Автори | С.В. Томілін, О.С. Яновський |
Афіліація | Кафедра фізики напівпровідників, Запорізький національний університет, вул. Жуковського, 66, 69600 Запоріжжя, Україна |
Е-mail | tomilin_znu@mail.ru |
Випуск | Том 5, Рік 2013, Номер 3 |
Дати | Одержано 01.03.2013, у відредагованій формі - 30.06.2013, опубліковано online - 12.07.2013 |
Цитування | С.В. Томілін, О.С. Яновський, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 3, 03014 (2013) |
DOI | |
PACS Number(s) | 68.55.– a |
Ключові слова | Тонка плівка (27) , Вакуумний відпал, Дифузія (34) , Наноострівець, РЕМ (154) . |
Анотація | В роботі представлені теоретичні та експериментальні результати досліджень наноострівцевих металевих покриттів на напівпровідникових підкладках, отриманих при вакуумному відпалі надтонких суцільних плівок. Експериментально показано, що формування острівцевої структури можливе тільки для плівок з товщиною більшою за деяке значення. Дослідження поверхневої морфології плівок проводилось з використанням РЕМ. |
Перелік посилань |