Експериментальний стенд для вивчення джерел позитивних та негативних іонів
| Автори | В.А. Батурін , О.Ю. Роєнко, О.Ю. Карпенко, П.О. Литвинов |
| Афіліація |
Інститут прикладної фізики НАН України, 40000 Суми, Україна |
| Е-mail | baturin49@gmail.com |
| Випуск | Том 16, Рік 2024, Номер 4 |
| Дати | Одержано 15 квітня 2024; у відредагованій формі 17 серпня 2024; опубліковано online 27 серпня 2024 |
| Цитування | В.А. Батурін, О.Ю. Роєнко, О.Ю. Карпенко, П.О. Литвинов, Ж. нано- електрон. фіз. 16 № 4, 04035 (2024) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.16(4).04035 |
| PACS Number(s) | 29.25.Ni, 41.75.Cn, 41.75.Ak |
| Ключові слова | Джерела іонів, Експериментальний стенд, Іонний пучок (4) , Емітанс (2) , Масовий та енергетичний розподіл. |
| Анотація |
У сучасній медицині, прискорювальній техніці, виробництві напівпровідників існує потреба в розробці джерел іонів різних елементів, здатних генерувати струми в широкому діапазоні значень від 1 мкА до 100 мА. Перед використанням створених джерел іонів у конкретних прикладних випадках необхідно їх детально дослідити, оптимізувати робочі параметри та вивчити основні характеристики іонного пучка. Струм, емітанс, яскравість, розподіл енергії та масовий склад, стабільність вихідного сигналу пучка є важливими для отримання якісного результату. У статті представлено розроблений в ІПФ НАНУ стенд для випробування джерел іонів. Розроблена установка дозволяє досліджувати різні джерела іонів металів і газу, як негативних, так і позитивних іонів. Установка має всі інструменти для детального дослідження таких параметрів іонного струму, як розподіл іонів за енергіями, по масі, емітанс, профіль пучка, витрата робочого газу. Розроблений прилад для вимірювання розподілу іонів за масою дозволяє досліджувати елементний склад пучка. Вимірювання розподілу частинок за енергією необхідно для дослідження джерела на можливість його використання з конкретними прискорювачами заряджених частинок і технологіями імплантації. Емітансометр дозволяє дослідити емітанс пучка і отримати його профіль. На установці проведено серію досліджень розпилювального джерела іонів металу, дуоплазматрона, джерела негативних іонів, детально вивчено характеристики створюваних ними пучків іонів, визначено значення емітансу та масового розподілу частинок. Розроблена установка дозволяє забезпечити детальне дослідження практично будь-якого типу джерел іонів для технологій іонної імплантації. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Імпедансна спектроскопія наноплівок Fe, вирощених у магнітному полі на Gd2O3 і склі [04001-1-04001-7]2) Модель струму стоку на основі опору оточеного каналу польового транзистора [04002-1-04002-5]
3) Перехід до спектру 6G за допомогою моделі антени MIMO [04003-1-04003-5]
4) Дослідження зв’язків між фазовим складом та мікроструктурою в полімерних нанокомпозитах: інтелектуальний підхід [04004-1-04004-5]
5) Аналіз зростання 2D тонких плівок перехідного металу на графенових підкладках на основі кластеризації методом молекулярно-променевої епітаксії [04005-1-04005-6]
6) Широка смуга пропускання 0,3 ТГц в 6G антені з високим коефіцієнтом підсилення [04006-1-04006-5]
7) Техніка керування нелінійною похідною Лі для покращеного регулювання напруги в зворотно-ходовому перетворювачі [04007-1-04007-6]
8) Мінімізація геометричної дії на основі нового підходу для прогнозування рідкісних та екстремальних подій у нерівноважних системах [04008-1-04008-5]
9) Design and Implementation of Wireless Multiple Agriculture Robot [04009-1-04009-4]
10) Самоізольована 4-портова UWB MIMO антена з подвійним L-прорізом і характеристиками ширшого діапазону [04010-1-04010-5]
11) Модифікація золотого електрода з Nafion/WO3 для виявлення оксалат-іонів [04011-1-04011-4]
12) Розробка мініатюрного двосмугового мікросмужкового фільтра на основі C-подібних метаматеріальних резонаторів для радіочастотних/мікрохвильових застосувань [04012-1-04012-5]
13) Дослідження моделювання пластин поля потоку паливного елемента з мембраною полімерного електроліту [04013-1-04013-4]
14) Дослідження впливу електромагнітного та оптичного випромінювання на фізичні та біологічні об’єкти та зменшення артефактів за допомогою ітеративної реконструкції на основі моделі [04014-1-04014-5]
15) Удосконалені системи керування навігацією для автономних мобільних роботів, які використовують технологію 3D Lidar [04015-1-04015-5]
16) Дослідження теплових характеристик матеріалів тепловідводу з функціональними градаціями для електронних пристроїв з нанохарактеристиками [04016-1-04016-5]
17) Гібридна багатодіапазонна мікросмугова патч-антена для бездротового зв’язку [04017-1-04017-5]
18) Нова методологія на основі ШІ для прогнозування властивостей опору та температури надпровідних плівок за допомогою наноматеріалів [04018-1-04018-6]
19) Портативна МІМО-антена для додатків моніторингу здоров’я [04019-1-04019-4]
20) Конструкція низькопрофільної мікросмужкової антени на основі метаповерхні з високим коефіцієнтом посилення для систем бездротового зв’язку 5G [04020-1-04020-5]
21) Вплив параметрів процесу точкового зварювання з перемішуванням тертям на міцність зварного шва для алюмінієвих сплавів [04021-1-04021-5]
22) Лазерна модифікація поверхні кованого та виготовленого LPBF-друком біомедичного сплаву Co-28Cr-6Mo: вплив на наноіндентування та трибологічні властивості [04022-1-04022-8]
23) Вплив матеріалу підкладки на структурні властивості плівок телуриду кадмію [04023-1-04023-8]
24) Взаємодоповнюваність евристичних та когнітивних метамоделей гібридний підхід [04024-1-04024-10]
25) Аналіз теплових процесів в теплообмінній установці комбінованої фотоелектричної установки з концентрацією сонячної радіації [04025-1-04025-7]
26) Ефективний час життя неосновних носіїв заряду в двошаровому макропористому кремнії [04026-1-04026-7]
27) Метод підвищення механічних характеристик засобів морського транспорту за рахунок екологічно чистої наномодифікації епоксидних композитів [04027-1-04027-10]
28) Електричні властивості та фотовідгук гетеропереходу NiFe2O4/InSe [04028-1-04028-4]
29) Динаміка анізотропних всесвітів у космологічній моделі LRS Б'янкі типу-V з ідеальною рідиною в загальній життєздатній не мінімально пов’язаній f(R, T) гравітації [04030-1-04030-7]
30) Структура та властивості багатошарових покриттів, отриманих хромотитануванням [04031-1-04031-4]
31) Патч-антена у формі три-Шакті з круговою поляризацією для систем зв’язку 5G міліметрових хвиль [04032-1-04032-4]
32) Порогові умови для 1-D моделі лазера з частково активною областю [04033-1-04033-8]
33) Деякі кінетичні особливості формування високоентропійного оксиду Co0.2Ni0.2Cu0.2Mg0.2Zn0.2O [04034-1-04034-6]
34) Електронна структура та термоелектричні властивості кристала β-Ag8GeSe6, розраховані за методом теорією функціоналу густини [04036-1-04036-6]
35) Аналіз білкових композицій на штучних наноматеріалах за допомогою штучного інтелекту [04037-1-04037-5]
36) Напівкругла монопольна антена з високим коефіцієнтом посилення FSS для додатків 5G [04038-1-04038-5]
