Структура і фізико-механічні властивості нк-TiN покриттів отриманих вакуумно-дуговим осадженням та осадження з ВЧ розрядом
| Автори | А.Д. Погребняк1, А.М. Махмуд1, І.Т. Караша1, Г.В. Кірік2, Р.Ю. Ткаченко1, А.П. Шипиленко1 |
| Афіліація | 1 Сумський державний університет, 40007, Суми, Україна 2 Концерн «Укрросметал» Суми, Україна |
| Е-mail | alexp@i.ua |
| Випуск | Том 3, Рік 2011, Номер 4 |
| Дати | Одержано 12.09.2011, у відредагованій формі – 06.12.2011, опубліковано online - 30.12.2011 |
| Цитування | А.Д. Погребняк, А.М. Махмуд, І.Т. Караша, та ін., Ж. нано- електрон. фіз. 3 №4, 97 (2011) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 61.05.cm, 61.46.Hk, 62.20.Qp.68.37.Hk, 81.15. – z |
| Ключові слова | нк – TiN, Покриття (84) , РЕМ (154) , АСМ (2) , Нанотвердість (4) , Модуль пружності (12) , Адгезійні, Триботехничні та деформаційні характеристики. |
| Анотація |
За допомогою растрово-електронної мікроскопії (РЕМ), рентген-структурного аналізу (РСА), адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу і були вивчені властивості покриттів нк – TiN. У залежності від потенціалу зміщення, що подається на підкладку і тиску в камері, включення ВЧ розряду, показано, що сукупність різних параметрів реєструються в процесі дряпання, дозволяє розрізняти порогові значення критичного навантаження, прив'язані до різних типів когезійного та адгезійного руйнування покриттів при трибологічних випробуваннях. Були визначені розміри нанозерн нк – TiN стехіометрія покриттів, а також фазовий елементний склади і морфологія поверхні покриттів. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Static and Vibrational Properties of Lithium Alloys [005-012]2) Structural and Optical Properties of Electro Sprayed Tin Oxide Thin Films [013-019]
3) Generalized Hurst Exponent of The Carbon Thin Film Surface [020-026]
4) Modeling of Threshold Voltage and Drain Current of Uniaxial Strained p-MOSFETs [027-031]
5) Ellipsometric Studies on Silver Telluride Thin Films [032-042]
6) Magnetic and Low Temperature Conductivity Studies in Oxidized Nano Ni Films [043-054]
7) Усунення агрегування феромагнітних частинок при електронно-мікроскопічних дослідженнях [055-059]
8) Робастність методів правдоподібності для обчислення координат сцинтиляцій [060-065]
9) Дифракція хвиль на дофрактальній системі щілин в плоскому екрані [066-072]
10) Комплекс дистанційного пошуку, локалізації і ідентифікації джерел гамма випромінювання [073-080]
11) Модель утворення нанорозмірного віскера з каналу потрійного стику меж зерен полікристала [081-087]
12) Kінетика утворення згустків Ag на мікрокристалах AgBr при нормальному лазерному ефекті Гершеля [088-096]
13) Магніторезистивні властивості спін-вентильних структур на основі Сo та Сu або Аu [106-113]
14) Моделювання процесу утворення твердих розчинiв у системi In2O3-HfO2 при нагрiвi у середовищi повiтря [114-124]
15) Особливості станів фторида кобальта [125-130]
16) Ефект Холла в мультишарах на основі Pd i Fe [131-137]
17) Управління параметрами GaAs:Si-p-n-структур при гіратронному опромінюванні [138-149]
