Автори | О.С. Кузема1 , П.О. Кузема2 |
Афіліація | 1 Сумський національний аграрний університет, вул. Кірова, 160, 40021 Суми, Україна 2 Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України, вул. Генерала Наумова, 17, 03164 Київ, Україна |
Е-mail | nikonorov@ukr.net |
Випуск | Том 5, Рік 2013, Номер 3 |
Дати | Одержано 15.04.2013, у відредагованій формі - 12.05.2013, опубліковано online 17.10.2013 |
Цитування | О.С. Кузема, П.О. Кузема, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 3, 03045 (2013) |
DOI | |
PACS Number(s) | 07.75. + h |
Ключові слова | Іонний зонд, Магнітна призма, Фокусування іонів (2) , Енергоаналізатор, Мас-аналізатор (3) , Електростатична лінза, Роздільна здатність (5) . |
Анотація | Розглянуто іонно-оптичні властивості і характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів у якості енергоаналізатора застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це дозволило покращити параметри приладу і зменшити його габарити. |
Перелік посилань English version of article |