Вплив на механічні характеристики товщини шарів у багатошарових покриттях MoN / CrN, осаджених під дією негативного потенціалу зміщення

Автори	В.М. Береснев¹, О.В. Соболь² , А.В. Столбовой³, С.В. Литовченко¹ , Д.А. Колесников⁴, У.С. Немченко¹ , А.А. Мейлехов² , А.А. Постельник²
Афіліація	¹ Харьковский национальный университет им. В.Н. Каразина, Харьков, Украина ² Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», Харьков, Украина ³ ННЦ «Харьковский физико-технический институт», Харьков, Украина ⁴ Белгородский национальный исследовательский университет, Белгород, Россия
Е-mail
Випуск	Том 8, Рік 2016, Номер 1
Дати	Одержано 16.02.2016, опубліковано online - 15.03.2016
Цитування	В.М. Береснев, О.В. Соболь, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 8 № 1, 01043 (2016)
DOI	10.21272/jnep.8(1).01043
PACS Number(s)	61.46. – w, 62.20. Op. 62-65. – g
Ключові слова	Багатошарове покриття MoN/CrN, Товщина шарів (3) , Потенціал зсуву (7) , Структура (228) , Нанорозміри кристалітів, Перемішування (6) , Твердість (67) , Абразивна міцність.
Анотація	З використанням методу структурної інженерії в роботі проведено комплексне дослідження впливу товщини шарів багатошарової композиції MoN/CrN при впливі постійного негативного Ub на фазово-структурний стан і механічні властивості покриттів. Виявлено, що в складових (Cr-N та Mn-N) шарах формуються фази з ізоструктурною кубічною (типу NaCl) кристалічною решіткою з віссю текстури [311] при малому Ub = – 20 В і [111] при великому Ub = – 150 В. Встановлено, що перемішування в міжкордонних областях шарів при великих Ub = – 150 В призводить до різкого зниження механічних властивостей при товщині шарів h ≤ 40 нм. Найвища твердість 39,8 ГПа і абразивна міцність для LC5 = 145 Н, була досягнута для h ≈ 12 нм при подачі малого Ub = – 20 В.
	Перелік посилань Повний текст Переклад англійською

Інші статті цього номера

1) Temperature Dependent IR-Drop Analysis in Graphene Nanoribbon Based Power Interconnect [01001-1-01001-4]
2) Вплив температури на структурні та магнітні властивості наночастинок феритів системи NixCo1 – xFe2O4 [01002-1-01002-6]
3) Вплив оксиду ітрію на розподіл міжвузлових атомів у порошковому залізі [01003-1-01003-5]
4) Електрохімічні властивості мезопористого γ-Fe2O3, синтезованого цитратним золь-гель методом [01004-1-01004-5]
5) Контраст електронномікроскопічних зображень аморфних об’єктів [01005-1-01005-7]
6) Отримання та властивості наноструктурованих ZnS та ZnO [01006-1-01006-4]
7) Study of Light Trapping Scheme to Improve Performance of Silicon Solar Cells [01007-1-01007-4]
8) A Comparative Study the Calculation of the Optical Gap Energy and Urbach Energy in Undoped and Indium Doped ZnO Thin Films [01008-1-01008-5]
9) Simulation of Hetero-junction (GaInP/GaAs) Solar Cell Using AMPS-1D [01009-1-01009-3]
10) Фононний спектр кристалів твердих розчинів заміщення InxTl1 – xI [01010-1-01010-5]
11) Енергетична структура β´-фази кристалу Ag8SnSe6 [01011-1-01011-5]
12) Дослідження мікро- та наноструктури міжшарових поверхонь сколювання шаруватих кристалів InSe, інтеркальованих нікелем [01012-1-01012-11]
13) Поверхневі поляритони з негативною груповою швидкістю в структурі з перехідним шаром [01013-1-01013-3]
14) Застосування ядерного скануючого мікрозонду для дослідження радіаційно-стимулюючої міграції домішок по границях зерен у конструкційних матеріалах [01014-1-01014-3]
15) Effect of Temperature on the AlGaAs/GaAs Tandem Solar Cell for Concentrator Photovoltaic Performances [01015-1-01015-4]
16) Електротранспортні властивості підданих ультрафіолетовому опроміненню вуглецевих нанотрубок [01016-1-01016-4]
17) Аналіз перколяційної поведінки електропровідності систем на основі поліетерів та вуглецевих нанотрубок [01017-1-01017-7]
18) Вплив відпалювання на структурно-фазовий стан і магнітоопір тришарових плівкових систем на основі Ni і V та Ni і Ag або Au [01018-1-01018-6]
19) Peculiarities of Stark-phonon Resonance in Two-dimensional Superlattices with Non-additive Energy Spectrum [01019-1-01019-3]
20) New Relativistic Atomic Mass Spectra of Quark (u, d and s) for Extended Modified Cornell Potential in Nano and Plank’s Scales [01020-1-01020-7]
21) The Nonrelativistic Ground State Energy Spectra of Potential Counting Coulomb and Quad-ratic Terms in Non-commutative Two Dimensional Real Spaces and Phases [01021-1-01021-6]
22) Fabrication and Excellent Dielectric Performance of Exfoliated Graphite Sheets [01022-1-01022-3]
23) Biosensor Scheme for the Determination of Intracellular Pressure of Erythrocyte [01023-1-01023-3]
24) Математичні моделі сенсорів мікропереміщень та тиску на основі збурення електричного поля поверхневих акустичних хвиль [01024-1-01024-5]
25) Simulation and Finite Element Analysis of Electrical Characteristics of Gate-all-Around Junctionless Nanowire Transistors [01025-1-01025-5]
26) Dyes Extracted from Safflower, Medicago Sativa, and Ros Marinus Oficinalis as Photosensitizers for Dye-sensitized Solar Cells [01026-1-01026-5]
27) Попередження можливих руйнувань оптичних елементів точного приладобудування в умовах зовнішніх термодій [01027-1-01027-6]
28) Атомістичне моделювання властивостей ультратонкого шару рідкого аргону, стиснутого між алмазними поверхнями [01028-1-01028-8]
29) Про частотні характеристики електричних полів циліндричної п’єзокерамічної антени з екраном у вигляді незамкнутого кільцевого шару [01029-1-01029-6]
30) Calculation of Intracellular Pressure of Red Blood Cells at Jaundice According to Atomic Force Microscopy Data [01030-1-01030-4]
31) Структура та морфологія нанокристалічних кальцифікатів щитоподібної залози [01031-1-01031-6]
32) Ін'єкційні біополімер-гідроксиапатитні гідрогелі та їх характеристика [01032-1-01032-8]
33) Наноструктурна модифікація політетрафторетилену та його композиції енергетичним впливом [01033-1-01033-5]
34) Динамічна поведінка газових нанорозмірних бульбашоку рідкій фазі електроосаджуваного металу [01034-1-01034-6]
35) Synthesis of Cuprous Oxide (Cu2O) Nanoparticles – a Review [01035-1-01035-5]
36) Novel Facile Technique for Synthesis of Stable Cuprous Oxide (Cu2O) Nanoparticles – an Ageing Effect [01036-1-01036-4]
37) Facile Rapid Synthesis of Polyaniline (PANI) Nanofibers [01037-1-01037-3]
38) Characterization of in-situ Doped Polycrystalline Silicon Using Schottky Diodes and Admittance Spectroscopy [01038-1-01038-4]
39) Вплив адсорбції іонів хрому на фотолюмінесцентні властивості діоксиду титану [01039-1-01039-10]
40) An Experimental Insight into the ZnO Thin Films Properties Prepared by Dip Coating Technique [01040-1-01040-5]
41) Comparison of Three Dimensional Partially and Fully Depleted SOI MOSFET Characteristics Using Mathcad [01041-1-01041-4]
42) Структурна інженерія вакуумно-дугових багатошарових покриттів ZrN/CrN [01042-1-01042-5]
43) Чисельне дослідження законів надповільної дифузії для певного класу неперервних у часі випадкових блукань [01044-1-01044-5]