Фотолюмінісцентні властивості PECVD плівок на основі Si, C, N
| Автори | О.К. Порада1, В.С. Манжара2, А.О. Козак1, В.І. Іващенко1, Л.A. Іващенко1 |
| Афіліація | 1 Інститут проблем матеріалознавства НАН України, вул. Кржижанівського, 3, 03142 Kиїв, Україна 2 Інститут фізики НАН України, пр. Науки, 46, 03028 Київ, Україна |
| Е-mail | o-porada@ukr.net, fizyka@iop.kiev.ua |
| Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 2 |
| Дати | Одержано 01.03.2017, у відредагованій формі - 25.04.2017, опубліковано online - 28.04.2017 |
| Цитування | О.К. Порада, В.С. Манжара, А.О. Козак, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 9 № 2, 02022 (2017) |
| DOI | 10.21272/jnep.9(2).02022 |
| PACS Number(s) | 81.15.Gh, 73.61.Jc |
| Ключові слова | Фотолюмінісценція (2) , PECVD (7) , Гексаметилдісилазан (3) , Плівки на основі Si, C (1219) , N (1276) , FTIR (30) , Оптичні спектри (3) . |
| Анотація | Тверді плівки на основі Si, C, N з аморфною структурою та наднизькою шорсткістю отримані на кремнієвих підкладках плазмохімічним (plasma enhanced chemical vapor deposition, PECVD) методом із гексаметилдісилазану з додаванням водню і азоту при різних напругах зміщення Ud на підкладках (від – 5 до – 250 В). Досліджені фотолюмінісцентні та оптичні спектри отриманих зразків, а також їх твердість. Для інтерпретації властивостей плівок вивчено їх інфрачервоні спектри поглинання. При негативних напругах зміщення на підкладці за модулем вищими, ніж – 100 В, спектри фотолюмінісценції мають два піки, стають меншими по інтенсивності та зміщеними в низькоенергетичну область спектру. Допускається, що це пов’язано зі збільшенням кількості Si–C зв’язків в аморфній Si–C–N матриці та з ростом невпорядкованості аморфної структури плівок при збільшенні напруги Ud, що випливає із аналізу спектрів інфрачервоного поглинання, оптичних спектрів, а також результатів дослідження твердості плівок. |
|
Перелік посилань English version of article |
Інші статті цього номера
1) Effect of Single and Double Layer Antireflection Coating to Enhance Photovoltaic Efficiency of Silicon Solar [02001-1-02001-4]2) Sonochemical Synthesis of AgInS2 Quantum Dots and Characterisation [02002-1-02002-4]
3) Assessment of the H2 Followed by Air Sintering of Co-doped In2O3 Based Diluted Magnetic Semiconductors [02003-1-02003-3]
4) Analysis on Solar Panel Crack Detection Using Optimization Techniques [02004-1-02004-6]
5) Effect the Technique of Light Trapping on the Performance of Simple Junction n-p Solar Cells Based on GaAs and Si [02005-1-02005-3]
6) Smoluchowski Formulation for Simulation of Nano Core-Shell Structure Creation in Nanoparticle Fabrication by Laser Ablation in Liquid Media Process [02006-1-02006-4]
7) Отримання нанокристалів ZnS:Mn методом самопоширюваного високотемпературного синтезу [02007-1-02007-4]
8) Гнучкі сонячні елементи на основі базових шарів СdТe, отриманих методом магнетроного розпилення [02008-1-02008-5]
9) Отримання нанокомпозиту анатаз / брукіт з контрольованими структурно- морфологіч-ними характеристиками [02009-1-02009-6]
10) Керована смугопропускна лінія передачі на основі одновісних монокристалічних гексаферитів в доменній області [02010-1-02010-5]
11) Cтруктура та сорбційні характеристики порошків феритів NiCrxFe2 – xO4 [02011-1-02011-7]
12) Енергетичний спектр сигналів акустичної емісії нанорозмірних об'єктів [02012-1-02012-4]
13) Two-Dimensional Graphene Superlattice:Energy Spectrum and Current-Voltage Characteristics [02013-1-02013-4]
14) Вплив синтетичних дискретних волоконна властивості епоксидних композитів для захисних покриттів [02014-1-02014-5]
15) Вплив танталу на текстуру вакуумних конденсатів міді [02015-1-02015-4]
16) Вплив домішки бору на структуру та механічні властивості гафнію [02016-1-02016-5]
17) The Exact Nonrelativistic Energy Eigenvalues for Modified Inversely Quadratic Yukawa Potential Plus Mie-type Potential [02017-1-02017-7]
18) Термостимульована люмінесценція нанодротів ZnO [02018-1-02018-3]
19) Thermally Evaporated Tin Oxide Thin Film for Gas Sensing Applications [02019-1-02019-4]
20) Тонкі плівки аморфних молекулярних напівпровідників для створення поверхневих темплатів упорядкованих структур [02020-1-02020-6]
21) Магніторезистивний ефект у гранульованих плівкових сплавах на основі Ag і Fe або Со [02021-1-02021-4]
22) Температурна залежність спектрів ЯКР і параметрів кристалічної гратки InSe [02023-1-02023-4]
23) Кінетичні ефекти, обумовлені флуктуаціями товщиниквантового напівпровідникового дроту [02024-1-02024-4]
24) Оствальдівське дозрівання квантових точок InAsSbР у рамках модифікованої теорії ЛСВ [02025-1-02025-6]
25) Методика отримання та властивості зносостійких покриттів на основі Ti і N та Ti, Al і N [02026-1-02026-7]
26) Перехідні процеси в мікроелектронних композиціях Ag-Ge-In/n-GaAs [02027-1-02027-5]
27) Про критичний розмір переходу феромагнетика в однодоменний стан [02028-1-02028-17]
28) Зниження міжфазного перемішування в багатошарових рентгенівських дзеркалах Sс/Si [02029-1-02029-6]
29) Розрахунки електронної структури об’ємних кристалів і нанокристалів групи АIIВVI (CdS, CdSe) методом модельного нелокального псевдопотенціалу [02030-1-02030-7]
30) Комп'ютерне моделювання радіаційно-стимульованих структурних змін і властивості багатоперіодної системи ZrNx/MoNx [02031-1-02031-5]
31) Формування регулярних доменних структур у сегнетоелектриках при перемиканні поляризації у сильнонерівноважних умовах [02032-1-02032-7]
32) Characterization of Thermally Oxidized Ti6Al4V Alloys for Dental Application [02033-1-02033-3]
33) Research of the Vacancy Migration Process on the Surface of BC Nanolayer [02034-1-02034-2]
