Modeling and Optimization of CMOS Compatible Various ZnO/SiO2/Si Multilayer Structure for SAW Devices Using FEM
| Автори | P.R. Bagade1, A.J. Pawar2, R.K. Kamat2 , S.A. Shinde2 |
| Приналежність |
1Department of Electronics, Vivekanand College, (Autonomous) Kolhapur, Maharashtra, India 2Department of Electronic, Shivaji University, Kolhapur, Maharashtra, India |
| Е-mail | pravinbagade333@gmail.com |
| Випуск | Том 15, Рік 2023, Номер 1 |
| Дати | Одержано 05 грудня 2022; у відредагованій формі 18 лютого 2023; опубліковано online 24 лютого 2023 |
| Посилання | P.R. Bagade, A.J. Pawar, et al., J. Nano- Electron. Phys. 15 No 1, 01024 (2023). |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.15(1).01024 |
| PACS Number(s) | 07.10.Cm, 68.35.Iv |
| Ключові слова | SAW device (2) , Finite element method (FEM) (3) , MEMs (7) , Interdigital transducer (IDT) (2) . |
| Анотація |
This article presents a design, modeling and optimization of Surface Acoustic Wave (SAW) resonator with CMOS compatible piezoelectric crystal material and characterized for wireless 915 MHz ISM frequency band. Simulation study for the realization of SAW resonator based on CMOS compatible piezoelectric thin film of Zinc oxide (ZnO) on passivated silicon (SiO2/Si) substrate is performed. The SAW properties of ZnO film on SiO2/Si were analyzed with three composite structures as (IDT)/ZnO/SiO2/Si, ZnO/(IDT)/ZnO/SiO2/Si, and ZnO/(IDT)/SiO2/Si using COMSOL Multiphysics Software. The properties of ZnO/(IDT)/SiO2/Si structure revealed good SAW properties such as maximum coupling coefficient and acoustic velocity compared to other structures. The effects of piezoelectric Zinc oxide (ZnO) layer, interdigital transducer (IDT) materials, and SiO2 thin film thickness on the evolution of the phase velocity and electromechanical coupling coefficient (K2) were studied by employing a finite element method. The design and simulations of multilayered SAW structure carried out for 915 MHz and ZnO/(IDT)/SiO2/Si structure provide excellent overall performance. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Лазерна модифікація морфології та дефектної структури гетероструктур на основі кристалів CdTe детекторного класу [01001-1-01001-6]2) Електропровідність композитних матеріалів на основі n-InSe і терморозширеного графіту [01002-1-01002-4]
3) Аналіз надійності та доступності літій-іонних акумуляторів під час багатьох відмов [01003-1-01003-5]
4) Триступінчастий хвилеводний поляризатор із перегородкою в діапазоні робочих частот 7.7-8.1 ГГц [01004-1-01004-5]
5) Порівняльне дослідження структурних і магнітних властивостей сплавів Fe1 – xAlx, виготовлених за допомогою дугового плавлення та кульового помелу [01005-1-01005-5]
6) Вплив фізичних величин на електричні параметри гетерометалевого -метокси (міді (II), вісмуту (III)) ацетилацетонату [01006-1-01006-5]
7) Нові технології лазерного зміцнення деталей паливної апаратури [01007-1-01007-7]
8) Високоефективний двовимірний фотонно-кристалічний біосенсор для діагностики еритроцитів, інфікованих малярією [01008-1-01008-6]
9) Чисельне дослідження, що включає модель мобільності для продуктивності п'єзорезистивних датчиків [01009-1-01009-4]
10) Synthesis of Thin Films Based on Silver Sulfide in Air at Atmospheric Pressure in a Gas DischargeСинтез тонких плівок на основі сульфіду срібла в повітрі при атмосферному тиску в газовому розряді [01010-1-01010-6]
11) Планарний n+-n-n+ діод з бічними активними границями на InP підкладці [01011-1-01011-4]
12) Динаміка та механічні властивості решітки золота та срібла з використанням безпараметричного псевдопотенціалу [01012-1-01012-5]
13) Фізичні та технологічні параметри азотування сталі Х28 в середовищі аміаку [01013-1-01013-4]
14) Оптичне поглинання композиту на основі двошарових нанодротів [01014-1-01014-6]
15) Вплив температури відпалу на структурні та оптичні властивості легованих телуром тонких плівок ZnO для оптоелектронних застосувань [01015-1-01015-5]
16) Магнітні наночастинки як регулятори ланцюгових структур в обертовому магнітному полі [01016-1-01016-6]
17) Аналіз падіння напруги джерела живлення (IR-Drop) і затримки поширення з використанням з’єднань зі складеною графеновою нанострічкою (F-GNR) [01017-1-01017-5]
18) Структурні та електронні властивості сплавів FeNi3 та FeNi2Pt [01018-1-01018-5]
19) Вплив дифузії бору на утворення силіциду титану [01019-1-01019-5]
20) Effect of Temperature on the Performance of CGS/CIGS Tandem Solar Cell [01020-1-01020-6]
21) Фотоелектричні властивості кремнію, легованого марганцем і германієм [01021-1-01021-4]
22) Вплив моделей ідеалізації на прогин пластини з функціонально градуйованим матеріалом (ФГМ) [01022-1-01022-5]
23) Покращення електричних властивостей сонячної елемента типу ITO/Si/GaAs/Si/ITO при зміні розташування проміжного шару GaAs [01023-1-01023-4]
24) Низькопрофільна широкосмугова антена з двома портами MIMO, що працює на частоті 38 ГГц для додатків 5G мм-хвиль [01025-1-01025-5]
25) Компактна мультирезонансна широкосмугова MIMO-антена для систем зв’язку 5G у мм-діапазоні хвиль [01026-1-01026-6]
26) Компактна двопортова антенна MIMO-матриця для додатків діапазону ISM/5G NR/WLAN [01027-1-01027-5]
27) Мініатюрна переносна текстильна UWB монопольна антена для реєстрації радіочастотної енергії [01028-1-01028-6]
28) Обгрунтування ефекту гігантського магнітоопору у магнітопорядкованих тришарових структурах Co/Cu/Co та Fe/Cr/Fe з використанням формули Фукса [01029-1-01029-5]
29) Діелектричні властивості фазових переходів в нітратах двовалентних елементів [01030-1-01030-3]
30) Персоналії. Проценко Іван Юхимович [01031-1-01031-1]
