Автори | К.О. Бутарєв, И.П. Коваль, Ю.А. Лень, М.Г. Находкин |
Афіліація | Київський національний університет імені Тараса Шевченка, вул. Володимирська, 64, 01601 Київ, Україна
|
Е-mail | kosbut@gmail.com |
Випуск | Том 5, Рік 2013, Номер 1 |
Дати | Одержано 15.11.2012, опубліковано online - 28.03.2013 |
Цитування | К.О. Бутарєв, И.П. Коваль, Ю.А. Лень, М.Г. Находкин, Ж. Нано- електрон. фіз. 5 № 1, 01025 (2013) |
DOI | |
PACS Number(s) | 68.55. – a, 71.20.Be, 82.80.Pv, 81.16.Pr |
Ключові слова | Перехідний метал, Силіцид (6) , Окислення (13) , Кремній (92) . |
Анотація | В даній роботі проведено дослідження перетворень в покриттях Ti та Cr (~ 1-3 нм) на поверхні Si (001) при кімнатній температурі до та після відпалу при 450 °С. Виявлено, що після відпалу формуються острівцеві плівки. Встановлено, що стехіометрія отриманих острівців відповідає дисиліцидній структурі. |
Перелік посилань English version of article |