Вплив термічного окислення на процеси перенесення носіїв заряду в поруватому кремнії

Автори І.Б. Оленич
Приналежність

Львівський національний університет імені Івана Франка, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна

Е-mail iolenych@gmail.com
Випуск Том 5, Рік 2013, Номер 4
Дати Одержано 11.09.2013, опубліковано online - 31.01.2014
Посилання І.Б. Оленич, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 4, 04072 (2013)
DOI
PACS Number(s) 73.63. – b, 73.50.Gr
Ключові слова Поруватий кремній (20) , Термічне окислення (2) , Механізми електропровідності, Термостимульована деполяризація (4) , Рівні захоплення (2) .
Анотація Досліджено температурну залежність електропровідності поруватого кремнію та термічно окисленого поруватого кремнію в режимах постійного і змінного струму в інтервалі 80-370 К. Одержані результати проаналізовано в рамках моделі невпорядкованих напівпровідників та визначено механізми перенесення носіїв заряду. На основі спектрів термостимульованої деполяризації виявлено локалізовані електронні стани, які впливають на електротранспортні властивості поруватого кремнію. Показано, що термічне окислення зумовлює зміну густини заповнення станів в різних енергетичних діапазонах та розширення температурного діапазону, в якому реалізується стрибкоподібний механізм провідності поруватого кремнію.

Перелік посилань

English version of article