Електропровідність тонких плівок сплавів CoNi та FeNi

Автори В.Б. Лобода , С.М. Хурсенко , В.О. Кравченко , О.Ю. Юрченко
Афіліація

Сумський національний аграрний університет, 40021 Суми, Україна

Е-mail loboda-v@i.ua
Випуск Том 18, Рік 2026, Номер 2
Дати Одержано 03 грудня 2025; у відредагованій формі 23 квітня 2025; опубліковано online 29 квітня 2025
Цитування В.Б. Лобода, С.М. Хурсенко, В.О. Кравченко, О.Ю. Юрченко, Ж. нано- електрон. фіз. 18 № 2, 02025 (2026)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.18(2).02025
PACS Number(s) 61.82.Rx, 73.61. – r
Ключові слова Нанокристалічні плівки (5) , Сплави (28) , Електропровідність (37) , Дефекти кристалічної структури (2) , Енергія активації залікування дефектів (2) .
Анотація

У даній роботі представлені результати дослідження електропровідності структурно суцільних тонких плівок сплавів CoNi та FeNi в широкому інтервалі товщин і концентрацій компонентів. Плівки сплавів завтовшки 10-200 нм були отримані конденсацією випарених вихідних масивних бінарних сплавів CoNi та FeNi у вакуумі 10 – 4 Па. Сплави CoNi випаровувалися електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати зі швидкістю конденсації 0,5-1,5 нм/с. Чистота вихідних металів Co та Ni становила не менше 99,9%. Концентрації компонент плівок сплаву CoNi змінювалися в широкому діапазоні. Плівки сплаву FeNi були отримані в результаті випаровування пермалою 50Н. Термостабілізація електрофізичних властивостей плівок сплавів здійснювалася протягом трьох циклів «нагрівання-охолодження» в діапазоні температур 300-700 К. Залежності питомого електроопору від температури плівок сплавів для другого і наступних циклів «нагрівання-охолодження» практично збі-гаються, що свідчить про повну стабілізацію властивостей плівкових зразків вже після другого циклу відпалювання. Експериментально виявлено необоротне зменшення електроопору після термічної об-робки, що свідчить про упорядкування структури матеріалу. Показано, що характер змін електроопору залежить як від товщини плівок, так і від співвідношення компонентів у сплавах. Для інтерпретації отриманих результатів використано модель Венда заліковування дефектів кристалічної структури плівок, яка дозволяє пояснити зниження електроопору за рахунок зменшення концентрації дефектів і покращення структурної впорядкованості. На основі цієї моделі було розраховано спектри дефектів кристалічної структури у плівках сплавів CoNi та FeNi.

Перелік посилань