Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2
| Автори | Г.С. Корнющенко |
| Приналежність | Сумський державний університет, вул. Римського-Корсакова, 2, 40007 Суми, Україна |
| Е-mail | ann_korn@ukr.net |
| Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 2 |
| Дати | Одержано 14.03.2014, у відредагованій формі - 14.04.2014, опубліковано online - 20.06.2014 |
| Посилання | Г.С. Корнющенко, Ж. нано- електрон. фіз. 6 № 2, 02017 (2014) |
| DOI | |
| PACS Number(s) | 81.07.Bc, 81.10.Bk, 81.15.Cd. |
| Ключові слова | Нітрид алюмінію, Квазірівноважна стаціонарна конденсація, Реактивне магнетронне розпилення, Накопичувальна система плазма-конденсат. |
| Анотація | В даній роботі були проведені дослідження впливу параметрів експерименту, таких як потужність розряду, тиск робочого газу, температура ростової поверхні на процес формування та основні характеристики шарів нітриду алюмінію. В результаті оптимізації вказаних параметрів одержані близькі до стехіометричного складу шари AlN, що мають кристалічну будову з гексагональною граткою типу вюрциту. Проведені дослідження структури, фазового складу та мікротвердості конденсатів, які мають найбільш близькі до стехіометричних елементні склади. Мікротвердість отриманих покриттів склала 0.760÷1.12 Гпа. |
|
Перелік посилань English version of article |
Інші статті цього номера
1) Люмінесценція монокристалів бромистого кадмію із додаванням домішки срібла [02001-1-02001-3]2) Класифікація мультикутової та спектральної еліпсометрії для напівпровідникових наноструктур [02002-1-02002-5]
3) Структурні властивості та елементний склад імплантованих Au+ плівок ZnO:Al, отрима-них золь-гель методом [02003-1-02003-5]
4) Surface Morphological Studies of Solar Absorber Layer Cu2ZnSnS4 (CZTS) Thin Films by Non-vacuum Deposition Methods [02004-1-02004-5]
5) Double Peak Behavior of Resistivity-Temperature Curves in (Nd / Pr)0.67Sr0.33MnO3 Manganites [02005-1-02005-3]
6) Interaction of Glucose with ZnO Nanoparticles [02006-1-02006-2]
7) Field Profile of Asymmetric Slab Waveguide Structure with LHM Layers [02007-1-02007-5]
8) Investigation of CNTFET Performance with Gate Control Coefficient Effect [02008-1-02008-4]
9) Response of Ag Thick Film Microstripline due to Superstrate Strontium Substituted Bismuth Manganites [02009-1-02009-3]
10) Evaluation of Vertical Coherence Length, Twist and Microstrain of GaAs / Si Epilayers Using Modified Williamson-Hall Analysis [02010-1-02010-7]
11) Вклад магнітного поля вихрових струмів у параметр загасання Гільберта [02011-1-02011-5]
12) Чисельне моделювання процесів формування електронних пучківу аксіально-симетричних системах [02012-1-02012-5]
13) Визначення комплексного показника заломлення еталона для вимірювання коефіцієнта відбиття [02013-1-02013-5]
14) Структурні, магнітні та магніторезистивні властивості трикомпонентного плівкового сплаву Ni-Fe-Co [02014-1-02014-7]
15) До розподілу Вагнера-Венгреновича [02015-1-02015-9]
16) Розробка економічних струмопровідних контактів для газочутливих плівкових шарів диоксиду олова [02016-1-02016-5]
17) Механізм виникнення та нейтралізація залишкової трибоелектрики при скануванні кремнієвим зондом атомно-силового мікроскопу діелектричних поверхонь [02018-1-02018-5]
18) Аналіз елементного складу плівок Cu2ZnSnSe4 методами PIXE та μ-PIXE [02019-1-02019-4]
19) Міжзеренні межі і електричні властивості тонких плівок твердих розчинів PbTe-Bi2Te3 [02020-1-02020-7]
20) Спінові хвилі у довільній феромагнітній наносистемі з трансляційною симетрією. Нанотрубка кругового перерізу. Нанотрубка еліптичного перерізу. [02021-1-02021-6]
21) Фазовий склад та магнітні властивості плівкових систем на основі Fe (Co) та Gd (Dy) [02022-1-02022-8]
22) Масив наночастинок золота на напівпровідникових плівках CdS: одержання, морфологія та оптичні властивості [02023-1-02023-4]
23) Вплив термічної та радіаційної дій на фазовий склад, структуру й напружено-деформований стан покриттів системи Ti-W-B, осаджених з іонно-атомних потоків [02024-1-02024-6]
24) Фазові перетворення і магніторезистивні властивості розбавлених твердих розчинів на основі атомів Fe і Ge [02025-1-02025-4]
25) Чотирьохдзеркальний відкритий резонатор з канавкою на плоскому дзеркалі [02026-1-02026-6]
26) Поля непрямих обмінних взаємодій в магнітних наногранульованих плівках [02027-1-02027-5]
27) Аналіз елементного складу та профілів розподілу нітридного наноструктурного покриття на основі TiHfVNbZr високоентропійного сплаву [02028-1-02028-5]
28) Дослідження топографії та атомної структури поверхонь сколювання (100) шаруватих кристалів In4Se3 [02029-1-02029-7]
