Структурна інженерія багатошарових вакуумно-дугових нітридних покриттів на основі Ti, Cr, Mo і Zr
| Автори | О.В. Соболь1 , А.А. Постельник1, А.А. Мейлехов1, А.А. Андреев2, В.А. Столбовой2, В.Ф. Горбань3 , |
| Афіліація | 1 Національний технічний університет “Харківский політехнічний інститут”, вул. Кирпичова, 2, 61002, Харків, Україна 2 Національний науковий центр «Харківский фізико-технічний інститут», вул. Академічна, 1, 61108, Харків, Україна, 3 Інститут проблем матеріалознавства НАН України, вул. Кржижановського, 3, 03142 Київ, Україна |
| Е-mail | sool@kpi.kharkov.ua |
| Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 3 |
| Дати | Одержано 13.03.2017, опубліковано online - 30.06.2017 |
| Цитування | О.В. Соболь, А.А. Постельник, А.А. Мейлехов, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 3, 03003 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(3).03003 |
| PACS Number(s) | 64.75.St, 81.07.Bc, 62.25. – g, 61.05.cp, 61.82.Rx |
| Ключові слова | Вакуумно-дуговий метод (3) , Багатоперіодні покриття, Структурна інженерія (6) , Напружений стан, Твердість (67) , Міцність (16) . |
| Анотація | Методами структурних досліджень (рентгенівська дифракція і електронна мікроскопія) в поєднанні з вимірюванням твердості індентуванням вивчені можливості структурної інженерії багатоперіодних вакуумно-дугових покриттів на основі нітридів перехідних металів Ti, Cr, Mo і Zr. Встановлено формування фаз з кубічною кристалічною решіткою в нерівноважних умовах при вакуумно-дуговому методі отримання. Подача негативного потенціалу зсуву -200В в мононітридах призводить до переважного утворення текстури кристалітів з віссю [111]. Введення тонких (близько 10 нм) металевих прошарків призводить до зменшення досконалості текстури [111] і формування текстури [100]. Цей ефект пов'язується зі зміною напружено-деформованого стану нітридних шарів. Визначено, що композиційні багатоперіодні покриття (Me1N/Me2N)/(Me1/Me2) мають високу твердість і високу стійкість в порівнянні з MeN/Me. Для багатоперіодної системи з демпфірувальними металевими шарами - (ZrN/CrN)/(Zr/Cr), отримані надтверді покриття з твердістю 46 ГПа. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Вплив параметрів магнітного та немагнітного шарів на процеси дисипації у багатошарових наноструктурах з антиферомагнітним компонентом [03001-1-03001-6]2) Опір інтеркальованих сполук графіту з бромом та хлоридом алюмінію під тиском [03002-1-03002-7]
3) Effect of Sprayed Solution Volume on Structural and Optical Properties of Nickel Oxide Thin Films [03004-1-03004-5]
4) Отримання блокових наноструктур на поверхні фосфіду індію [03005-1-03005-5]
5) Отримання аморфно-нанокристалічних сплавівчастковою кристалізацією металевих стекол [03006-1-03006-4]
6) Investigating the Band Alignment of Zn(O, S) with Kesterite (Cu2ZnSnS4) Material for Photovoltaic Application [03007-1-03007-4]
7) Exploring the Structural Stability and Electronic Properties of VS2 Nanostructures – a DFT Study [03008-1-03008-4]
8) Отримання плівок ZnSe в лужному електроліті [03009-1-03009-5]
9) Solution Processed AZO Thin Films Prepared from Different Source Materials [03010-1-03010-4]
10) Effect of Electrochemical Introduction of Cobalt Ions on the Properties of Carbon-porous Materials as an Electrode Component Supercapacitor [03011-1-03011-5]
11) Емісія фотонів при взаємодії електронів з поверхнею наногетеро структур [03012-1-03012-4]
12) Modeling, Simulation and Implementation of PV Cell/Modules Using PSpice [03013-1-03013-5]
13) Тангенс кута механічних втрат полівінилхлориду, наповненого нанодисперсними металами та графітом [03014-1-03014-5]
14) Тонкі плівки телуриду кадмію для гнучких сонячних елементів, отримані методом магнетронного розпилення [03015-1-03015-7]
15) Коінтеркалатні напівпровідники GaSe(InSe) з гостьовим мультифероїком NaNO2 + FeSO4 [03016-1-03016-7]
16) Про пов'язаність електронних і механічних процесів при прийомі звуку в п'єзокерамічному середовищі циліндричного перетворювача в присутності плоского екрану [03017-1-03017-6]
17) A DFT Study of Hydrogen Adsorption onto Graphene: Effect of Nitrogen Doping [03018-1-03018-5]
18) 1.5 μm Solid-state Lasers with Diode Pumping [03019-1-03019-6]
19) Raman Study of CVD Graphene Irradiated by Swift Heavy Ions [03020-1-03020-4]
20) A Recent Study of Excited Energy Levels of Diatomics for Modified more General Exponential Screened Coulomb Potential: Extended Quantum Mechanics [03021-1-03021-6]
21) Методика визначення фізико-механічних параметрів п'єзоелектричної кераміки [03022-1-03022-6]
22) Ріст масиву наночастинок золота з водного розчину на електропровідних поверхнях [03023-1-03023-4]
23) Вплив обробки поверхні Si на електричні властивості гетероструктур p-NiO/n-Si [03024-1-03024-4]
24) Study of Structural Evolution and Magnetic Behavior of Ni50Mn45Sn5 Alloy [03025-1-03025-5]
25) Формування квантових точок InAs в матриці GaAs у кінетичному режимі для CVD-методу [03026-1-03026-4]
26) CdS Nanoparticles: A Facile route to Size-Controlled Synthesis of Quantum Dots on a Polymer Matrix [03027-1-03027-5]
27) Властивості повного фононного спектра анізотропних одно- і тришарових вюрцитних наносистем [03028-1-03028-6]
28) Investigation of Thermal Stability of Red Emitting SrGd2(1 – x)Eu2xO4 Phosphors for Lighting and Display Applications [03029-1-03029-4]
29) Influence of the Space Charge on Tunneling of Electrons and Their Conductivity by the Resonance Tunneling Structures in the Constant Electric Field [03030-1-03030-8]
30) New Non-relativistic Bound States Solutions for Modified Kratzer Potential in One-electron Atoms [03031-1-03031-7]
31) Деформаційний потенціал акустичної квазірелеєвської хвилі, взаємодіючої з адсорбованими атомами [03032-1-03032-5]
32) Кінетика сильно нерівноважного магнонного газу за умов Бозе-Ейнштейнівської конденсації [03033-1-03033-4]
33) A Novel Enhanced-Majority-Voter Universal Gate in Quantum Dot Cellular Automata with Energy Dissipation Analysis [03034-1-03034-7]
34) CdTe детектори Х/γ- випромінювання з MoOx контактами [03035-1-03035-4]
35) Структура гранул магнітних нанопорошків нікель-цинкового фериту, отриманого кріохімічним методом [03036-1-03036-5]
36) Методологія та алгоритм багатокомпонентного аналізу позитронних анігіляційних спектрів для наноструктурованих функціональних матеріалів [03037-1-03037-6]
37) Numerical Simulation of Tin Based Perovskite Solar Cell: Effects of Absorber Parameters and Hole Transport Materials [03038-1-03038-4]
38) Негативна групова швидкість поверхневих поляритонів у металевій плівковій наноструктурі [03039-1-03039-4]
39) Thickness-dependent Electrochromic Properties of Amorphous Tungsten Trioxide Thin Films [03040-1-03040-4]
40) PbS-ZnO Solar Cell: A Numerical Simulation [03041-1-03041-4]
41) Artificial Neural Network Modeling of NixMnxOx based Thermistor for Predicative Synthesis and Characterization [03042-1-03042-4]
42) Effect of Annealing in Physical Properties of NiO Nanostructure Thin Film [03043-1-03043-3]
43) 2D Few Cycle Optical Pulses in Silicene in the Presence of External Electric Field [03044-1-03044-3]
44) Вплив адитивного гаусового шуму на фазову діаграму режимів фрагментації металу при інтенсивній пластичній деформації [03045-1-03045-8]
45) Comparative Analysis of Sensor Activity of Carbon Nanotubes Modified with Functional Groups [03046-1-03046-3]
