Назва | Дослідження впливу складу залишкових газів на твердість, адгезійні властивості і елементний склад покриттів SiC-AlN, нанесених методом магнетронного розпилення | |
Автори | І.Ю. Гончаров, Д.А. Колесніков, В.Ю. Новіков, М.Г. Ковалева, С.В. Литовченко, Б.А. Мазілін, Д.В. Горох, В.М. Береснев, David Alejandro Diaz Yanez | |
Випуск | Том 10, Рік 2018, Номер 3 | |
Сторінки | 03028-1 - 03028-5 |