Ефективність введення потужності в індуктивне ВЧ джерело іонів
| Автори | В.І. Возний |
| Приналежність | Інститут прикладної фізики НАН України, Вул. Петропавлівска, 58, 40030, Суми, Україна |
| Е-mail | vozny@ipflab.sumy.ua |
| Випуск | Том 2, Рік 2010, Номер 2 |
| Дати | Одержано 19.05.2010, у відредагованій формі – 06.07.2010 |
| Посилання | В.І. Возний, Ж. нано- електрон. фіз. 2 №2, 25 (2010) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 29.25.Ni, 52.50.Dg, 52.70.Gw, 52.80.Pi |
| Ключові слова | ВЧ-джерело іонів, Іонний пучок (3) , Плазма (18) , Густина струму (5) . |
| Анотація |
Досліджувалося високочастотне індуктивне іонне джерело без магнітного поля, що працює на частоті 27,12 МГц. Діаметр розрядної камери джерела дорівнює 3 см, довжина – 8 см. Вимірювалися зовнішні електричні параметри джерела, такі як антенний струм і напруга на антені, в діапазоні ВЧ-потужності 10÷400 Вт і тиску газу (аргон) 0,1÷1 Па. Використовуючи трансформаторну модель індуктивного ВЧ-розряду, визначено ефективність введення ВЧ-потужності в плазму іонного джерела. При тиску аргону 0,5 Па і ВЧ-потужності в інтервалі 50÷400 Вт в плазму вводиться близько 75 % потужності. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Розмірні кінетичні ефекти у полікристалічних плівках [006-024]2) Титано-марганцеві оксиди. Оптичні та фотокаталітичні властивості [035-049]
3) Активні ЛВЕ-клістрони як формувачі фемтосекундних кластерів електромагнітного поля. Загальний опис [050-078]
4) Нерівноважна еволюційна термодинаміка межового тертя [079-093]
5) Дослідження електромагнітних хвиль у дофрактальних системах мікрострічкових ліній методом Релея [094-102]
6) Розсіювання електромагнітних хвиль імпедансним циліндром, покритим діелектричним шаром [103-110]
