Оцінка відносної енергії границь зерен в кремнієвих плівках методом зернограничних канавок
| Автори | Т.В. Родіонова1 , П.М. Литвин2 |
| Приналежність |
1Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 64/13, 01601 Київ, Україна 2Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН, просп. Науки, 41, 03028 Київ, Україна |
| Е-mail | rodtv@univ.kiev.ua |
| Випуск | Том 10, Рік 2018, Номер 6 |
| Дати | Одержано 16.08.2018, у відредагованій формі – 29.11.2018, опубліковано online18.12.2018 |
| Посилання | Т.В. Родіонова, П.М. Литвин, Ж. нано- електрон. фіз. 10 № 6, 06040 (2018) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.10(6).06040 |
| PACS Number(s) | 68.35._p, 68.37.Ps |
| Ключові слова | Кремнієві плівки (3) , Двогранний кут, Відносна зерногранична енергія, Атомна силова мікроскопія (4) . |
| Анотація |
Відносна зерногранична енергія нелегованих та легованих фосфором кремнієвих плівок з рівноосьовою, дендритною та волокнистою структурою, що отримані методом хімічного осадження з газової фази в реакторі зниженого тиску, визначалась методом зернограничних канавок, що утворюються при перетинанні границь зерен вільною поверхнею. Вимірювання двогранних кутів проводилось по даним атомної силової мікроскопії. Показано, що нелеговані плівки з дендритною структурою мають найменшу відносну зернограничну енергію; найбільша відносна енергія спостерігалась у плівках з волокнистою структурою. Висока зерногранична енергія в плівках з волокнистим типом структури може бути обумовлена наявністю в цих плівках великої кількості високоенергетичних двійникових границь високих порядків (Σ3, Σ9, Σ27 і так далі). Легування фосфором призводить до зростання зернограничної енергії в плівках з дендритною структурою, що може бути обумовлено сегрегацією фосфору на границях зерен. |
|
Перелік посилань English version of article |
Інші статті цього номера
1) Електрон-електронна взаємодія у плоских закритих напівпровідникових наноструктурах [06001-1-06001-4]2) Computer Modeling Zinc Oxide/Silicon Heterojunction Solar Cells [06002-1-06002-6]
3) Проектування та виготовлення полімер-керамічних нанокомпозитних матеріалів для інженерії кісткової тканини [06003-1-06003-11]
4) PSpice Implementation and Simulation of a New Electro-Thermal Modeling for Estimating the Junction Temperature of Low Voltage Power MOSFET [06004-1-06004-5]
5) Вплив ударно-вібраційного методу на структурно-морфологічні характеристики та розподіл валентних електронів оксидів алюмінію, кремнію, заліза та титану [06005-1-06005-8]
6) Thermodynamic Properties of a Quantum Ring Perturbed with Quantum Wells and Impurities [06006-1-06006-4]
7) Electronic Spectrum of Intercalated Layered Crystals: Model Analysis [06007-1-06007-5]
8) Indium Nanoparticle Enhanced Light Trapping in Thin Film Silicon Solar Cells [06008-1-06008-4]
9) Characterization of Precipitates in the 18-1-1 and 18-1-1-5 High-Speed Steels During Tempering After Previous Quenching [06009-1-06009-5]
10) Аналіз поведінки частотних спектрів дислокаційного поглинання ультразвуку в опромі-нених зразках LiF з різною дислокаційною структурою [06010-1-06010-5]
11) Design of a Selective Smart Gas Sensor Based on ANN-FL Hybrid Modeling [06011-1-06011-5]
12) Дослідження струмопровідних електродів елементів із п‘єзоелектричних керамік, моди-фікованих стрічковим електронним потоком низької енергії [06012-1-06012-6]
13) Ultrasound Effect on Molecules of Sodium Dodecyl Sulphate as Systems of Nanoparticles [06013-1-06013-5]
14) Influence of Mechanical Treatment of the Z-Surface of Lithium Niobate on the Properties of X-ray Pyroelectric Source [06014-1-06014-4]
15) Extended of the Schrödinger Equation with New Coulomb Potentials plus Linear and Har-monic Radial Terms in the Symmetries of Noncommutative Quantum Mechanics [06015-1-06015-7]
16) Структурно-фазовий стан та дифузійні процеси в плівкових структурах на основі Co і Ru [06016-1-06016-4]
17) Розробка гібридного сонячного модуля для високоефективної сонячної станції [06017-1-06017-5]
18) Першопринципне моделювання впливу домішок бору на електронну структуру карбіду титану [06018-1-06018-4]
19) Опис переходу між різними режимами руху наночастинок в рамках чотирипараметричної системи Лоренца [06019-1-06019-8]
20) Study of ZnO–SnO2 Thin Film Growth Processes [06020-1-06020-4]
21) Отримання, структура та сенсорні властивості фрактально-перколяційних наносистем ZnO [06021-1-06021-4]
22) Моделювання плазмон-поляритонних структур з інтерференційним розподілом поля [06022-1-06022-6]
23) Вплив термомагнітної обробки на структуру та електрофізичні властивості полімерних композиційних матеріалів [06023-1-06023-5]
24) Оптичні властивості квантових точок CdS, синтезованих у вуглецевій матриці [06024-1-06024-5]
25) Influence of Defective Formations on Photoconductivity of Layered Crystals with Cationic Substitution [06025-1-06025-4]
26) Electronics Properties of Monoclinic HfO2 [06026-1-06026-4]
27) Modeling of Spin Valves of Magnetoresistive Fast-Acting Memory [06027-1-06027-7]
28) Формування наноструктур за допомогою синхронізації диполів в оптичному ближньому полі [06028-1-06028-4]
29) Characterization of Different Type of Backsheet Films Used in PV Modules [06029-1-06029-4]
30) Використання негативного потенціалу зміщення для структурної інженерії вакуумно-дугових нітридних покриттів на основі FeCoNiCuAlCrV високоентропійного сплаву [06030-1-06030-5]
31) Фізико-технологічні та біологічні основи методу лазерно-індукованої коагуляції [06031-1-06031-4]
32) Effect of Annealing Temperature on Structural, Optical and Electrical Properties of ZnO Thin Films Prepared by Sol-Gel Method [06032-1-06032-4]
33) Закономірності поляризаційної та резонансної поведінки метаповерхні з круглих отворів [06033-1-06033-8]
34) Моделювання нанотранзисторів: будова MOSFET [06034-1-06034-6]
35) Improving the Wear Resistance of Thermally Sprayed Nanocomposite Cr3C2-25NiCr Coatings by Pulsed Plasma Treatment [06035-1-06035-4]
36) Experimental Setup for Studying the Processes Occurring During Interaction of Fast Electrons with Matter [06036-1-06036-3]
37) Дослідження мікромеханічних властивостей тонких плівок PbTe та PbSe [06037-1-06037-4]
38) Вплив УФ випромінювання позаземної сонячної радіації на структуру і властивості плівок ZnO виготовлених імпульсним електрохімічним осадженням і методом SILAR [06038-1-06038-13]
39) Paramagnetic and Photocatalytic Properties of C-S co-Doped TiO2 Nanocatalysts [06039-1-06039-4]
40) Опосередкований вплив квантового розмірного ефекту в багатошарових наноплівках Co/Cu(111) на поздовжній ефект Керра [06041-1-06041-7]
41) Трансформація електронних енерґетичних зон твердих розчинів CdMnTe [06042-1-06042-5]
42) Interaction of Two-Dimensional Extremely Short Optical Pulses in a Zig-Zag Carbon Nanotubes in the Presence of a High-Frequency Electric Field [06043-1-06043-4]
43) Electronic Structure and X-Ray Photoelectron Spectra of Some Perovskite Molecular Crystals [06044-1-06044-7]
44) Моделювання метода модуляційної лазерної спектроскопії для дослідження газових сумішей на основі метану [06045-1-06045-6]
45) Parameter Extraction of Schottky Solar Cell in Wide Temperature Range Using Genetic Algorithms [06046-1-06046-4]
46) Structure and Stresses in a System of Two Mechanical Twins in Titanium [06047-1-06047-3]
