучком для отримання умов повного травлення експонованої області. Проведено тестові експерименти з перевірки працездатності системи управління процесом сканування. |
|
Перелік посилань English version of article |
Інші статті цього номера
1) Вплив неоднорідності товщини шарів TiO2 на транспорт носіїв заряду в дисперсних сонячних елементах на барвниках [06001-1-06001-5]2) Electrical Performance of Zinc Oxide Thin Films Transistors [06002-1-06002-5]
3) A Comparative Study of Increasing Sensitivity Based on MoS2 Gas Sensor [06003-1-06003-4]
4) Очистка кристалів Cd(Mn)Te для детекторів рентгенівського випромінювання спеціальним відпалом [06004-1-06004-5]
5) New Optimized Intermediate Band (IB) Design to Improve ZnTeO Solar Cell Performances [06005-1-06005-4]
6) New Nonrelativistic Quarkonium Masses in the Two-Dimensional Space-Phase using Bopp’s shift Method and Standard Perturbation Theory [06006-1-06006-8]
7) Розсіяння електронів на близькодіючому потенціалі точкових дефектів в GaN зі структурою сфалерит: розрахунок з перших принципів [06007-1-06007-6]
8) Effects of Stone-Wales Defect Position in Graphene Nanoribbon Field-Effect Transistor [06008-1-06008-5]
9) Analytical Modeling & Simulation of OFF-State Leakage Current for Lightly Doped MOSFETs [06009-1-06009-4]
10) Analytical Identification Method for the Single Diode Model Parameters of a Photovoltaic Panel using Datasheet Values [06011-1-06011-4]
11) Формування багатошарових упорядкованих масивів магнітних наночастинок CoFe2O4 [06012-1-06012-5]
12) Effect of Electron Irradiation on Conductivity Anisotropy in n-InSe [06013-1-06013-5]
13) Визначення температури плавлення біметалевої Au@Ag наночастинки методами комп’ютерного моделювання [06014-1-06014-4]
14) Енергетичний спектр електрона та сили осциляторів внутрішньозонних квантових переходів у подвійних напівпровідникових нанокільцях у магнітному полі [06015-1-06015-6]
15) Формування ниткоподібних оксидних структур на поверхні монокристалічного арсеніду галію [06016-1-06016-4]
16) Ionizing Radiation Induced Modification of the Copper Nanotubes Structure [06017-1-06017-6]
17) Phase Composition and Crystal Structure of N4HNO3 Granules with Nanostructured Surface Porous Layer [06018-1-06018-4]
18) Computer Simulation of Electrical Characteristics of the Carbon Nanochains [06019-1-06019-6]
19) Структура і властивості плівок сульфіду кадмію, отриманих методом магнетронного розпилення [06020-1-06020-5]
20) Перемішування на границях шарів багатошарових наноперіодних покриттів системи TiNх/ZrNх: моделювання та експеримент [06021-1-06021-6]
21) Influence of Ethanol and Water on Physical and Chemical Processes of Splitting of Paracetamol and Glycine [06022-1-06022-6]
22) Створення дифузійного бар’єру на міжфазній поверхні композиційних покриттів, зміцнених вуглецевими нанотрубками [06023-1-06023-5]
23) Структура і властивості вакуумно-дугових покриттів хрому і його нітридів, отриманих в умовах дії постійного і імпульсного високовольтного потенціалів зсуву [06024-1-06024-6]
24) Effect of Annealing Time on the Power Conversion Efficiency of Silicon Nanowire Based Solar Cell Prepared by Wet Diffusion Technique [06025-1-06025-4]
25) Creation of a Tunable Diode Based on Nanotubes with an Ion Gate [06026-1-06026-4]
26) Influence of the Angle of Inclination of the Plasma Flow of Carbon to the Substrate on the Electrical Capacitance and Morphology of the Surface of Carbon Coatings [06027-1-06027-3]
27) Synthesis and Optical Absorption Properties of Copper Oxide Nanoparticles for Applications in Transparent Surface Coatings and Solar Cells [06028-1-06028-2]
