Визначення критичних значень параметрів електронно-променевої мікрообробки оптичних пластин двоякої кривизни
| Автори | І.В. Яценко1 , В.С. Антонюк2 , В.П. Маслов3 , В.А. Ващенко1 , С.О. Колінько1 , Т.І. Бутенко1 |
| Приналежність |
1 Черкаський державний технологічний університет, бул. Шевченка, 460, 18030 Черкаси, Україна 2 Національний технічний університет України «КПІ ім. Ігоря Сікорського», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна 3 Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, проспект Науки, 41, 02000 Київ, Україна |
| Е-mail | |
| Випуск | Том 15, Рік 2023, Номер 5 |
| Дати | Одержано 25 липня 2023; у відредагованій формі 18 жовтня 2023; опубліковано online 30 жовтня 2023 |
| Посилання | І.В. Яценко, В.С. Антонюк та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 15 №5, 05030 (2023) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.15(5).05030 |
| PACS Number(s) | 42.79. Bh |
| Ключові слова | Оптико-електронне приладобудування (3) , Елементи з оптичного скла та кераміки, Електронно-променева технологія, Гранично допустимі термопружні напруження у оптичних елементах. |
| Анотація |
Широке використання електронно-променевої технології у оптико-електронному приладобудуванні стримується обмеженістю даних про критичні значення параметрів електронного променю (густини теплового впливу променю, часу цього впливу та ін.) на оптичні елементи приладів різної геометричної форми (плоскі, прямокутні та криволінійні елементи та ін.), перевищення яких призводить до руйнування їх поверхневих шарів (поява тріщин, відколів, западин, порушення площинності поверхні та ін.). На даний час визначено діапазони зміни вказаних параметрів для плоских пластин, прямокутних брусків, циліндричних та сферичних елементів.Однак вказані дослідження відсутні для оптичних елементів у вигляді пластин двоякої кривизни, широко використовуваних у інтегральній та волоконній оптиці, мікрооптиці та інших направленнях оптико-електронного приладобудування. Робота присвячена розробленню математичних моделей теплового впливу електронного променю на оптичні елементи у вигляді пластин двоякої кривизни, що дозволяють з відносною похибкою 5…7 % визначати критичні діапазони зміни його параметрів (густини теплового впливу, часу його дії), перевищення яких призводить до погіршення фізико-механічних властивостей поверхневих шарів елементів аж до їх руйнування. Це дозволяє на стадії виготовлення приладів з використанням електронно-променевої технології попереджати можливі погіршення їх техніко-експлуатаційних характеристик. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Точково-контактна спектроскопія тонких надпровідних NbN плівок [05001-1-05001-5]2) Вплив тиску на електронні та магнітні властивості твердого розчину ZnSeTe, легованого атомами Fe [05002-1-05002-4]
3) Енергетичні параметри найпростіших хімічних реакцій, які протікають на перших стадіях електрохімічного травлення кремнію – DFT-моделювання [05003-1-05003-6]
4) Електричні властивості і фоточутливість гетеропереходів n-Mn2O3/p-InSe, виготовлених методом спрей-піролізу [05004-1-05004-5]
5) Кінетичні властивості CdSe0.4Te0.6: зв’язок ab initio підходу з принципом близькодії [05005-1-05005-5]
6) Вплив температури PММА на оптичні характеристики 1 х 2 гібридних фотонних кристалів хвилеводних розщеплювачів променя [05006-1-05006-5]
7) Вплив розбитої скляної частинки на передачу напруги нейлонового матричного композиту [05007-1-05007-4]
8) Високочутливий датчик показника заломлення на основі двовимірного фотонного кристала для вірусу Чикунгунья [05008-1-05008-4]
9) Розробка модульної конструкції системи генерації та накопичення енергії для автономного електропостачання [05009-1-05009-8]
10) Конструкція та оптимальні параметри малогабаритної Nd:YAG-лазерної установки з діодним накачуванням [05010-1-05010-5]
11) Про можливість застосування принципу адитивності фізичних величин багатокомпонентних металевих матеріалів [05011-1-05011-3]
12) Оптика макропористого кремнію з наскрізними порами [05012-1-05012-7]
13) Морфологічні, структурні та оптичні властивості наноструктурних тонких плівок NiO, легованих Ba [05013-1-05013-7]
14) Рентгеноспектральний мікроаналіз тонких плівок мідно-нікелевих сплавів [05014-1-05014-5]
15) Вплив різних розчинників у системі РЬ-Sn-Te-Se на якість епітаксіальних шарів [05015-1-05015-4]
16) Пригнічення бактерій Staphylococcus за допомогою наночастинок Ag під плазмонним резонансом [05016-1-05016-5]
17) Вплив ключових параметрів на ефективність зв’язку лінійного переходу між оптичним волокном і хвилеводом для телекомунікаційних мереж [05017-1-05017-5]
18) Дослідження ефекту заміни хрому церієм у феритах магнію на діелектричні та структурні властивості [05018-1-05018-4]
19) Включення багатомостових каналів у затвор навколо нанодротового польового транзистора [05019-1-05019-4]
20) Мікромеханічні властивості кристалів Gd3Ga5O12, опромінених швидкими важкими іонами [05020-1-05020-4]
21) Теорія спінових хвиль у коловій нанотрубці з легкоплощинного феромагнетику. Врахування дисипації для неметалічного зовнішнього середовища [05021-1-05021-6]
22) Вплив генерованого електричного поля накачки на підсилювальні властивості супергетеродинного параметричного лазера на вільних електронах [05022-1-05022-5]
23) Оптичні властивості тонких плівок CdTe:In отриманих методом фізичного осадження у вакуумі [05023-1-05023-4]
24) Компактна та інноваційна мікросмужкова патч-антена з покращеною мікрохвильовою схемою для додатків RFID [05024-1-05024-6]
25) Антикорозійні епоксидні покриття з наночастинками рослинного походження для захисту водних транспортних засобів [05025-1-05025-7]
26) Моделювання акустичних характеристик у векторно-фазовому полі рупора на низьких частотах [05026-1-05026-6]
27) Волоконно-оптичний сенсор температури з брегівською структурою [05027-1-05027-5]
28) Інтелектуалізація мікроелектронних датчиків на основі елементів на поверхневих акустичних хвилях [05028-1-05028-5]
29) Дводіапазонна силосно-щілинна антена з моделлю еквівалентної схеми для додатків 5G мм-хвиль [05029-1-05029-5]
30) Структура і захисні властивості комплексних хромосиліцидних дифузійних покриттів на сталі 20 [05031-1-05031-5]
31) Природна MHD конвекція нанофлюїду Fe3O4-вода в кубічній порожнині [05032-1-05032-7]
32) Дослідження концентрації газу NO2 на реакцію тонких плівок CdO, отриманих за новим методом зворотного флюсу [05033-1-05033-6]
33) Електронний спектр квазі-2D напівпровідника в сильному електромагнітному полі [05034-1-05034-6]
34) Вплив питомої теплоємності, коефіцієнта теплопровідності, густини та швидкості охолодження на формування центрів кристалізації в металевих розплавах [05035-1-05035-5]
35) Персоналії. Мачехін Юрій Павлович [05036-1-05036-2]
