Рентгеноспектральний мікроаналіз тонких плівок мідно-нікелевих сплавів
| Автори | В.Б. Лобода , В.М. Зубко , С.М. Хурсенко , В.О. Кравченко , А.В. Чепіжний |
| Приналежність |
Сумський національний аграрний університет, вул. Герасима Кондратьєва, 160, 40021 Суми, Україна |
| Е-mail | loboda-v@i.ua |
| Випуск | Том 15, Рік 2023, Номер 5 |
| Дати | Одержано 15 серпня 2023; у відредагованій формі 14 жовтня 2023; опубліковано online 30 жовтня 2023 |
| Посилання | В.Б. Лобода, В.М. Зубко, С.М. Хурсенко та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 15 № 5, 05014 (2023) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.15(5).05014 |
| PACS Number(s) | 81.15. – z, 82.80.Ej |
| Ключові слова | Рентгеноспектральний мікроаналіз, Тонкі плівки (64) , Мідно-нікелеві сплави (2) . |
| Анотація |
У статті наведено результати дослідження елементного складу плівок сплавів CuNi методом рентгенівського мікроаналізу (рентгенівський мікроаналізатор на базі спектрометра з дисперсією з енергії, що входить до складу растрового електронного мікроскопа РЕМ-103-01). Плівки сплавів товщинами 30-150 нм були отримані одночасним роздільним випаровуванням компонент (мідь та нікель) у вакуумі 10 – 4 Па. Мідь випаровувалася зі стрічки з вольфрамової фольги товщиною 0,05 мм. Нікель випаровувався електронно-променевим способом за допомогою електронної діодної гармати. Швидкість конденсації становила 0,5-1,5 нм/с. Чистота випаровуваних металів становила щонайменше 99,98 %. Розрахунковий склад концентрацій компонентів зразків змінювався в широкому діапазоні. Характеристичний рентгенівський спектр речовини плівки порушувався при скануванні електронним пучком ділянки плівки розмірами 300 х 300 мкм; для товстіших плівок розмір ділянки сканування становив 1 х 1 мкм. Як еталони при проведенні кількісних вимірювань елементного складу плівок сплавів певної товщини використовувалася тонкі плівки Ni такої ж товщини. Результати рентгенівського мікроаналізу свідчать про високу чистоту плівок. Зіставлення розрахункових концентрацій сплавів та результатів вимірювань рентгенівським мікроаналізом показало, що в області товщин плівок d < 100 нм розбіжність становить близько 10 %, знижуючись до 1-3 % при товщинах зразків d > 100 нм. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Точково-контактна спектроскопія тонких надпровідних NbN плівок [05001-1-05001-5]2) Вплив тиску на електронні та магнітні властивості твердого розчину ZnSeTe, легованого атомами Fe [05002-1-05002-4]
3) Енергетичні параметри найпростіших хімічних реакцій, які протікають на перших стадіях електрохімічного травлення кремнію – DFT-моделювання [05003-1-05003-6]
4) Електричні властивості і фоточутливість гетеропереходів n-Mn2O3/p-InSe, виготовлених методом спрей-піролізу [05004-1-05004-5]
5) Кінетичні властивості CdSe0.4Te0.6: зв’язок ab initio підходу з принципом близькодії [05005-1-05005-5]
6) Вплив температури PММА на оптичні характеристики 1 х 2 гібридних фотонних кристалів хвилеводних розщеплювачів променя [05006-1-05006-5]
7) Вплив розбитої скляної частинки на передачу напруги нейлонового матричного композиту [05007-1-05007-4]
8) Високочутливий датчик показника заломлення на основі двовимірного фотонного кристала для вірусу Чикунгунья [05008-1-05008-4]
9) Розробка модульної конструкції системи генерації та накопичення енергії для автономного електропостачання [05009-1-05009-8]
10) Конструкція та оптимальні параметри малогабаритної Nd:YAG-лазерної установки з діодним накачуванням [05010-1-05010-5]
11) Про можливість застосування принципу адитивності фізичних величин багатокомпонентних металевих матеріалів [05011-1-05011-3]
12) Оптика макропористого кремнію з наскрізними порами [05012-1-05012-7]
13) Морфологічні, структурні та оптичні властивості наноструктурних тонких плівок NiO, легованих Ba [05013-1-05013-7]
14) Вплив різних розчинників у системі РЬ-Sn-Te-Se на якість епітаксіальних шарів [05015-1-05015-4]
15) Пригнічення бактерій Staphylococcus за допомогою наночастинок Ag під плазмонним резонансом [05016-1-05016-5]
16) Вплив ключових параметрів на ефективність зв’язку лінійного переходу між оптичним волокном і хвилеводом для телекомунікаційних мереж [05017-1-05017-5]
17) Дослідження ефекту заміни хрому церієм у феритах магнію на діелектричні та структурні властивості [05018-1-05018-4]
18) Включення багатомостових каналів у затвор навколо нанодротового польового транзистора [05019-1-05019-4]
19) Мікромеханічні властивості кристалів Gd3Ga5O12, опромінених швидкими важкими іонами [05020-1-05020-4]
20) Теорія спінових хвиль у коловій нанотрубці з легкоплощинного феромагнетику. Врахування дисипації для неметалічного зовнішнього середовища [05021-1-05021-6]
21) Вплив генерованого електричного поля накачки на підсилювальні властивості супергетеродинного параметричного лазера на вільних електронах [05022-1-05022-5]
22) Оптичні властивості тонких плівок CdTe:In отриманих методом фізичного осадження у вакуумі [05023-1-05023-4]
23) Компактна та інноваційна мікросмужкова патч-антена з покращеною мікрохвильовою схемою для додатків RFID [05024-1-05024-6]
24) Антикорозійні епоксидні покриття з наночастинками рослинного походження для захисту водних транспортних засобів [05025-1-05025-7]
25) Моделювання акустичних характеристик у векторно-фазовому полі рупора на низьких частотах [05026-1-05026-6]
26) Волоконно-оптичний сенсор температури з брегівською структурою [05027-1-05027-5]
27) Інтелектуалізація мікроелектронних датчиків на основі елементів на поверхневих акустичних хвилях [05028-1-05028-5]
28) Дводіапазонна силосно-щілинна антена з моделлю еквівалентної схеми для додатків 5G мм-хвиль [05029-1-05029-5]
29) Визначення критичних значень параметрів електронно-променевої мікрообробки оптичних пластин двоякої кривизни [05030-1-05030-5]
30) Структура і захисні властивості комплексних хромосиліцидних дифузійних покриттів на сталі 20 [05031-1-05031-5]
31) Природна MHD конвекція нанофлюїду Fe3O4-вода в кубічній порожнині [05032-1-05032-7]
32) Дослідження концентрації газу NO2 на реакцію тонких плівок CdO, отриманих за новим методом зворотного флюсу [05033-1-05033-6]
33) Електронний спектр квазі-2D напівпровідника в сильному електромагнітному полі [05034-1-05034-6]
34) Вплив питомої теплоємності, коефіцієнта теплопровідності, густини та швидкості охолодження на формування центрів кристалізації в металевих розплавах [05035-1-05035-5]
35) Персоналії. Мачехін Юрій Павлович [05036-1-05036-2]
