Назва | Структура і властивості вакуумно-дугових одношарових і багатоперіодних двошарових нітридних покриттів на основі шарів Ti(Al):Si | |
Автори | В.М. Береснєв, О.В. Соболь, О.Д. Погребняк, С.В. Литовченко, В.А. Столбовой, П.А. Сребнюк, В.Ю. Новіков, І.В. Дощечкіна, А.А. Мейлехов, А.А. Постельник, У.С. Нємченко, Б.А. Мазилін, В.В. | |
Випуск | Том 9, Рік 2017, Номер 1 | |
Сторінки | 01033-1 - 01033-6 |