Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь

Автори	М.О. Бондаренко¹, С.О. Білокінь¹, В.С. Антонюк² , Ю.Ю. Бондаренко¹
Афіліація	¹ Черкаський державний технологічний університет, бул. Шевченка, 460, 18006 Черкаси, Україна ² Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», пр. Перемоги, 37, 03056 Київ-56, Україна
Е-mail	maxxium@rambler.ru
Випуск	Том 6, Рік 2014, Номер 2
Дати	Одержано 16.03.2014, опубліковано online - 20.06.2014
Цитування	М.О. Бондаренко, С.О. Білокінь, В.С. Антонюк, Ю.Ю. Бондаренко, Ж. нано- електрон. фіз. 6 № 2, 02018 (2014)
DOI
PACS Number(s)	07.79.Lh, 41.20.Cv, 81.05. – t, 34.35. + a
Ключові слова	Атомно-силова мікроскопія (16) , Трибоелектрика, Діелектрична поверхня, Кремнієвий зонд, Багатофотонна іонізація.
Анотація	В статті встановлені причини та наведений механізм руйнівної дії сил електростатичної взаємодії кремнієвого зонду з діелектричними поверхнями при дослідженні їх мікрогеометрії та механічних характеристик методом атомно-силової мікроскопії. Проведений розрахунок сил електростатичної взаємодії двох кремнієвих поверхонь та визначена руйнівна дія електростатичного розряду, що виникає внаслідок трибоелектричного ефекту. Запропонований модуль зняття електростатичного заряду, принцип роботи якого полягає у формуванні зони провідності в місці контакту двох діелектриків шляхом багатофотонної іонізації. Показано, що застосування такого способу нейтралізації залишкової трибоелектрики підвищує точність, надійність та відтворюваність результатів сканування.
	Перелік посилань Повний текст English version of article

Інші статті цього номера

1) Люмінесценція монокристалів бромистого кадмію із додаванням домішки срібла [02001-1-02001-3]
2) Класифікація мультикутової та спектральної еліпсометрії для напівпровідникових наноструктур [02002-1-02002-5]
3) Структурні властивості та елементний склад імплантованих Au+ плівок ZnO:Al, отрима-них золь-гель методом [02003-1-02003-5]
4) Surface Morphological Studies of Solar Absorber Layer Cu2ZnSnS4 (CZTS) Thin Films by Non-vacuum Deposition Methods [02004-1-02004-5]
5) Double Peak Behavior of Resistivity-Temperature Curves in (Nd / Pr)0.67Sr0.33MnO3 Manganites [02005-1-02005-3]
6) Interaction of Glucose with ZnO Nanoparticles [02006-1-02006-2]
7) Field Profile of Asymmetric Slab Waveguide Structure with LHM Layers [02007-1-02007-5]
8) Investigation of CNTFET Performance with Gate Control Coefficient Effect [02008-1-02008-4]
9) Response of Ag Thick Film Microstripline due to Superstrate Strontium Substituted Bismuth Manganites [02009-1-02009-3]
10) Evaluation of Vertical Coherence Length, Twist and Microstrain of GaAs / Si Epilayers Using Modified Williamson-Hall Analysis [02010-1-02010-7]
11) Вклад магнітного поля вихрових струмів у параметр загасання Гільберта [02011-1-02011-5]
12) Чисельне моделювання процесів формування електронних пучківу аксіально-симетричних системах [02012-1-02012-5]
13) Визначення комплексного показника заломлення еталона для вимірювання коефіцієнта відбиття [02013-1-02013-5]
14) Структурні, магнітні та магніторезистивні властивості трикомпонентного плівкового сплаву Ni-Fe-Co [02014-1-02014-7]
15) До розподілу Вагнера-Венгреновича [02015-1-02015-9]
16) Розробка економічних струмопровідних контактів для газочутливих плівкових шарів диоксиду олова [02016-1-02016-5]
17) Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 [02017-1-02017-5]
18) Аналіз елементного складу плівок Cu2ZnSnSe4 методами PIXE та μ-PIXE [02019-1-02019-4]
19) Міжзеренні межі і електричні властивості тонких плівок твердих розчинів PbTe-Bi2Te3 [02020-1-02020-7]
20) Спінові хвилі у довільній феромагнітній наносистемі з трансляційною симетрією. Нанотрубка кругового перерізу. Нанотрубка еліптичного перерізу. [02021-1-02021-6]
21) Фазовий склад та магнітні властивості плівкових систем на основі Fe (Co) та Gd (Dy) [02022-1-02022-8]
22) Масив наночастинок золота на напівпровідникових плівках CdS: одержання, морфологія та оптичні властивості [02023-1-02023-4]
23) Вплив термічної та радіаційної дій на фазовий склад, структуру й напружено-деформований стан покриттів системи Ti-W-B, осаджених з іонно-атомних потоків [02024-1-02024-6]
24) Фазові перетворення і магніторезистивні властивості розбавлених твердих розчинів на основі атомів Fe і Ge [02025-1-02025-4]
25) Чотирьохдзеркальний відкритий резонатор з канавкою на плоскому дзеркалі [02026-1-02026-6]
26) Поля непрямих обмінних взаємодій в магнітних наногранульованих плівках [02027-1-02027-5]
27) Аналіз елементного складу та профілів розподілу нітридного наноструктурного покриття на основі TiHfVNbZr високоентропійного сплаву [02028-1-02028-5]
28) Дослідження топографії та атомної структури поверхонь сколювання (100) шаруватих кристалів In4Se3 [02029-1-02029-7]