Розробка економічних струмопровідних контактів для газочутливих плівкових шарів диоксиду олова
| Автори | Г.С. Хрипунов , О.В. Пірогов, В.О. Новіков, Р.В. Зайцев , Л.В. Зайцева , А.Л. Хрипунова |
| Приналежність | Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», вул. Фрунзе, 21, 61002 м. Харків, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 2 |
| Дати | Одержано 13.03.2014, у відредагованій формі - 19.05.2014, опубліковано online - 20.06.2014 |
| Посилання | Г.С. Хрипунов, О.В. Пірогов та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 6 No 2, 02016 (2014) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 07.07.Df, 68.37. – d |
| Ключові слова | Газочутливий датчик, Струмопровідний контакт, Діоксид олова (3) . |
| Анотація | Для зниження собівартості перспективних для широкомасштабного застосування газових датчиків на основі плівок діоксиду олова за рахунок використання в якості струмопровідних покриттів плівок алюмінію, були проведені дослідження впливу режимів роботи на морфологію поверхні і кристалічну структуру плівкових гетеросистем Al / SnO2. Виявлено, що тривала робота гетеросистем при температурах 400 С призводить до появи на поверхні алюмінієвої плівки, а потім і на поверхні плівкового шару діоксиду олова частинок олова з розмірами до 2 мкм, які здатні порушити властивості газочутливого шару. У роботі розглянуті фізичні механізми виявленої міжфазної взаємодії. Запропонована конструкція газового датчика, в якій передбачено розмежування температур чутливого шару і струмопровідних контактів, що дозволяє використовувати плівки алюмінію в означеній приладовій структурі. |
|
Перелік посилань English version of article |
Інші статті цього номера
1) Люмінесценція монокристалів бромистого кадмію із додаванням домішки срібла [02001-1-02001-3]2) Класифікація мультикутової та спектральної еліпсометрії для напівпровідникових наноструктур [02002-1-02002-5]
3) Структурні властивості та елементний склад імплантованих Au+ плівок ZnO:Al, отрима-них золь-гель методом [02003-1-02003-5]
4) Surface Morphological Studies of Solar Absorber Layer Cu2ZnSnS4 (CZTS) Thin Films by Non-vacuum Deposition Methods [02004-1-02004-5]
5) Double Peak Behavior of Resistivity-Temperature Curves in (Nd / Pr)0.67Sr0.33MnO3 Manganites [02005-1-02005-3]
6) Interaction of Glucose with ZnO Nanoparticles [02006-1-02006-2]
7) Field Profile of Asymmetric Slab Waveguide Structure with LHM Layers [02007-1-02007-5]
8) Investigation of CNTFET Performance with Gate Control Coefficient Effect [02008-1-02008-4]
9) Response of Ag Thick Film Microstripline due to Superstrate Strontium Substituted Bismuth Manganites [02009-1-02009-3]
10) Evaluation of Vertical Coherence Length, Twist and Microstrain of GaAs / Si Epilayers Using Modified Williamson-Hall Analysis [02010-1-02010-7]
11) Вклад магнітного поля вихрових струмів у параметр загасання Гільберта [02011-1-02011-5]
12) Чисельне моделювання процесів формування електронних пучківу аксіально-симетричних системах [02012-1-02012-5]
13) Визначення комплексного показника заломлення еталона для вимірювання коефіцієнта відбиття [02013-1-02013-5]
14) Структурні, магнітні та магніторезистивні властивості трикомпонентного плівкового сплаву Ni-Fe-Co [02014-1-02014-7]
15) До розподілу Вагнера-Венгреновича [02015-1-02015-9]
16) Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 [02017-1-02017-5]
17) Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь [02018-1-02018-5]
18) Аналіз елементного складу плівок Cu2ZnSnSe4 методами PIXE та μ-PIXE [02019-1-02019-4]
19) Міжзеренні межі і електричні властивості тонких плівок твердих розчинів PbTe-Bi2Te3 [02020-1-02020-7]
20) Спінові хвилі у довільній феромагнітній наносистемі з трансляційною симетрією. Нанотрубка кругового перерізу. Нанотрубка еліптичного перерізу. [02021-1-02021-6]
21) Фазовий склад та магнітні властивості плівкових систем на основі Fe (Co) та Gd (Dy) [02022-1-02022-8]
22) Масив наночастинок золота на напівпровідникових плівках CdS: одержання, морфологія та оптичні властивості [02023-1-02023-4]
23) Вплив термічної та радіаційної дій на фазовий склад, структуру й напружено-деформований стан покриттів системи Ti-W-B, осаджених з іонно-атомних потоків [02024-1-02024-6]
24) Фазові перетворення і магніторезистивні властивості розбавлених твердих розчинів на основі атомів Fe і Ge [02025-1-02025-4]
25) Чотирьохдзеркальний відкритий резонатор з канавкою на плоскому дзеркалі [02026-1-02026-6]
26) Поля непрямих обмінних взаємодій в магнітних наногранульованих плівках [02027-1-02027-5]
27) Аналіз елементного складу та профілів розподілу нітридного наноструктурного покриття на основі TiHfVNbZr високоентропійного сплаву [02028-1-02028-5]
28) Дослідження топографії та атомної структури поверхонь сколювання (100) шаруватих кристалів In4Se3 [02029-1-02029-7]
