| Заголовок |
Review of MEMS Test Structures for Mechanical Parameter Extraction |
| Автор(ы) |
A. Sharma, M. Kaur, D. Bansal, D. Kumar, K. Rangra |
| Выпуск |
Том 3, Год 2011, Номер 1, Part 2 |
| Страницы |
0243 - 0253 |
| Заголовок |
Design Optimization of Deflection Caused After Release of Multilayer Structural Membrane of Symmetric Toggle Switch |
| Автор(ы) |
K. Maninder, Akshdeep Sharma, Deepak Bansal, Dinesh Kumar, S. Singh, K.J. Rangra |
| Выпуск |
Том 3, Год 2011, Номер 1, Part 4 |
| Страницы |
0787 - 0791 |
| Заголовок |
Modeling and Design of AlN Based SAW Device and Effect of Reflected Bulk Acoustic Wave Generated in the Device |
| Автор(ы) |
Saleem Khan, Sandeep Arya, Parveen Lehana |
| Выпуск |
Том 5, Год 2013, Номер 2 |
| Страницы |
02010-1 - 02010-4 |
| Заголовок |
Analytical Study of Graphene as a Novel Piezoresistive Material for MEMS Pressure Sensor Application |
| Автор(ы) |
Samridhi, Mayuri Sharma, Kulwant Singh, Shalendra Kumar, P.A. Alvi |
| Выпуск |
Том 12, Год 2020, Номер 2 |
| Страницы |
02001-1 - 02001-4 |
| Заголовок |
Instantaneous Fabrication of Thin MEMS Features by Copper Electrodeposition Using Modified Inkjet Printer |
| Автор(ы) |
Vimal Kumar Deshmukh, Ankit Namdev, H.K. Narang, M.S. Rajput, P.M. Pandey |
| Выпуск |
Том 12, Год 2020, Номер 2 |
| Страницы |
02044-1 - 02044-4 |
