Спектральні особливості термостимульованого фазового перетворення тонких плівок на основі оксидів перехідних металів, легованих германієм
| Автори | Д.В. Хоменков1, Д. Ленінгер2,3, Л.Ю. Мельничук1, Й. Хайтманн2, О.В. Мельничук1 |
| Афіліація |
1Ніжинський державний університет імені Миколи Гоголя, 16600 Ніжин, Україна 2Інститут прикладної фізики Технічного університету Гірничої академії Фрайберга, 09599 Фрайберг, Німеччина 3Фраунгофер Інститут фотонних мікросистем, 01109 Дрезден, Німеччина |
| Е-mail | dmkhomen@gmail.com |
| Випуск | Том 17, Рік 2025, Номер 6 |
| Дати | Одержано 12 вересня 2025; у відредагованій формі 13 грудня 2025; опубліковано online 19 грудня 2025 |
| Цитування | Д.В. Хоменков, Д. Ленінгер, Л.Ю. Мельничук, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 17 № 6, 06033 (2025) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.17(6).06033 |
| PACS Number(s) | 68.55. – a, 77.55. + f, 78.30. – j |
| Ключові слова | Діелектрики з високою діелектричною сталою, Легування германієм, Магнетронне напилення (2) , Інфрачервона спектроскопія з перетворенням Фур’є, Тонкі плівки (76) , Термічні відпали. |
| Анотація |
У роботі методом інфрачервоної спектроскопії з перетворенням Фур’є (FTIR) досліджено вплив легування германієм та термічних обробок на структурні властивості багатокомпонентних плівок на основі ZrO2 та TaZrOх, одержаних методом магнетронного напилення. Термічні обробки було проведено в атмосфері азоту за температур 300-1000 °C. Встановлено, що зсуви смуг коливань у діапазоні 400-1000 см – 1 свідчать про вбудовування атомів Ge у підґратки Zr або Ta, що призводить до зміни у локальному оточенні та характеру хімічних зв’язків. Порівняльний аналіз спектрів інфрачервоного поглинання нелегованих та легованих германієм зразків показує, що у TaZrOх матриці германій переважно заміщує цирконій, а не тантал, що узгоджується з термодинамічними параметрами цих оксидних матеріалів. Отримані результати демонструють високу чутливість спектрів інфрачервоного поглинання до змін в їх хімічному складі. Це дозволяє встановити особливості структурної трансформації плівок на основі ZrO2 та TaZrOх при їх легуванні германієм та передбачити його вплив на функціональні характеристики цих діелектриків. Зроблено висновок, який вказує на перспективність легування германієм матеріалів із високою діелектричною сталою для цілеспрямованої зміни їх діелектричних та оптичних властивостей. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Підвищення коерцитивності тонких плівок Pt/Co та Pt/Co/Pt/Co шляхом іонного опромінення Ar+ з подальшою термічною обробкою [06001-1-06001-9]2) Мультисенсорна система на базі пористого кремнію з мультиагентною обробкою даних [06002-1-06002-6]
3) Передумови та перспективи індукційно-магнетронного збудження плазми в джерелах з холодним катодом [06003-1-06003-10]
4) Дослідження та моделювання FSS для багатодіапазонних і дуже широкосмугових додатків з подвійною поляризацією за формулюванням поперечної хвилі [06004-1-06004-5]
5) Дослідження та покращення продуктивності ультратонких сонячних елементів CIGS [06005-1-06005-6]
6) Аналіз ефективності нанопокриттів для поверхонь лопаток підводних турбін з вертикальною віссю [06006-1-06006-6]
7) Вплив температури та геометричного масштабування на продуктивність КМОП-інвертора: статичний та динамічний параметричний аналіз [06007-1-06007-7]
8) Структура та властивості дифузійних титанових покриттів на основі твердих сплавів [06008-1-06008-5]
9) Механізм виділення тепла з нікелю або іншого металу, наповненого воднем [06009-1-06009-9]
10) Вплив концентрації наночастинок срібла на плазмон-підсилену флюоресценцію пірену в розчині та тонкій нанокомпозитній плівці [06010-1-06010-6]
11) Ефективне управління енергією гібридної відновлюваної енергетики [06011-1-06011-5]
12) Стратегія управління енергією, що зберігає конфіденційність, для гібридних систем зберігання даних з алгоритмом федеративного навчання [06012-1-06012-5]
13) Нано-платформи периферійних обчислень для передових інтелектуальних навчальних середовищ [06013-1-06013-5]
14) Космологічна модель струн типу I антижорсткого LRS Біанкі у загальній теорії відносності [06014-1-06014-4]
15) Компактна всеспрямована надширокосмугова трапецієподібна щілинна антена для застосувань Інтернету речей [06015-1-06015-4]
16) Аналіз та візуалізація кубітівних перетворень на сфері Блоха: дослідження квантових вентилів, стійкості до шуму та обчислювальних застосувань [06016-1-06016-5]
17) Алгоритми машинного навчання для адаптивного формування променя в інтелектуальних антенних системах [06017-1-06017-5]
18) Проектування та розробка компактної мікросмужкової патч-антени з високою пропускною здатністю для бездротового зв'язку [06018-1-06018-5]
19) Інфляційна космологічна модель типу Б'янкі VI0 з експоненціальним потенціалом [06019-1-06019-4]
20) Зменшення бічних пелюсток за допомогою звуження та віконування в діаграмі спрямованості антени для радіолокаційних систем [06020-1-06020-5]
21) Проектування та моделювання компактної U-подібної 4-елементної MIMO-антени для безпечних Wi-Fi-додатків [06021-1-06021-4]
22) Новий енергоефективний підхід для створення TSPC-тригерів з двостороннім спрацьовуванням без постійного струму з використанням STC [06022-1-06022-5]
23) Антенна решітка Rotman на основі лінз Rotman з керованим променем та серією Combline для застосувань у 5G IoT [06023-1-06023-4]
24) Багатодіапазонна всеспрямована фрактальна антена типу "метелик" для застосувань Інтернету речей [06024-1-06024-5]
25) Проектування багатокотушкової резонансної бездротової передачі енергії для офісних комунікаційних систем [06025-1-06025-5]
26) Останні досягнення в галузі стабільності та фотокаталітичного застосування в деградації перовскітів CsPbX3(X Cl, Br, I): огляд [06026-1-06026-5]
27) Розробка перспективного катодного каталізатора на основі цеолітного імідазолатного каркасу з наноструктурою для низькотемпературних паливних елементів [06027-1-06027-5]
28) Покращені характеристики патч-антени для бездротового зв'язку з використанням метаматеріальної структури [06028-1-06028-4]
29) Методика оптимізації оптичних властивостей наноматеріалів для фотонних сенсорів [06029-1-06029-6]
30) Дослідження морфології підкладки та електричних характеристик наноструктурованих кремнієвих сонячних елементів [06030-1-06030-5]
31) Термодинаміка фазових рівноваг та реакційного спікання мікрохвильових керамічних діелектриків у системі BaO – TiO2 – MgO [06031-1-06031-6]
32) Досягнення ефективності 38,27% у сонячних елементах CIGS з використанням поля V2O5 на задній поверхні та шарів подвійного вікна: підхід моделювання [06032-1-06032-10]
33) Проектування та розробка низькопрофільної гнучкої антени на частоті 3,5 ГГц з використанням різних матеріалів підкладки [06034-1-06034-9]
34) Статичний і динамічний пружні модулі нанокомпозитів поліпропілена, тефлона та багатостінних вуглецевих нанотрубок [06035-1-06035-7]
35) Оптичні явища в сферичних металевих наночастинках. Нелокальна теорія [06036-1-06036-9]
36) Хаотична лазерна мода [06037-1-06037-6]
37) Адаптація пористого вуглецю, отриманого з конопель, шляхом хімічної активації: аналіз фрактальної розмірності та ємнісні властивості [06038-1-06038-10]
