Енергетичні параметри найпростіших хімічних реакцій, які протікають на перших стадіях електрохімічного травлення кремнію – DFT-моделювання
| Автори | Ф.О. Птащенко |
| Приналежність |
Національний університет «Одеська морська академія», вул. Дідріхсона, 8, 65029 Одеса, Україна |
| Е-mail | fed.ptas@gmail.com |
| Випуск | Том 15, Рік 2023, Номер 5 |
| Дати | Одержано 10 серпня 2023; у відредагованій формі 17 жовтня 2023; опубліковано online 30 жовтня 2023 |
| Посилання | Ф.О. Птащенко, Ж. нано- електрон. фіз. 15 № 5, 05003 (2023) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.15(5).05003 |
| PACS Number(s) | 82.45. – h, 82.65. + r |
| Ключові слова | Пористий кремній (9) , Електрохімічне травлення (11) , DFT-розрахунки (2) . |
| Анотація |
На основі квантово-хімічних розрахунків досліджено реакції видалення поверхневих атомів водню, які проходять на перших етапах травлення кремнію у розчинах під дією різних іонних комплексів фтору. Для цього створена методика достовірної оцінки енергетичних параметрів хімічних реакцій зі змінним зарядовим станом, які відбуваються на поверхні об’ємного кремнію по результатам розрахунків, проведених на кластерах конечних розмірів. Показало, що у водних розчинах HF реакції видалення поверхневих атомів водню можуть проходити як при протіканні струму через систему кремній/електроліт, так і без нього. Реакції видалення водного покриття поверхні кремнію відбуваються лише під впливом «легких» іонних комплексів фтору, які містять не більше одної молекули HF. На основі моделювання пояснено причини уповільнення суто хімічного травлення кремнію у розчинах високої концентрації. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Точково-контактна спектроскопія тонких надпровідних NbN плівок [05001-1-05001-5]2) Вплив тиску на електронні та магнітні властивості твердого розчину ZnSeTe, легованого атомами Fe [05002-1-05002-4]
3) Електричні властивості і фоточутливість гетеропереходів n-Mn2O3/p-InSe, виготовлених методом спрей-піролізу [05004-1-05004-5]
4) Кінетичні властивості CdSe0.4Te0.6: зв’язок ab initio підходу з принципом близькодії [05005-1-05005-5]
5) Вплив температури PММА на оптичні характеристики 1 х 2 гібридних фотонних кристалів хвилеводних розщеплювачів променя [05006-1-05006-5]
6) Вплив розбитої скляної частинки на передачу напруги нейлонового матричного композиту [05007-1-05007-4]
7) Високочутливий датчик показника заломлення на основі двовимірного фотонного кристала для вірусу Чикунгунья [05008-1-05008-4]
8) Розробка модульної конструкції системи генерації та накопичення енергії для автономного електропостачання [05009-1-05009-8]
9) Конструкція та оптимальні параметри малогабаритної Nd:YAG-лазерної установки з діодним накачуванням [05010-1-05010-5]
10) Про можливість застосування принципу адитивності фізичних величин багатокомпонентних металевих матеріалів [05011-1-05011-3]
11) Оптика макропористого кремнію з наскрізними порами [05012-1-05012-7]
12) Морфологічні, структурні та оптичні властивості наноструктурних тонких плівок NiO, легованих Ba [05013-1-05013-7]
13) Рентгеноспектральний мікроаналіз тонких плівок мідно-нікелевих сплавів [05014-1-05014-5]
14) Вплив різних розчинників у системі РЬ-Sn-Te-Se на якість епітаксіальних шарів [05015-1-05015-4]
15) Пригнічення бактерій Staphylococcus за допомогою наночастинок Ag під плазмонним резонансом [05016-1-05016-5]
16) Вплив ключових параметрів на ефективність зв’язку лінійного переходу між оптичним волокном і хвилеводом для телекомунікаційних мереж [05017-1-05017-5]
17) Дослідження ефекту заміни хрому церієм у феритах магнію на діелектричні та структурні властивості [05018-1-05018-4]
18) Включення багатомостових каналів у затвор навколо нанодротового польового транзистора [05019-1-05019-4]
19) Мікромеханічні властивості кристалів Gd3Ga5O12, опромінених швидкими важкими іонами [05020-1-05020-4]
20) Теорія спінових хвиль у коловій нанотрубці з легкоплощинного феромагнетику. Врахування дисипації для неметалічного зовнішнього середовища [05021-1-05021-6]
21) Вплив генерованого електричного поля накачки на підсилювальні властивості супергетеродинного параметричного лазера на вільних електронах [05022-1-05022-5]
22) Оптичні властивості тонких плівок CdTe:In отриманих методом фізичного осадження у вакуумі [05023-1-05023-4]
23) Компактна та інноваційна мікросмужкова патч-антена з покращеною мікрохвильовою схемою для додатків RFID [05024-1-05024-6]
24) Антикорозійні епоксидні покриття з наночастинками рослинного походження для захисту водних транспортних засобів [05025-1-05025-7]
25) Моделювання акустичних характеристик у векторно-фазовому полі рупора на низьких частотах [05026-1-05026-6]
26) Волоконно-оптичний сенсор температури з брегівською структурою [05027-1-05027-5]
27) Інтелектуалізація мікроелектронних датчиків на основі елементів на поверхневих акустичних хвилях [05028-1-05028-5]
28) Дводіапазонна силосно-щілинна антена з моделлю еквівалентної схеми для додатків 5G мм-хвиль [05029-1-05029-5]
29) Визначення критичних значень параметрів електронно-променевої мікрообробки оптичних пластин двоякої кривизни [05030-1-05030-5]
30) Структура і захисні властивості комплексних хромосиліцидних дифузійних покриттів на сталі 20 [05031-1-05031-5]
31) Природна MHD конвекція нанофлюїду Fe3O4-вода в кубічній порожнині [05032-1-05032-7]
32) Дослідження концентрації газу NO2 на реакцію тонких плівок CdO, отриманих за новим методом зворотного флюсу [05033-1-05033-6]
33) Електронний спектр квазі-2D напівпровідника в сильному електромагнітному полі [05034-1-05034-6]
34) Вплив питомої теплоємності, коефіцієнта теплопровідності, густини та швидкості охолодження на формування центрів кристалізації в металевих розплавах [05035-1-05035-5]
35) Персоналії. Мачехін Юрій Павлович [05036-1-05036-2]
