Назва | Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 | |
Автори | Г.С. Корнющенко | |
Випуск | Том 6, Рік 2014, Номер 2 | |
Сторінки | 02017-1 - 02017-5 |
Назва | Етапи нуклеації квазірівноважних конденсатів іонно розпилених атомів Сr, Zn, Cu, Si, Ag та Al | |
Автори | Г.С. Корнющенко, Ю.О. Космінська, С.Т. Шевченко, В.В. Наталіч, В.І. Перекрестов | |
Випуск | Том 13, Рік 2021, Номер 2 | |
Сторінки | 02034-1 - 02034-6 |