Математичні моделі сенсорів мікропереміщень та тиску на основі збурення електричного поля поверхневих акустичних хвиль

Автори М.Ф. Жовнір, О.О. Олійник, Л.Д. Писаренко
Приналежність

Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», вул. Політехнічна, 16/9, 03056 Київ-56, Україна

Е-mail zhovnir101@gmail.com
Випуск Том 8, Рік 2016, Номер 1
Дати Одержано 09.11.2015, опубліковано online - 15.03.2016
Посилання М.Ф. Жовнір, О.О. Олійник, Л.Д. Писаренко, Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 1, 01024 (2016)
DOI 10.21272/jnep.8(1).01024
PACS Number(s) 77.65.Dq, 64.60.Ej
Ключові слова Поверхневі акустичні хвилі (ПАХ) (2) , Дисперсія фазової швидкості хвилі (2) , ПАХ-генератор, Сенсор мікропереміщень та тиску.
Анотація Приведено функціональні схеми, математичні моделі та оцінка метрологічних параметрів сенсорів мікропереміщень та тиску на основі збурення електричного поля поверхневих акустичних хвиль (ПАХ), що поширюються на поверхні п'єзоелектрика.

Перелік посилань

English version of article