Автори | М.Г. Демиденко , С.І. Проценко , К.В. Тищенко , О.В. Федченко |
Афіліація | Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна |
Е-mail | serhiy.protsenko@gmail.com |
Випуск | Том 4, Рік 2012, Номер 2 |
Дати | Одержано 12.04.2012, у відредагованій формі – 23.05.2012, опубліковано online 04.06.2012 |
Цитування | М.Г. Демиденко, С.І. Проценко, К.В. Тищенко, О.В. Федченко, Ж. нано- електрон. фіз. 4 № 2, 38 (2012) |
DOI | |
PACS Number(s) | 7.60.Fs, 06.05.cm |
Ключові слова | нуль-еліпсометрія, рентгенівська рефлектометрія, оптичні коефіцієнти (2) , співвідношення Френеля, генетичні алгоритми (2) . |
Анотація | Використовуючи оптичні елементи компанії Torhlabs та систему графічного програмування LabVIEW 2010, розроблено автоматизований програмно-апаратний комплекс для дослідження оптичних властивостей багатошарових плівкових систем. Запропоновано сумісний генетичний алгоритм для обробки експериментальних даних нуль еліпсометрії та рентгенівської рефлектрометрії. Показано, що запропонований підхід дозволяє дуже точно інтерпретувати фазові перетворення, дифузійні процеси та розмиття інтерфейсів в багатошарових плівкових системах при використанні різних розрахункових теоретичних моделей. |
Перелік цитувань |