Вплив матеріалу підкладки на структурні властивості плівок телуриду кадмію

Автори А.В. Меріуц, Г.С.Хрипунов, М.М. Харченко, А.І. Доброжан , Р.В. Зайцев , М.В. Кириченко , К.О. Мінакова , А.М. Дроздов
Афіліація

Національний технічний університет «Харківський політехнічний інститут», 61002 Харків, Україна

Е-mail zaitsev@khpi.edu.ua
Випуск Том 16, Рік 2024, Номер 4
Дати Одержано 10 квітня 2024; у відредагованій формі 20 серпня 2024; опубліковано online 27 серпня 2024
Цитування А.В. Меріуц, Г.С.Хрипунов, М.М. Харченко, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 16 № 4, 04023 (2024)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.16(4).04023
PACS Number(s) 84.60. − h, 61.43.Bn
Ключові слова Телурид кадмію (8) , Структура (217) , Облицювання, Решітка (16) , Текстура (12) .
Анотація

З використанням модернізованих промислових вакуумних установок виготовлено серію дослідних зразків плівок телуриду кадмію методом термічного вакуумного напарювання на скляних підкладках без підшару з прозорого електропровідного оксиду, з підшаром з електропровідного оксиду та на підкладках з молібденової фольги дослідити вплив матеріалу підкладки на структурні параметри досліджуваних зразків. Дослідження структури проводили методом рентгенівської дифрактометрії, розраховували параметри ґратки, розміри областей когерентного розсіювання та текстурний коефіцієнт плівки. За результатами дослідження структурних параметрів зразків, виготовлених на скляній підкладці, встановлено наявність кубічної фази телуриду кадмію. Показано, що при підвищенні температури підкладки збільшується текстура зразків і спостерігається наявність розтягуючих напружень, оскільки період решітки кубічної фази значно більший, ніж пластинчастої. Для зразка, отриманого на скляній підкладці з шаром прозорого електропровідного оксиду ITO при температурі підкладки 200 (C, встановлено наявність двох гексагональних фаз H1 і H2 та кубічної фази C. Зразки, отримані на підкладці з молібденової фольги, містять майже повністю кубічну фазу CdTe лише в дуже тонкому зразку №. 1 присутні сліди гексагональної фази. Для першого найтоншого зразка спостерігається лише один головний дифракційний пік кубічної фази, що можна пояснити тим, що на початкових етапах росту плівка росте як високотекстурована кубічна фаза з можливою присутністю деяких гексагональних фаза. З аналізу отриманих результатів можна відзначити, що зразки, отримані на молібденовій підкладці, мають параметр ґратки, найбільш близький до табличних даних – 6,482-6,483 Å. Структурні відмінності, що спостерігаються між досліджуваними зразками, пов’язані з тим, що вони мають різну переважну орієнтацію, що, швидше за все, пов’язано зі зміною швидкості розпилення.

Перелік цитувань