Автори | Я.О. Cичікова1, В.В. Кідалов1 , Г.О. Сукач2 |
Афіліація | 1 Бердянский державний педагогічний університет, вул. Шмідта 4, 71118, Бердянськ, Україна 2 Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, пр. Науки 41, 03028, Київ, Україна |
Е-mail | yanasuchikova@mail.ru |
Випуск | Том 2, Рік 2010, Номер 4 |
Дати | Одержано 06.10.2010, у відредагованій формі – 08.01.2011 |
Цитування | Я.О. Cичікова, В.В. Кідалов, Г.О. Сукач, Ж. нано- електрон. фіз. 2 №4, 75 (2010) |
DOI | |
PACS Number(s) | 61.43Gt, 78.30Fs, 78.55m |
Ключові слова | Поруватий InP (2) , Скануюча електрона мікроскопія (3) , Наноструктури (23) , Електрохімичний процес, Сегрегація (3) . |
Анотація |
У даній роботі представлені експериментальні результати, що демонструють вплив рівня легування фосфіду індію на формування поруватого шару на його поверхні під час електрохімічного травлення. Встановлено, що найбільш якісні поруваті шари формуються при використанні кристалів з концентрацією віль-них носіїв заряду 2,3 × 1018 см– 3. Також представлені результати досліджень шаруватої неоднорідності InP, яка пояснена з точки зору особливості техно-логічного процесу вирощування сільнолегованих кристалів. |
Перелік посилань |