Formation of Biphasic State in Vacuum-Arc Coatings Obtained by Evaporation of Ti-Al-Zr-Nb-Y Alloy in the Atmosphere of Nitrogen
| Автори | V.M. Beresnev1 , O.V. Sobol2 , I.N. Toryanik1 , A.A. Meylekhov2, U.S. Nyemchenko1 , P.V. Turbin1,3, I.V. Yakushchenko1, M.O. Lisovenko1 |
| Приналежність | 1 Karazin Kharkiv National University, 4, Svobody Sq., Kharkiv, Ukraine 2 National Technical University «Kharkiv Polytechnic Institute», 21, Frunze Str., Kharkiv, Ukraine 3 Scientific Center of Physical Technologies of Ministry of Education and Science and National Academy of Science of Ukraine, 6, Svobody Sq., Kharkiv, Ukraine 4 Sumy State University, 2, Rymskogo-Korsakova Str., Sumy, Ukraine |
| Е-mail | beresnev-scpt@yandex.ru |
| Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 1 |
| Дати | Одержано 10.01.2014, опубліковано online 06.04.2014 |
| Посилання | V.M. Beresnev, O.V. Sobol, I.N. Toryanik, et al., J. Nano- Electron. Phys. 6 No 1, 01030 (2014) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 61.46. – w, 62.20.Qp, 62-65. – g |
| Ключові слова | Vacuum-Arc Deposition Method (3) , Mechanical Characteristics of Coatings (2) , Refractory Metal Nitride Coatings. |
| Анотація | By means of X-ray diffraction, transmission and scanning electron microscopy, energy dispersive spectroscopy and indentation methods, the effect of nitrogen atmosphere pressure on composition, structure and hardness of vacuum-arc (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N coatings during the deposition process has been studied. The two-phase state of the coating with solid-solution metal component (bcc lattice) and nitride phase (fcc lattice) have been formed. Increasing the pressure of nitrogen atmosphere leads to the increase of nitrogen component in the coating as well as to increase of the ordering regions size, allowing to achieve the hardness of H = 49 GPa at a pressure of P = 0.5 Pa. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Нанокомпозитні апатит-біополімерні матеріали та покриття для біомедичного застосування [01001-1-01001-16]2) Дослідження кластерної структури води з аналізу температурних залежностей спектрів комбінаційного розсіювання світла [01002-1-01002-4]
3) Natural Dye Extracts of Areca Catechu Nut as dye Sensitizer for Titanium dioxide Based Dye Sensitized Solar Cells [01003-1-01003-4]
4) The Design of a Low Power MEMS Based Micro-hotplate Device Using a Novel Nickel Alloy for Gas Sensing Applications [01004-1-01004-5]
5) Synthesis, Characterization and Density Functional Study of LiMn1.5Ni 0.5O4 Electrode for Lithium ion Battery [01005-1-01005-5]
6) Simulation Study on the Open-Circuit Voltage of Amorphous Silicon p-i-n Solar Cells Using AMPS-1D [01006-1-01006-4]
7) Effect of Composition on Optical and Thermoelectric Properties of Microstructured p-type (Bi2Te3)x(Sb2Te3)1 – x Alloys [01007-1-01007-6]
8) Synthesis and Characterization of Nickel Ferrite: Role of Sintering Temperature on Structural Parameters [01008-1-01008-4]
9) Дослідження нанофотонного сенсора з електродом модифікованим напівпровідниковими квантовими точками [01009-1-01009-7]
10) Отримання тонких плівок нанокомпозитів на основікарбазолу з газової фази та їх властивості [01010-1-01010-3]
11) A Planar Interdigital Sensor for Bio-impedance Measurement: Theoretical analysis, Optimization and Simulation [01011-1-01011-7]
12) Трибологічні властивості нанорозмірних систем, що містять вуглецеві поверхні [01012-1-01012-12]
13) Наноелектроніка: термоелектричні явища в концепції «знизу-вгору» [01013-1-01013-9]
14) Вплив розчинника на мікроструктуру Bi2Te3 отриманого мікрохвильовим сольватермальним методом [01014-1-01014-6]
15) Аналіз теплопровідності полімерних нанокомпозитів наповниних вуглецевими нанотрубками та технічним вуглецем [01015-1-01015-6]
16) Отримання плівок ZnSe методом гідрохімічного осадження [01016-1-01016-4]
17) Морфологія та електрохімічні властивості термічно модифікованого нанопористого вуглецю як електроду літієвих джерел струму [01017-1-01017-6]
18) Ефект аномального збільшення анодного току у діодних структурах [01018-1-01018-3]
19) Модельна оцінка впливу розмірів, форми та стану поверхні нанокристалів апатиту на відхилення співвідношення Са / Р від стехіометричного значення [01019-1-01019-5]
20) Константи електрон-фононної взаємодії для оптичних та міждолинних фононів в n-Ge [01020-1-01020-5]
21) Сила осциляторів квантових переходів у багатошарових резонансно-тунельних структурах як базових елементах квантових каскадних лазерів та детекторів у поперечному магнітному полі [01021-1-01021-6]
22) Експериментальне моделювання режимів фокусування електронних пучківу аксіально-симетричних системах [01022-1-01022-8]
23) Анізотропний хімічний реактор з кореляційно-спектроскопічним контролем розмірів на-ночастинок [01023-1-01023-4]
24) Автоматизація системи дослідження нелінійних процесів в електровакуумних приладах з відкритими резонансними періодичними структурами [01024-1-01024-5]
25) Контрольоване поверхневою кінетикою визрівання Оствальда пласких включень на межі зерен [01025-1-01025-7]
26) Вимірювання емітансу пучка іонів електростатичного прискорювача [01026-1-01026-3]
27) Про один підхід до блокування голдстоунівської моди сегнетоелектричного рідкого кристалу [01027-1-01027-5]
28) Теорія Ландау в області фазових переходів першого роду [01028-1-01028-8]
29) Зародкоутворення золота в електричному полі на поверхні темплату [01029-1-01029-6]
30) Magnetoresistive Properties of Quasi Granular Film Alloys FeхPt1 – х at the Low Concentration of Pt Atoms [01031-1-01031-5]
31) Електропровідність тришарових полікристалічних плівок Co/Ag(Cu)/Fe в умовах взаємодифузії атомів [01032-1-01032-5]
