The Design of a Low Power MEMS Based Micro-hotplate Device Using a Novel Nickel Alloy for Gas Sensing Applications
| Автори | Bijoy Kantha, Subir Kumar Sarkar |
| Афіліація | Jadavpur University, 188, Raja S. C. Mullick Road, Kolkata – 700032 West Bengal, India |
| Е-mail | bijoyvlsi@gmail.com |
| Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 1 |
| Дати | Одержано 01.10.2014, опубліковано online - 06.04.2014 |
| Цитування | Bijoy Kantha, Subir Kumar Sarkar, J. Nano- Electron. Phys. 6 No 1, 01004 (2014) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 44.10. + i, 73.50.Lw, 62.20. – x |
| Ключові слова | MEMS (8) , Micro-hotplate, CoventorWareTM, Electro-thermo-mechanical, ZnO (92) . |
| Анотація | In this paper comparative analysis of MEMS (Micro-electro-mechanical System) based Micro-hotplate using three different heating elements use as separately are presented. Three different materials (viz. DilverP1, Polysilicon, and Platinum) are used as heating elements with same thickness of 0.2 µm. CoventorWareTM simulator has been used for construction of 3D model and electro-thermo-mechanical analysis of Micro-hotplate device. Power consumption, stress and displacement of Micro-hotplate are studied at operating temperature (165 ºC). It is obtained that power consumption, stress and displacement of Dilverp1 heating element are 13.06 mW, 190 MPa and 0.028 µm which are less in comparison to those with Poly Silicon heater and Platinum heater at moderate temperature (150-200 °C) over the sensing material (ZnO). |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Нанокомпозитні апатит-біополімерні матеріали та покриття для біомедичного застосування [01001-1-01001-16]2) Дослідження кластерної структури води з аналізу температурних залежностей спектрів комбінаційного розсіювання світла [01002-1-01002-4]
3) Natural Dye Extracts of Areca Catechu Nut as dye Sensitizer for Titanium dioxide Based Dye Sensitized Solar Cells [01003-1-01003-4]
4) Synthesis, Characterization and Density Functional Study of LiMn1.5Ni 0.5O4 Electrode for Lithium ion Battery [01005-1-01005-5]
5) Simulation Study on the Open-Circuit Voltage of Amorphous Silicon p-i-n Solar Cells Using AMPS-1D [01006-1-01006-4]
6) Effect of Composition on Optical and Thermoelectric Properties of Microstructured p-type (Bi2Te3)x(Sb2Te3)1 – x Alloys [01007-1-01007-6]
7) Synthesis and Characterization of Nickel Ferrite: Role of Sintering Temperature on Structural Parameters [01008-1-01008-4]
8) Дослідження нанофотонного сенсора з електродом модифікованим напівпровідниковими квантовими точками [01009-1-01009-7]
9) Отримання тонких плівок нанокомпозитів на основікарбазолу з газової фази та їх властивості [01010-1-01010-3]
10) A Planar Interdigital Sensor for Bio-impedance Measurement: Theoretical analysis, Optimization and Simulation [01011-1-01011-7]
11) Трибологічні властивості нанорозмірних систем, що містять вуглецеві поверхні [01012-1-01012-12]
12) Наноелектроніка: термоелектричні явища в концепції «знизу-вгору» [01013-1-01013-9]
13) Вплив розчинника на мікроструктуру Bi2Te3 отриманого мікрохвильовим сольватермальним методом [01014-1-01014-6]
14) Аналіз теплопровідності полімерних нанокомпозитів наповниних вуглецевими нанотрубками та технічним вуглецем [01015-1-01015-6]
15) Отримання плівок ZnSe методом гідрохімічного осадження [01016-1-01016-4]
16) Морфологія та електрохімічні властивості термічно модифікованого нанопористого вуглецю як електроду літієвих джерел струму [01017-1-01017-6]
17) Ефект аномального збільшення анодного току у діодних структурах [01018-1-01018-3]
18) Модельна оцінка впливу розмірів, форми та стану поверхні нанокристалів апатиту на відхилення співвідношення Са / Р від стехіометричного значення [01019-1-01019-5]
19) Константи електрон-фононної взаємодії для оптичних та міждолинних фононів в n-Ge [01020-1-01020-5]
20) Сила осциляторів квантових переходів у багатошарових резонансно-тунельних структурах як базових елементах квантових каскадних лазерів та детекторів у поперечному магнітному полі [01021-1-01021-6]
21) Експериментальне моделювання режимів фокусування електронних пучківу аксіально-симетричних системах [01022-1-01022-8]
22) Анізотропний хімічний реактор з кореляційно-спектроскопічним контролем розмірів на-ночастинок [01023-1-01023-4]
23) Автоматизація системи дослідження нелінійних процесів в електровакуумних приладах з відкритими резонансними періодичними структурами [01024-1-01024-5]
24) Контрольоване поверхневою кінетикою визрівання Оствальда пласких включень на межі зерен [01025-1-01025-7]
25) Вимірювання емітансу пучка іонів електростатичного прискорювача [01026-1-01026-3]
26) Про один підхід до блокування голдстоунівської моди сегнетоелектричного рідкого кристалу [01027-1-01027-5]
27) Теорія Ландау в області фазових переходів першого роду [01028-1-01028-8]
28) Зародкоутворення золота в електричному полі на поверхні темплату [01029-1-01029-6]
29) Formation of Biphasic State in Vacuum-Arc Coatings Obtained by Evaporation of Ti-Al-Zr-Nb-Y Alloy in the Atmosphere of Nitrogen [01030-1-01030-3]
30) Magnetoresistive Properties of Quasi Granular Film Alloys FeхPt1 – х at the Low Concentration of Pt Atoms [01031-1-01031-5]
31) Електропровідність тришарових полікристалічних плівок Co/Ag(Cu)/Fe в умовах взаємодифузії атомів [01032-1-01032-5]
