Структурна інженерія багатоперіодних покриттів ZrN/MoN
| Автори | О.В. Соболь1 , А.О. Мейлехов1 , В.А. Столбовий2 , Г.О. Постельник1 |
| Приналежність | 1НТУ «Харківський політехнічний інститут», вул. Кирпичова, 21, 61002 Харків, Україна 2ННЦ «Харківський фізико-технічний інститут», вул. Академічна, 1, 61108 Харків, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 8, Рік 2016, Номер 3 |
| Дати | Одержано 15.06.2016, опубліковано online - 03.10.2016 |
| Посилання | О.В. Соболь, А.О. Мейлехов, В.А. Столбовий, Г.О. Постельник, Ж. нано- електрон. фіз. 8 №3 03039 (2016) |
| DOI | 10.21272/jnep.8(3).03039 |
| PACS Number(s) | 52.77.Dq, 81.07.Bc, 61.05.cp, 61.82.Rx, 68.55.jm |
| Ключові слова | Багатошарові покриття ZrN/MoN, Товщина шарів (3) , Потенціал зсуву (7) , Структура (212) , Нанорозмір кристалітів, Твердість (63) . |
| Анотація | Використовуючи метод структурної інженерії шляхом зміни товщини шарів в багатоперіодній системі ZrN/MoN досліджено вплив фазово-текстурного стану кристалітів і їх розмір на твердість вакуумно-дугових покриттів. Виявлено визначальний вплив ZrN шарів на формування переважної орієнтації зросту з віссю [100] при малій товщині шарів 7-20 нм (час осадження 3 -10 сек). При великій товщині шарів визначальним текстуру [311] є кристаліти -Mo2N фази, що формується в Mo-N шарах. Імпульсна високовольтна стимуляція не змінюючи тип структурних станів для різних товщин шарів, призводить до часткової разорієнтації текстури при великій товщині шарів. Твердість покриттів з товстими (80 нм) шарами становить 35-37 ГПа. У шарах малої товщини імпульсна стимуляції рухливості атомів призводить до формування планарної структури з середнім розміром кристалітів в шарах 4-9 нм, що супроводжується підвищенням твердості до 44 ГПа. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Thermodynamics of Nucleation of Silicon Carbide Nanocrystals during Carbonization of Porous Silicon [03001-1-03001-4]2) Vector-matrix Analytical Model Recognitions of Nanoparticles of Silver on Polyester Fibers on Polarizing Raman Ranges [03002-1-03002-4]
3) Quantum-chemical Calculations of the Adsorption of CO on the Metal Oxide Clusters [03003-1-03003-4]
4) Magnetic Properties and Local Parameters of Crystal Structure for BaFe12O19 and SrFe12O19 Hexagonal Ferrites [03004-1-03004-4]
5) Динаміка гратки кристалу Ag8SnSe6 [03005-1-03005-6]
6) The Melting of Cluster Systems and Nanoparticles Models Pair Potential with an Effective Potential Well [03006-1-03006-4]
7) Degradation of Structure of Magnetron Ni and Cr Nanofilms at their Heating on Air [03007-1-03007-4]
8) Magnetic and Electrical Characteristics of Bismuth Ferrite, Depending on the Impurities, Method of Preparation and Size of the Nanoparticles [03008-1-03008-4]
9) Фрактальність поверхонь зламів алюмінію і титану опромінених інтенсивним електронним пучком [03009-1-03009-5]
10) Characteristic Features of Nanoscale Сarbide Inclusions Nucleation and Growth When Carburizing Steels [03010-1-03010-4]
11) Formation of the Electric Field Distribution in Thin Electro-Optic Layers for Precision Correction their Optical Characteristics [03011-1-03011-4]
12) Carrier Scattering Mechanisms in Bismuth Films Doped with Tellurium [03012-1-03012-5]
13) Obtaining Hexagonal Ferrites for Substrates Microstrip Microwave Devices of mm-Range of LTCC-technology [03013-1-03013-4]
14) Study of the Optical Properties and Structure Zinc Oxide Thin Films Prepared by Spin Coating Technique [03014-1-03014-4]
15) Вплив легування конденсатів міді перехідними металами Co, Mo, Ta на структуру і залежність Холла-Петчa [03015-1-03015-4]
16) LTCC-technology for Producing Hexaferrites [03016-1-03016-6]
17) Морфологічні та електрохімічні властивості вуглецевих електродних матеріалів, отриманих на основі лактози [03017-1-03017-7]
18) Deposition of Alumina-titania Nanostructured Coating by a New Multi-chamber Gas-dynamic Accelerator [03018-1-03018-4]
19) Optical Coefficients and PL Spectra with Variation in Ga-content in GaSeTe Thin Films: Visible Spectrum [03019-1-03019-5]
20) Free Reducing Agent, One Pot, and Two Steps Synthesis of Ag@SiO2 Core-shells using Microwave Irradiation [03020-1-03020-4]
21) The Mechanism of Introduction of Iron and Copper Atoms into the Interlayer Space of Ir-Pyrolyzed Acrylonitrile Nanopolymer [03021-1-03021-4]
22) Електрофізичні та магніторезистивні властивості плівок сплаву Ni80Fe20 [03022-1-03022-5]
23) Practical Analysis of the Properties of Nanoscale Electronic Elements Aimed at their Application when Designing Parallel Architecture Computing Systems [03023-1-03023-4]
24) Спектри фото- і термостимульованої люмінесценції нанокристалів CdS1 – xSex, вкраплених у боросилікатне скло [03024-1-03024-8]
25) A New Nonrelativistic Investigation for Spectra of Heavy Quarkonia with Modified Cornell Potential: Noncommutative Three Dimensional Space and Phase Space Solutions [03025-1-03025-9]
26) Кристалічна структура, електрофізичні та магніторезистивні властивості плівкових високоентропійних сплавів [03026-1-03026-5]
27) Thickness-dependent Electrical and Piezoelectric Properties of Lead-Free Ferroelectric Ba0.8Sr0.2TiO3 Thin Films [03027-1-03027-5]
28) Design a New Configuration of Micro Strip Rectangle Patch Antenna on Different Thickness Substrate for Telemedicine Applications [03028-1-03028-4]
29) Особливості термомагнітної поведінки високоентропійного сплаву CrMnFeCoNi [03029-1-03029-8]
30) Магніторезистивні властивості нанорозмірних плівкових матеріалів: варіювання вимірювальних струмів та мінімізація електронних шумів [03030-1-03030-4]
31) DFT Study on Structural and Mechanical Properties of Single-walled Carbon and Boron Nitride Nanotubes Functionalized with Carbenes [03031-1-03031-5]
32) Фотоелектричні властивості гетеропереходів власний оксид - p-In4Se3 [03032-1-03032-4]
33) Influence of the Composition on the Thermoelectric and Electro-physical Properties of Ge-Sb-Te Thin Films for Phase Change Memory Application [03033-1-03033-4]
34) Physical Properties of Film Alloys Based on Ferromagnetic and Noble Metals (Review). І. Film Materials Based on Fe and Ag or Au [03034-1-03034-11]
35) Structure of Carbon Nanotubes in Colloidal Solutions under the Influence of a Constant Electric Field [03035-1-03035-3]
36) AlGaN Heterostructure Optimization for Photodetectors [03036-1-03036-4]
37) Synthesis of Nanoparticles of Fe-Co-Ni Three-component Alloy Capsulated Into Carbon Matrix of Fe-Co-Ni/C Nanocomposites [03037-1-03037-3]
38) Femtosecond Laser Crystallization of Boron-doped Amorphous Hydrogenated Silicon Films [03038-1-03038-3]
39) Modeling of Magnetic Field Influence on Electrophysical Effects in Magnetoimpedance Microwires [03040-1-03040-5]
40) Формування приладових наноструктур спін-клапанного типу на основі Со і Сu [03041-1-03041-5]
41) Two-dimensional Few-circle Optical Pulses of Bessel Profile in Bragg- environment with Carbon Nanotubes [03042-1-03042-4]
42) Influence of Ultrasonic Treatment on Electromagnetic Characteristicsof Composites Based on Multiwall Carbon Nanotubes at Wide Range of Frequencies (100 Hz – 258 GHz) [03043-1-03043-3]
43) Modeling the Permittivity of Ferrite-Dielectric Composites [03044-1-03044-3]
44) Багатошарові нітридні покриття (TiZrNbHf)N/MoN [03045-1-03045-6]
45) Numerical Approach of the Influence of Geometric Properties on the Absorbing in Photonic Crystal [03046-1-03046-5]
46) The Mechanism of Interaction of Esters of Methacrylic Acid with Carbon Nanotubes to Create a New Polymer Composite Material [03047-1-03047-3]
47) Assessment of Reliability of Recognition of Nanoparticles of Silver on Polyester Fibers on Two-dimensional Models and Experimental Data of the Raman Ranges [03048-1-03048-3]
48) Basic Principles of Betavoltaic Elements and Prospects of their Development [03049-1-03049-3]
49) Спінові збудження у дисипативних феромагнітних нанооболонках [03050-1-03050-4]
50) The Photoluminescence Properties of Ablated ZrO2 Nanoparticles [03051-1-03051-2]
51) Dependence of Nanoparticles Synthesis Energy Consumption in the Gas Spark Discharge on Circuit Parameters [03052-1-03052-3]
52) Method of Obtaining a Composite Material Based on Small-Dispersed Particles [03053-1-03053-3]
53) The Micro and Nano- defects Formation during Czochralski Growth [03054-1-03054-3]
54) Spectrum Features of Forced Oscillations of Microdroplet Aggregates in Magnetic Fluids [03055-1-03055-3]
55) X-ray Microanalysis of Sintered Nanocomposite Materials from Tungsten-containing Powders [03056-1-03056-3]
