Мас-спектрометричне дослідження процесів іонного розпилення при високих енергіях первинних іонів

Автори	В.А. Батурін , С.О. Єрьомін
Афіліація	Інститут прикладної фізики НАН України, вул. Петропавловська, 58, Суми, Україна, 40030
Е-mail	baturin@ipflab.sumy.ua
Випуск	Том 1, Рік 2009, Номер 1
Дати	Одержано 27.04.2009, у відредагованій формі – 26.06.2009
Цитування	В.А. Батурін, С.О. Єрьомін, Ж. нано- електрон. фіз. 1 №1, 80 (2009)
DOI
PACS Number(s)	41.75.Ak; 07.75. + h; 68.55.Ln
Ключові слова	Пучок іонів (2) , Розпилення (31) , Вторинні нейтралі, Кластер (37) , Ізотоп, Мас-спектрометр (12) .
Анотація	Стаття присвячена мас-спектрометричному дослідженню процесів іонного розпилення в широкому інтервалі енергій первинних іонів. З цією метою розроблена конструкція мас-спектрометра вторинних нейтралей, що на відміну від традиційних установок даного типу побудована на базі іонного імплантера, що генерує пучки іонів з енергією до 170 кеВ і щільністю струму на мішені до 1 мА/см². Проведено комп'ютерне моделювання траєкторій електронів і позитивних іонів у системі реєстрації розпилених частинок і визначені оптимальні параметри системи для трьох режимів роботи установки. Проведено дослідження емісії розпилених нейтральних кластерів міді, а також процесів переважного розпилення ізотопів молібдену при різних параметрах пучка первинних іонів аргону.
	Перелік посилань Повний текст Переклад англійською

Інші статті цього номера

1) Електрофізичні властивості розчинів солей діазонію в твердих полімерних матрицях [007-018]
2) Гістерезисні властивості двумірних спінових систем [019-028]
3) Розмірні домішкові ефекти в кристалічній структурі тонких металевих плівок [029-041]
4) Нерегулярні квазіоптичні системи електроніки міліметрових хвиль [042-058]
5) Особливості частотних характеристик нормальних хвиль у гідроакустичному хвилеводі [059-069]
6) Динаміка деформації структурної одиниці твердого тіла від зовнішньої дії [070-079]
7) Властивості тонких прозорих плівок SnO₂:Sb [104-111]