Класифікація мультикутової та спектральної еліпсометрії для напівпровідникових наноструктур
| Автори | А.А. Голобородько, М.В. Єпов, Л.Ю. Бобир, Т.В. Родіонова |
| Приналежність | Київський національний університет ім. Т. Шевченка, вул. Володимирська, 64/13, 01601 Київ, Україна |
| Е-mail | angol@univ.kiev.ua |
| Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 2 |
| Дати | Одержано 11.11.2013, опубліковано online - 20.06.2014 |
| Посилання | А.А. Голобородько, М.В. Єпов, Л.Ю. Бобир, Т.В. Родіонова, Ж. нано- електрон. фіз. 6 № 2, 02002 (2014) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 78.40.Fy, 78.66.Jg |
| Ключові слова | Полікремнієва плівка, Спектральна еліпсометрія (2) , Коефіцієнт відбиття (10) , Показник заломлення (11) , Показник поглинання (2) . |
| Анотація | Досліджені можливості багатопараметричного визначення напівпровідникових наноструктур на основі спектральних залежностей поляризованого випромінювання коефіцієнта відбиття Rp, Rs від кута падіння в діапазоні 200-800 нм. Експериментальні дані показали високі коефіцієнти чутливості відбивання кутової залежності від типу полікристалічних структур. Наявність додаткових спектральних екстремумів в залежності від заломлення і поглинання може бути пов'язане з розміром зерен полікристалічної структури і типу меж зерен. Показана можливість багатопараметричного дослідження оптичних властивостей і товщини напівпровідникових шарів на кремнієвій підкладці. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Люмінесценція монокристалів бромистого кадмію із додаванням домішки срібла [02001-1-02001-3]2) Структурні властивості та елементний склад імплантованих Au+ плівок ZnO:Al, отрима-них золь-гель методом [02003-1-02003-5]
3) Surface Morphological Studies of Solar Absorber Layer Cu2ZnSnS4 (CZTS) Thin Films by Non-vacuum Deposition Methods [02004-1-02004-5]
4) Double Peak Behavior of Resistivity-Temperature Curves in (Nd / Pr)0.67Sr0.33MnO3 Manganites [02005-1-02005-3]
5) Interaction of Glucose with ZnO Nanoparticles [02006-1-02006-2]
6) Field Profile of Asymmetric Slab Waveguide Structure with LHM Layers [02007-1-02007-5]
7) Investigation of CNTFET Performance with Gate Control Coefficient Effect [02008-1-02008-4]
8) Response of Ag Thick Film Microstripline due to Superstrate Strontium Substituted Bismuth Manganites [02009-1-02009-3]
9) Evaluation of Vertical Coherence Length, Twist and Microstrain of GaAs / Si Epilayers Using Modified Williamson-Hall Analysis [02010-1-02010-7]
10) Вклад магнітного поля вихрових струмів у параметр загасання Гільберта [02011-1-02011-5]
11) Чисельне моделювання процесів формування електронних пучківу аксіально-симетричних системах [02012-1-02012-5]
12) Визначення комплексного показника заломлення еталона для вимірювання коефіцієнта відбиття [02013-1-02013-5]
13) Структурні, магнітні та магніторезистивні властивості трикомпонентного плівкового сплаву Ni-Fe-Co [02014-1-02014-7]
14) До розподілу Вагнера-Венгреновича [02015-1-02015-9]
15) Розробка економічних струмопровідних контактів для газочутливих плівкових шарів диоксиду олова [02016-1-02016-5]
16) Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 [02017-1-02017-5]
17) Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь [02018-1-02018-5]
18) Аналіз елементного складу плівок Cu2ZnSnSe4 методами PIXE та μ-PIXE [02019-1-02019-4]
19) Міжзеренні межі і електричні властивості тонких плівок твердих розчинів PbTe-Bi2Te3 [02020-1-02020-7]
20) Спінові хвилі у довільній феромагнітній наносистемі з трансляційною симетрією. Нанотрубка кругового перерізу. Нанотрубка еліптичного перерізу. [02021-1-02021-6]
21) Фазовий склад та магнітні властивості плівкових систем на основі Fe (Co) та Gd (Dy) [02022-1-02022-8]
22) Масив наночастинок золота на напівпровідникових плівках CdS: одержання, морфологія та оптичні властивості [02023-1-02023-4]
23) Вплив термічної та радіаційної дій на фазовий склад, структуру й напружено-деформований стан покриттів системи Ti-W-B, осаджених з іонно-атомних потоків [02024-1-02024-6]
24) Фазові перетворення і магніторезистивні властивості розбавлених твердих розчинів на основі атомів Fe і Ge [02025-1-02025-4]
25) Чотирьохдзеркальний відкритий резонатор з канавкою на плоскому дзеркалі [02026-1-02026-6]
26) Поля непрямих обмінних взаємодій в магнітних наногранульованих плівках [02027-1-02027-5]
27) Аналіз елементного складу та профілів розподілу нітридного наноструктурного покриття на основі TiHfVNbZr високоентропійного сплаву [02028-1-02028-5]
28) Дослідження топографії та атомної структури поверхонь сколювання (100) шаруватих кристалів In4Se3 [02029-1-02029-7]
