Аналіз елементного складу та профілів розподілу нітридного наноструктурного покриття на основі TiHfVNbZr високоентропійного сплаву

Автори А.А. Багдасарян1 , Є. Смирнова1, П. Конарски2, M. Miśnik2, A. Zawada3
Приналежність

1 Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна

2 Теле і радіотехнічний інститут, вул.Ратушова 11, Варшава, Польща

3 Гданський політехнічний університет, вул. Нарутовича 11-12, Гданьск, Польща

Е-mail artemsumdu@ukr.net
Випуск Том 6, Рік 2014, Номер 2
Дати Одержано 26.05.2014, опубліковано online - 20.06.2014
Посилання А.А. Багдасарян, Є.  Смирнова, П. Конарски, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 6 № 2, 02028 (2014)
DOI
PACS Number(s) 81.05.Je, 81.70.Jb
Ключові слова Високоентропійний сплав (4) , Нітридне покриття (2) , Профіль розподілу (2) , Елементний розподіл, Іонно-променеві методи.
Анотація Досліджено елементно-структурні особливості нітридного наноструктурного покриття, отриманого вакуумно-дуговим випаровуванням з високоентропійного катода TiHfVNbZr. Використання взаємодоповнюючих методик елементного аналізу (RBS, SIMS і GDMS) дало змогу провести комплексний аналіз елементного складу, а саме визначити хімічний склад приповерхневого шару, встановити характерні особливості розподілу елементів по глибині, а також виявити неконтрольовані домішки.

Перелік посилань

English version of article