Просторові розподіли станів 3p54s атомів аргону в плазмі високочастотного магнетронного розпилення з радіаційною моделлю зіткнень
| Автори | M. Azzaoui1, 2 , F. Khelfaoui3, Z. Ballah3, 4 |
| Приналежність |
1Univ. Ouargla, Fac. Des Mathématiques et des Sciences de la Matière, Ouargla 30000, Algeria 2Laboratoire des Materiaux, Technologie des Systemes Energetiques et Environnement, Faculté des Sciences et Technologie, Université de Ghardaia, Ghardaia 47000, Algeria 3Univ. Ouargla, Fac. Des Mathématiques et des Sciences de la Matière, Lab. Rayonnement et Plasmas et Physique des Surfaces, Ouargla 30000, Algeria 4Univ. Ouargla, Fac. des Sciences Appliquées, Ouargla 30000, Algeria |
| Е-mail | mohazzaoui@gmail.com |
| Випуск | Том 13, Рік 2021, Номер 5 |
| Дати | Одержано 16 червня 2021; у відредагованій формі 20 жовтня 2021; опубліковано online 25 жовтня 2021 |
| Посилання | M. Azzaoui, F. Khelfaoui, Z. Ballah, Ж. нано- електрон. фіз. 13 № 5, 05007 (2021) |
| DOI | https://doi.org/10.21272/jnep.13(5).05007 |
| PACS Number(s) | 66.30.hk |
| Ключові слова | Радіаційна модель зіткнень, Високочастотне магнетронне розпилення, Іонізація Пеннінга, Дифузійні явища. |
| Анотація |
Тонкі плівки використовуються в різних галузях промисловості, а саме у виробництві сонячних елементів, плоских екранів та для поліпшення фізичних властивостей поверхонь матеріалів. У процесах осадження тонких плівок ступінь рівноваги та інші характеристики плазми, такі як природа, густина і температура, повинні бути визначені, щоб зрозуміти появу різних явищ. У роботі основна увага приділяється вивченню просторових розподілів густин збуджених станів Ar* (3p54s (1sx: x = 2-5)), а також відносних внесків таких процесів, як бомбардування електронами, випромінювальне де-збудження, явища дифузії метастабільних станів та іонізація Пеннінга в популяції та депопуляції різних станів атомів аргону. Для цього радіаційну модель зіткнень (CRM), яка включала 41 стан, було застосовано з використанням заданих параметрів у плазмі високочастотного магнетронного розпилення. Ці параметри включають температуру електронів, густини електронів та іонів аргону. Кінетичні рівняння густин станів привели до матричної системи, яка була розв'язана чисельно за допомогою ітераційного методу Гауса-Зейделя. Результати показують, що осьові розподіли різних збуджених станів та станів на катоді трохи більші, ніж на аноді; вони також показують, що обидві густини менші, ніж у центрі реактора. Іонізація Пеннінга важлива для метастабільних станів 3p54s (1s5, 1s3), але не важлива для резонансних станів 3p54s (1s4, 1s2). Різні густини збуджених станів не є симетричними відносно центру реактора через наявність магнітного поля на катоді. |
|
Перелік посилань |
Інші статті цього номера
1) Аналіз профілю піків рентгенівської дифракційної картини наноструктури оксиду цинку [05001-1-05001-4]2) Фоточутливі гетероструктури n-Zn0.5Cd0.5O/p-InSe, виготовлені методом магнетронного розпилення [05002-1-05002-4]
3) Дослідження умов осадження тонких плівок міді з продуктів деструкції електродів перенапруженого високовольтного розряду в аргоні високого тиску [05003-1-05003-7]
4) Вплив температури відпалу на структуру та властивості феритів вісмута [05004-1-05004-7]
5) Сітчаста метаповерхня як ультра тонка чвертьхвильова пластинка [05005-1-05005-5]
6) Розпад домішкових кластерів атомів нікелю та кобальту в кремнії під впливом тиску [05006-1-05006-4]
7) Вплив температури підкладки і вмісту магнію на розвиток морфології та люмінесценцію плівок ZnO:Mg [05008-1-05008-6]
8) Механізми релаксації електронного збудження триазидо-S-триазину [05009-1-05009-5]
9) Моделювання теплових явищ у біологічних тканинах, викликаних поверхневим плазмонним резонансом у метал-графенових наночастинках [05010-1-05010-7]
10) Практичні аспекти отримання наноструктурних композитних NaCl-Fe плівок способом EB-PVD на підкладках, що обертаються [05011-1-05011-6]
11) Ультра-мініатюрна антена для надширокосмугових застосувань [05012-1-05012-4]
12) Вплив high-k діелектричних матеріалів на короткоканальні ефекти в тризатворних SOI FinFETs [05013-1-05013-6]
13) Аналіз безперехідного транзистора на основі нанодротів з гетеропереходом, нітридом металу та подвійним металевим затвором [05014-1-05014-4]
14) Структурне та морфологічне дослідження наноструктури CuO, яка осаджується водорозчинним нітрат-гемі(пентагідратом) міді (II) та NaOH як реагентами [05015-1-05015-4]
15) Аналіз характеристик I-V-T сонячних елементів на основі перовскіту CH3NH3PbBr3 [05016-1-05016-4]
16) Особливості непружних та пружних характеристик Si та SiO2/Si структур [05017-1-05017-5]
17) Тонка плівка CuO, виготовлена методом золь-гелю: характеристики для застосування в пристроях [05018-1-05018-5]
18) Експериментальний метод кількісної оцінки струмів витоку сонячних елементів за залежностями густини струму від напруги [05019-1-05019-4]
19) Одновісна модель теплового балансу сонячного колектора [05020-1-05020-5]
20) Динаміка перетворення малих ГЦК кристалів у ікосаедричні наночастинки [05021-1-05021-5]
21) Моделювання процесів в електронному газі методом Particle-in-cell [05022-1-05022-5]
22) Метод хвильових матриць для моделювання поляризаторів із діафрагмами. Чисельні результати [05023-1-05023-6]
23) Метод математичного синтезу хвилеводних поляризаторів із діафрагмами [05024-1-05024-6]
24) Ab initio дослідження електронних, магнітних та оптичних властивостей шпінелі CuRh2O4: розрахунок з перших принципів [05025-1-05025-5]
25) Епоксидні нанокомпозити з підвищеною гідроабразивною зносостійкістю для використання у транспортних засобах [05026-1-05026-5]
26) Електронна структура кристала ZnS, легованого одним або двома атомами перехідного металу (Cr, Fe) [05027-1-05027-5]
27) Модифікація целюлози наночастинками : від жому цукрової тростини до антимікробного композиту [05028-1-05028-5]
28) Радіаційна функціоналізація плівок поліетиленгліколю з багатостінними вуглецевими нанотрубками [05029-1-05029-5]
29) Застосування автодинного сенсора з підвищеною лінійністю перетворення для реєстрації широкосмугових мультиплетних спектрів ядерного квадрупольного резонансу [05030-1-05030-5]
30) Структура та механічні характеристики катодів з MAX фази Ti2AlC та осаджених іонно-плазмових покриттів [05031-1-05031-7]
31) Гідрохімічний синтез плівкових твердих розчинів HgS1 – xSex [05032-1-05032-5]
32) Технологічні аспекти формування енергоефективних фотоелектричних перетворювачів сонячної енергії [05033-1-05033-6]
33) Оптична й фотокаталітична активність нанокомпозитів ПАН/TiO2 з наночастинками анатаза і Р25 [05034-1-05034-6]
34) Приготування та характеризація вуглецево-кремнієвих гібридних наноструктур [05035-1-05035-5]
35) Дослідження покращених електрохімічних властивостей нанокомпозиту графен/Fe2O3 [05036-1-05036-5]
36) Кристали InSe, отримані стехіометричним плавленням, для застосування в оптоелектронних пристроях [05037-1-05037-5]
37) Волоконний лазер на основі фазових пластин з електронним управлінням [05038-1-05038-6]
38) Створення прототипу багатофункціонального віддаленого робота присутності для фізичних досліджень у електроніці [05039-1-05039-4]
