Вплив типу аніона електролиту на морфологию поруватого InP, отриманого методом електролітичного травлення електрохімічного травлення

Автори Я.О. Сичікова1 , В.В. Кідалов1 , Г.О. Сукач2
Приналежність

1 Бердянський державний педагогічний університет, ул. Шмідта, 4, 71100, Бердянськ, Україна

2 Інститут фізики напівпровідників ним. У. Е. Лашкарьова НАН України, Проспект Науки 41, 03028, Київ, Україна

Е-mail V.V.Kidalov@mail.ru
Випуск Том 1, Рік 2009, Номер 4
Дати Одержано 05.11.2009, у відредагованій формі – 01.12.2009
Посилання Я.О. Сичікова, В.В. Кідалов, Г.О. Сукач, Ж. нано- електрон. фіз. 1 №4, 78 (2009)
DOI
PACS Number(s) 61.43.Gt, 78.30.Fs, 78.55.m
Ключові слова Поруватий InP (2) , Електролітичне травлення, Скануюча електрона мікроскопія (3) , Наноструктури (13) , Порогова напруга (2) .
Анотація
У даній роботі подано аналіз залежності морфології поруватого фосфіду індію від типу аніону що бере участь у реакції пороутворення. Показано, що за певних умов електролітичного травлення, можливе отримання нанопоруватих шарів InP.

Перелік посилань