Геометричні ефекти у процессі плазмового напилення на поверхні

Автори А.С. Долгов , А.Л. Лорент
Приналежність Національний Аерокосмічний Університет ім. Н.Є. Жуковського «ХАІ», вул. Барабашова, 38а, 61168, Харків, Україна
Е-mail alchi_ant@ukr.net
Випуск Том 3, Рік 2011, Номер 2
Дати Одержано 09.02.2011, у відредагованій формі – 15.03.2011, опубліковано онлайн – 02.04.2011
Посилання А.С. Долгов, А.Л. Лорент, Ж. нано- електрон. фіз. 3 №2, 59 (2011)
DOI
PACS Number(s) 34.35.-a
Ключові слова Від’ємна кривина, Осадження (41) , Область орієнтації, Розбіжність потоку, Кут бомбардування.
Анотація

Розглядається вплив широко розповсюджених геометричних особливостей деталі та потоку часток на ефективність осадження та надаються відповідні рекомендації. На засаді прийнятої апроксимованої схеми із від’ємною кривиною визначено вираз, який описує осадження на одиницю поверхні при постійній частоті обертання елемента поверхні. Приведено деякі значення осадження для різноманітних варіантів кривини. Розглянуто значення розбіжності потоку часток, яка притаманна загальній картині осадження, у якості фактора, що компенсує неоднорідність осадження на ділянці від’ємної кривини. Виявлено, що сильна залежність вірогідності осадження від кута бомбардування поверхні спричиняє зниження загального рівня осадження для різних, майже протилежних форм.

Перелік посилань

English version of article