Вплив усереднення енергії розпилених атомів на стаціонарність квазірівноважної конденсації
| Автори | О.А. Мокренко , В.І. Перекрестов , Ю.О. Космінська |
| Афіліація | Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007, Суми, Україна |
| Е-mail | perv@phe.sumdu.edu.ua |
| Випуск | Том 2, Рік 2010, Номер 3 |
| Дати | Одержано 14.07.2010, у відредагованій формі - 23.09.2010 |
| Цитування | О.А. Мокренко, В.І. Перекрестов, Ю.О. Космінська, Ж. нано- електрон. фіз. 2 №3, 40 (2010) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 52.20.Hv, 52.65.Pp, 68.55. – a, 81.15.Cd |
| Ключові слова | Квазірівноважна конденсація (2) , Плазма (20) , Термодинамічна рівновага, Магнетронне розпилення (15) , Пересичення (6) . |
| Анотація |
У роботі показано, що результат квазірівноважної конденсації в накопичувальній системі плазма-конденсат залежить від стаціонарності технологічного процесу, яка в загальному випадку визначається постійністю пересичення, а також розкидом енергії розпилених атомів. На підставі модельних уявлень з використанням методу Монте-Карло встановлено ефект усереднення енергій розпилених атомів при їх русі в плазмі підвищеного тиску. На основі експериментальних результатів, пов’язаних з отриманням конденсатів алюмінію в умовах близьких до термодинамічної рівноваги, встановлено зменшення дисперсності плівок при підвищенні тиску робочого газу більше 2.4 Па, що підтверджує стаціонарність технологічного процесу. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Релаксаційні процеси в нелінійних оптичних полімерних плівках [005-011]2) Формування наноструктури в нікель-хромових покриттях після дуплексної обробки [012-031]
3) Вузькосмугові фільтри микрохвильового діапазона [032-039]
4) Активні ЛВЕ-клістрони як формувачі фемтосекундних кластерів електромагнітного поля. Опис моделей на базі секцій «звичайного» ЛВЕ [054-070]
5) Динаміка нерівноважних переходів, індукованих взаємно корельованими шумами: чисельні результати [071-077]
6) Структура та гігантський магніторезистивний ефект у тришарових плівках FeNi/Cu/Co [078-086]
7) Переривчаста кінетика квазірівноважної конденсації [087-095]
8) Класифікація подрібнених вуглецевих волокон за розміром при виробництві композиційних матеріалів [096-102]
9) Моделювання процесу утворення твердих розчинів у системі In2О3-HfO2 при нагріванні у середовищі повітря [103-113]
