Вплив дифузії бору на утворення силіциду титану

Автори H. Karboua1, N. Dahraoui2, M. Boulakroune3, T. Fortaki1
Приналежність

1Electronics Department, Faculty of Engineer Sciences, University Batna 2, 05000 Batna, Algeria

2Electronics and Communication Department, Faculty of New Technologies of Information and Communication, University Kasdi Merbah of Ouargla, 30000 Ouargla, Algeria

3Laboratory of Electrical Engineering Polytechnic Constantine, Electrical and Automatic Department, National Polytechnic School of Constantine, 25000 Constantine, Algeria

Е-mail khoucine4@yahoo.fr
Випуск Том 15, Рік 2023, Номер 1
Дати Одержано 20 грудня 2022; у відредагованій формі 15 лютого 2023; опубліковано online 24 лютого 2023
Посилання H. Karboua, N. Dahraoui, M. Boulakroune, T. Fortaki, Ж. нано- електрон. фіз. 15 № 1, 01019 (2023)
DOI https://doi.org/10.21272/jnep.15(1).01019
PACS Number(s) 66.30.Lw, 68.49.Sf, 82.80Ms
Ключові слова ВІМС (2) , Силіцид титану, Бор (64) , Моделювання (77) , Дифузія (32) .
Анотація

Метод вторинно-іонної мас-спектрометрії (ВІМС) був використаний для дослідження дифузії бору в шарах силіциду титану за кількох умов відпалювання та температури. Експериментальні профілі були змодельовані за допомогою моделі, заснованої на відомих законах Фіка та ефекті, що супроводжує дифузію бору під час силіцидації, як сегрегація та кластеризація. Порівняння результатів моделювання з літературними даними в однакових умовах відпалювання вказують на хорошу відповідність із результатами інших авторів. Це пояснює, що дифузія бору в силіциді титану залежить від сегрегації, кластеризації та перевищує розчинність твердої речовини. Моделювання базується на чисельному методі кінцевих різниць. Kлючові слова: ВІМС, Силіцид титану, Бор, Моделювання, Дифузія.

Перелік посилань