Перетворення в субмоношарових покриттях хрому та титану на поверхні Sі (001)

Автори К.О. Бутарєв, И.П. Коваль, Ю.А. Лень, М.Г. Находкин
Афіліація

Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 64, 01601 Київ, Україна

 

Е-mail kosbut@gmail.com
Випуск Том 5, Рік 2013, Номер 1
Дати Одержано 15.11.2012, опубліковано online - 28.03.2013
Цитування К.О. Бутарєв, И.П. Коваль, Ю.А. Лень, М.Г. Находкин, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 1, 01025 (2013)
DOI
PACS Number(s) 68.55. – a, 71.20.Be, 82.80.Pv, 81.16.Pr
Ключові слова Перехідний метал, Силіцид (6) , Окислення (13) , Кремній (92) .
Анотація В даній роботі проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1-3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450 °С. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія отриманих острівців відповідає дисиліцидній структурі.

Перелік посилань

English version of article