Назва | Вплив на механічні характеристики товщини шарів у багатошарових покриттях MoN / CrN, осаджених під дією негативного потенціалу зміщення | |
Автори | В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.В. Столбовой, С.В. Литовченко, Д.А. Колесников, У.С. Немченко, А.А. Мейлехов, А.А. Постельник | |
Випуск | Том 8, Рік 2016, Номер 1 | |
Сторінки | 01043-1 - 01043-5 |