Автори | І.Є. Матяш , І.А. Мінайлова , О.Й. Гудименко , Т.М. Сабов , О.В. Дубіковський , О.В. Косуля , О.А. Кульбачинський , П.М. Литвин |
Афіліація |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова, Національна академія наук України, 03028, Київ, Україна |
Е-mail | irinaminailova125@gmail.com |
Випуск | Том 16, Рік 2024, Номер 5 |
Дати | Одержано 18 червня 2024; у відредагованій формі 22 жовтня 2024; опубліковано online 30 жовтня 2024 |
Цитування | І.Є. Матяш, І.А. Мінайлова, О.Й. Гудименко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 16 № 5, 05001 (2024) |
DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.16(5).05001 |
PACS Number(s) | 42.25.Ja, 42.68.Ay |
Ключові слова | Метод модуляційної поляриметрії (2) , Поляризація (30) , Тонкі плівки VO2 (2) , Дисперсійні властивості (2) , Функції Гауса. |
Анотація |
Діоксид ванадію (VO2) є типовим перехідним матеріалом метал-діелектрик, який змінює моноклінну фазу діелектрика при кімнатній температурі на металеву рутилову фазу при високій температурі. Фазовий перехід VO2 супроводжується різкими змінами провідності та оптичного пропускання. Завдяки чудовим характеристикам фазового переходу VO2 його широко вивчають в застосуванні електричних і оптичних пристроїв, розумних вікон, датчиків, приводів тощо. Методом модуляційної поляриметрії (МП) досліджено дисперсійні властивості тонких плівок діоксиду ванадію. Тонкі плівки VO2 були нанесені на підкладки з кварцового скла шляхом магнетронного розпилення мішені VO2. Плівки мали різні модифікації складу, структури, морфології та оптичних властивостей, зумовлені технологією виготовлення. Основним вимірюваним параметром техніки МП є різниця поляризацій між коефіцієнтами внутрішнього відбиття лінійно поляризованого світла з азимутом електричного поля, перпендикулярним і паралельним площині падіння. Виміряно спектральні залежності різниці коефіцієнтів внутрішнього відбиття при різних кутах падіння світла для кількох зразків. Показано спектральні залежності поляризаційної різниці коефіцієнтів поглинання. Також показано дисперсійні характеристики поверхневих плазмонних поляритонів, що виникають на межі розділу плівка-повітря. Значення групової швидкості збудження поверхневих плазмонів для всіх плівок визначали за нахилом частоти в залежності від хвильового вектора. Запропонований метод дозволяє зробити висновок про морфологію плівки. Кристалічна структура плівок досліджувалась на рентгенівському дифрактометрі. Методом атомно-силової мікроскопії досліджено нанорельєф поверхні відпалених плівок діоксиду ванадію. |
Перелік цитувань |